Les cibles de pulvérisation en alliage
de titane et de cuivre
sont des cibles en alliage métallique composées de titane (Ti) et de cuivre (Cu), combinant la stabilité structurelle du titane et l’excellente conductivité électrique et thermique du cuivre. Ces cibles sont couramment utilisées dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour préparer des films minces de métal ou d’alliage présentant une bonne adhérence, de bonnes propriétés électriques ou de bonnes capacités de contrôle d’interface.
Nous proposons des cibles de pulvérisation en alliage de titane et de cuivre dans différents rapports de composition et différentes spécifications, y compris des formes structurelles courantes telles que des cibles planes et circulaires, et nous prenons en charge le traitement personnalisé. Nous pouvons concevoir une cible adaptée à votre équipement de pulvérisation, à la taille de la cible et aux exigences de l’application. Contactez-nous.
Système d’alliage titane-cuivre à composition contrôlable
Équilibre entre conductivité et stabilité structurelle
Convient aux procédés de pulvérisation DC ou magnétron
Procédé de pulvérisation stable avec une bonne uniformité du film
Convient aux applications de recherche et de dépôt industriel
Microélectronique et dispositifs électroniques :
peut être utilisée comme couche d’électrode ou couche intermédiaire fonctionnelle dans les dispositifs électroniques pour répondre aux exigences de conductivité et de structure.
Films minces fonctionnels et structures composites :
dans les structures à films minces multicouches, les films minces en alliage de titane-cuivre sont souvent utilisés comme couches de transition ou couches fonctionnelles composites pour améliorer les performances de liaison interfaciale.
Ingénierie des surfaces et recherche sur les matériaux :
convient à l’étude des propriétés des matériaux et à l’optimisation des processus sous différents rapports de composition.
Q1 : À quelles applications de films minces les cibles de pulvérisation en alliage de titane-cuivre sont-elles généralement utilisées ?
R1 : Elles sont couramment utilisées pour le dépôt de films minces métalliques, de films minces fonctionnels et de couches de transition, afin d’équilibrer la conductivité et l’adhérence, et conviennent aux revêtements microélectroniques et techniques.
Q2 : Quel est le rôle principal de l’introduction du titane dans le processus de pulvérisation ?
R2 : Le titane contribue à améliorer l’adhérence et la stabilité interfaciale entre le film mince et le substrat, tout en améliorant la cohérence de la structure du film mince.
Q3 : Quelles sont les caractéristiques des propriétés électriques des films minces en alliage de titane et de cuivre ?
A3 : Le cuivre offre une bonne conductivité, tandis que l’ajout de titane peut améliorer la stabilité et la fiabilité du film mince tout en garantissant la conductivité.
Q4 : Quels substrats conviennent aux cibles de pulvérisation en alliage de titane et de cuivre ?
A4 : Ces cibles conviennent généralement au dépôt de films minces sur du silicium, du verre, des métaux et divers substrats techniques.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans les cibles de pulvérisation d’alliages et les matériaux avancés pour couches minces, en mettant l’accent sur la densité des cibles, la cohérence de la composition et la compatibilité des processus, afin de fournir des solutions matérielles stables et fiables pour le dépôt de couches minces d’alliage TiCu.
Formule moléculaire : TiCu
Aspect : Matériau cible gris argenté
Densité : Environ 4,4 g/cm³ : Environ 4,4 g/cm³
Point de fusion : Environ 1320 °C
Structure cristalline : Cubique à faces centrées (FCC)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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