Carbure de zirconium

Présentation des cibles de pulvérisation en carbure de zirconium

Les cibles de pulvérisation
en carbure de zirconium
sont des matériaux céramiques-métalliques avancés conçus pour le dépôt de couches minces haute performance. Grâce à leur excellente stabilité thermique, leur grande dureté et leur bonne conductivité électrique, les cibles en ZrC permettent d’obtenir des revêtements uniformes, denses et adhérents dans les systèmes PVD industriels et de recherche.

Nos cibles ZrC sont fabriquées par pressage à chaud ou frittage par plasma à étincelles (SPS) afin d’obtenir une densité élevée, une faible porosité et une forte intégrité mécanique. Une grande variété de formes (planaires, rotatives, collées et géométries personnalisées) est disponible pour répondre aux diverses exigences des équipements de revêtement sous vide.

Caractéristiques du produit

Haute pureté
Faible teneur en impuretés
Haute densité
Faible porosité
Bonne conductivité électrique
Compatible avec les procédés de pulvérisation magnétron DC et RF.
Formes et dimensions personnalisables
Cibles planes, rotatives, à gradins ou collées disponibles avec des options de montage sur mesure.

Applications des cibles de pulvérisation ZrC

Revêtements durs : utilisés pour les surfaces résistantes à l’usure, à l’érosion et aux températures élevées.
Films céramiques fonctionnels : idéaux pour les revêtements conducteurs, réfractaires et à haute dureté.
Microélectronique et capteurs : adaptés aux barrières de diffusion, aux couches conductrices et aux composants électroniques à haute température. Revêtements
optiques
et infrarouges : permettent d’obtenir des films durables et hautement performants pour les applications dans le spectre infrarouge et visible.

FAQ

Q1 : Quelles formes et quels formats sont disponibles pour les cibles en ZrC ?
R1 : Nous fournissons des disques plans, des plaques, des cibles à gradins, des tubes rotatifs et des cibles collées avec des plaques de support en Cu ou Al. Des géométries personnalisées peuvent également être conçues.

Q2 : Les cibles ZrC peuvent-elles fonctionner sous pulvérisation à haute puissance ?
R2 : Oui. Leur excellente conductivité thermique, leur dureté et leur intégrité mécanique permettent un dépôt stable dans des conditions de haute puissance.

Q3 : Comment les cibles en ZrC doivent-elles être stockées ?
R3 : Conservez-les dans un environnement sec et hermétique. Évitez l’humidité et les gaz corrosifs afin d’empêcher l’oxydation de la surface.

Q4 : La composition ou la densité de l’alliage sont-elles ajustables ?
R4 : Le ZrC est généralement une céramique stœchiométrique, mais la densité, l’épaisseur et les méthodes de liaison peuvent être personnalisées pour votre système de pulvérisation.

Rapports

Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)

Fiche technique (TDS)

Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande

Pourquoi choisir nos cibles de pulvérisation ZrC ?

Qualité constante du film : faible génération de particules et érosion uniforme pour des revêtements lisses et denses.
Fabrication sur mesure : formes, épaisseurs et collage personnalisés pour s’adapter à votre équipement de dépôt.
Assistance technique :
conseils sur les paramètres de pulvérisation, l’installation des cibles et l’optimisation des films minces.
Assurance qualité : chaque cible est testée pour vérifier sa pureté, sa densité, sa microstructure et ses propriétés électriques.
Approvisionnement et livraison fiables : une production et un stock stables garantissent une livraison rapide pour les besoins de la R&D et de la production.