Les cibles de pulvérisation en alliage
de molybdène et silicium
sont des cibles composées d’un composé intermétallique de molybdène et de silicium, qui présentent une excellente stabilité thermique, des propriétés électriques et une résistance à l’oxydation exceptionnelles. Les films déposés possèdent une bonne conductivité, une bonne résistance à la chaleur et une bonne adhérence, ce qui les rend largement utilisés dans la fabrication de films minces semi-conducteurs, de matériaux résistifs, de revêtements de couches barrières et de composants optoélectroniques. Ce sont des cibles haute performance couramment utilisées dans les processus avancés de fabrication de films minces.
Nous proposons des cibles de pulvérisation MoSi dans différents rapports de composition, degrés de pureté et formes. Nous pouvons fournir des tailles personnalisées, un pressage à chaud sous vide, une densification HIP, un collage de fond de panier et d’autres services de traitement en fonction des exigences des équipements des clients. Veuillez nous contacter
pour connaître les derniers prix.
Haute densité, excellente uniformité du film
Teneur en impuretés extrêmement faible, peu de particules de film Rapports de composition et dimensions
personnalisables
pris en charge
Propriétés électriques stables, adaptées aux films minces de précision
Compatible avec divers équipements de pulvérisation magnétron
Prend en charge les services de liaison de cibles
La surface peut être finement polie pour obtenir un fini miroir
Utilisées pour le dépôt de couches barrières et de films conducteurs dans les dispositifs semi-conducteurs.
Utilisées pour la préparation de revêtements fonctionnels de composants optiques et de films minces optoélectroniques.
Utilisées comme cible clé dans les films minces résistifs et les matériaux thermiquement stables.
Utilisées dans les MEMS, les capteurs et les films d’emballage microélectroniques.
Q1 : Quelle méthode d’emballage est utilisée pour les cibles MoSi ?
A1 : Chaque cible est scellée dans un sac anti-poussière et emballée avec de la mousse antichoc et une boîte de protection rigide afin d’éviter toute humidité ou abrasion pendant le transport.
Q2 : Les cibles peuvent-elles être transformées en tailles spéciales ou utilisées pour le collage de fonds de panier ?
R2 : Oui, nous proposons des services d’usinage CNC, de polissage de surface, de collage de fonds de panier en titane/cuivre et de traitement de formes non standard sur mesure pour s’adapter aux dimensions des cavités de différents équipements.
Q3 : Comment stocker correctement les cibles de pulvérisation MoSi ?
R3 : Il est recommandé de les stocker dans un environnement sec et hermétique. Évitez de toucher la surface de la cible avant utilisation. Pour un stockage à long terme, ajoutez un dessiccant et maintenez la zone exempte de poussière.
Q4 : Comment garantissez-vous la pureté des cibles de pulvérisation et la qualité du film mince ?
R4 : Toutes les cibles de pulvérisation utilisent des matières premières de haute pureté et sont soumises à des tests rigoureux, notamment des tests ICP, XRF et de densité. Un rapport de qualité complet peut être joint à l’envoi.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Des rapports de tests effectués par des tiers sont disponibles sur demande.
Forts de nombreuses années d’expérience dans la fabrication de cibles de pulvérisation à base de composés intermétalliques, nous disposons d’équipements de métallurgie des poudres de pointe, de procédés de pressage isostatique à chaud (HIP) et de technologies d’usinage de précision. Cela nous permet de fournir de manière fiable des cibles de pulvérisation MoSi à haute densité et haute pureté avec un faible nombre de particules. Nous offrons des délais de livraison rapides, un contrôle qualité rigoureux, un soutien logistique mondial stable et une équipe d’ingénieurs professionnels afin de garantir à nos clients des performances fiables en matière de films minces et un approvisionnement continu. Que ce soit pour la recherche ou la fabrication à grande échelle, nous sommes un partenaire fiable à long terme.
Formule chimique : MoSi
Aspect : Matériau cible dense, gris argenté, en forme de disque ou rectangulaire, avec une surface lisse.
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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