La cible de pulvérisation en alliage de tantale et de tungstène Est un matériau de pulvérisation à point de fusion élevé et à haute résistance, composé d’un alliage de tantale (Ta) et de tungstène (W), spécialement conçu pour les processus de dépôt de couches minces dans des conditions difficiles. Son excellente stabilité thermique, sa résistance à la corrosion et sa résistance mécanique en font un choix idéal pour les environnements plasma et les processus à haute température.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en alliage de tungstène et de tantale dans une variété de formes et de tailles, y compris rondes, rectangulaires ou personnalisées, pour répondre aux divers besoins d’application dans la recherche scientifique et l’industrie. Nous fournissons également un service après-vente complet après-vente pour vous aider à déployer efficacement les matériaux.
Composition : Personnalisable
Pureté : 99,95
Point de fusion jusqu’à > 3000°C, adapté au processus de dépôt à haute température
Excellente stabilité thermique et résistance mécanique
Forte résistance à la corrosion par le plasma, convient aux environnements de dépôt difficiles
La taille, le rapport d’alliage et la structure de la cible arrière peuvent être personnalisés en fonction des besoins du client
Semi-conducteurs fabrication de dispositifs à semi-conducteurs : En tant que couche barrière de diffusion ou électrode métallique à haute température, elle présente à la fois une conductivité et une stabilité
Processus de fabrication de circuits intégrés : Utilisé comme couche de revêtement et de substrat dans les interconnexions à haute densité (HDI) ou les structures d’interconnexion en cuivre
Préparation de revêtements durs : Fournit une dureté élevée et une résistance à la corrosion dans le revêtement d’outils et la couche de film résistant à l’usure
Optoélectronique et nouveaux matériaux énergétiques : Contrôle des performances dans les films minces fonctionnels spéciaux et les systèmes cibles composites
Nous fournissons un certificat d’analyse (COA)une fiche de données de sécurité (MSDS) et un rapport d’essai des composants pertinents pour chaque lot de cibles en alliage de tantale et de tungstène. Nous prenons également en charge les rapports d’essai d’agences tierces afin de garantir la transparence des données et le contrôle de la qualité.
Formule moléculaire : TaW
Aspect : Cible métallique dense de couleur gris argenté avec une surface lisse
Densité : environ 16,5 g/cm³ (proche de la densité théorique)
Point de fusion : environ 3 170 °C (point de fusion de l’alliage, légèrement différent selon le rapport entre le tantale et le tungstène)
Structure cristalline : cubique centré (BCC)
Emballage intérieur : Sacs scellés sous vide et emballage pour éviter la contamination et l’humidité.
Emballage extérieur : Cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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