Les cibles de pulvérisation
en aluminate de magnésium
sont des cibles céramiques à haute densité basées sur une structure spinelle d’aluminate de magnésium, adaptées aux processus de dépôt de couches minces stables. Ces cibles sont couramment utilisées dans la préparation de couches minces optiques, de revêtements isolants et de films liés aux matériaux électroniques à haute température.
Nous proposons des cibles de pulvérisation en spinelle d’aluminate de magnésium de différentes tailles, épaisseurs et densités, et prenons en charge les solutions de liaison de fond de panier. Veuillez nous contacter
directement pour obtenir des informations techniques et tarifaires.
Structure spinelle stable, excellente cohérence de pulvérisation
Densité élevée de la cible, faible risque de détachement des particules
Forte stabilité thermique, adaptée à la pulvérisation à long terme
Bonnes propriétés d’isolation électrique, couche de film fiable
Prend en charge le collage de fond de panier et le traitement intégral
Compatible avec diverses exigences en matière d’équipement de pulvérisation
Dépôt de films minces
optiques
et fonctionnels : peut être utilisé pour préparer des films minces optiques et fonctionnels uniformes et denses, répondant aux applications ayant des exigences élevées en matière de stabilité des films.
Préparation de revêtements isolants : convient au dépôt de films isolants dans les appareils électroniques, contribuant à améliorer la stabilité opérationnelle des appareils.
Films de matériaux électroniques à haute température : utilisés dans les appareils électroniques ou spéciaux à haute température, ils garantissent la stabilité structurelle du film dans des conditions thermiques.
Recherche et validation des processus : convient au développement de processus de pulvérisation au laboratoire et à l’échelle pilote, facilitant l’optimisation des paramètres et l’évaluation des matériaux.
Q1 : La cible de pulvérisation en spinelle de magnésium-aluminium nécessite-t-elle une plaque de support ?
R1 : Pour les cibles de taille moyenne à grande ou les opérations de pulvérisation à long terme, il est généralement recommandé d’utiliser une plaque de support métallique afin d’améliorer la dissipation thermique et la stabilité opérationnelle.
Q2 : Quels sont les matériaux couramment utilisés pour les plaques de support ?
R2 : Des plaques de support en cuivre, en aluminium et en d’autres métaux peuvent être sélectionnées en fonction des exigences de l’équipement et du processus, et un traitement de liaison fiable peut être effectué.
Q3 : La liaison de la cible affecte-t-elle les performances de pulvérisation ?
R3 : Un processus de collage approprié peut améliorer la stabilité globale de la cible et n’a aucun effet négatif sur l’uniformité du pulvérisation.
Q4 : Les tailles des cibles peuvent-elles être personnalisées en fonction des spécifications de l’équipement ?
R4 : Oui, nous prenons en charge la personnalisation des tailles de cibles rondes, carrées et autres en fonction des paramètres de l’équipement du client.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous nous concentrons depuis longtemps sur la préparation et le contrôle du processus de collage des cibles de pulvérisation céramiques, en fournissant une qualité de produit stable et fiable et une assistance technique rapide pour aider nos clients à réaliser efficacement la préparation de films minces et l’adaptation des équipements.
Formule moléculaire : MgAl₂O₄
Poids moléculaire : 142,28 g/mol
Aspect : Cible blanche et dense
Densité : 3,58-3,60 g/cm³ : 3,58-3,60 g/cm³ (selon la densification)
Point de fusion : 2135 °C
Structure cristalline : Cubique (spinelle)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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