Les cibles rotatives en métal vanadium
sont des matériaux de pulvérisation hautement efficaces pour le dépôt continu de couches minces, adaptés à un fonctionnement stable à long terme dans les processus de revêtement sous vide. Ce produit est principalement utilisé dans les revêtements de grande surface, la préparation de couches minces fonctionnelles et les domaines industriels et de recherche où la cohérence des couches est très importante.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation rotatives en métal vanadium adaptées à différentes spécifications d’équipement et prendre en charge des structures et des dimensions personnalisées. Veuillez nous contacter
pour obtenir une assistance technique.
Convient aux processus de pulvérisation cathodique en continu
Taux d’utilisation élevé de la cible
Bonne uniformité du film
Grande stabilité structurelle
Prend en charge le collage du tube arrière
Compatible avec les équipements de revêtement courants
Dépôt de films minces fonctionnels sur de grandes surfaces :
les cibles rotatives en métal vanadium conviennent à la pulvérisation cathodique en continu de substrats de grande surface, améliorant l’efficacité de la production et maintenant la cohérence de l’épaisseur du film.
Production industrielle de revêtements sous vide :
sur les lignes de revêtement industrielles, les cibles rotatives contribuent à prolonger le cycle d’utilisation unique, à réduire les temps d’arrêt pour le remplacement et à augmenter la capacité globale.
Revêtement de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques :
ce matériau cible peut être utilisé pour préparer des films minces à base de vanadium, répondant aux exigences des dispositifs électroniques en matière de stabilité et de répétabilité des films.
Recherche et validation de la mise à l’échelle du processus :
les cibles rotatives conviennent à la mise à l’échelle du processus, de la phase expérimentale à la phase pilote, et sont utilisées pour évaluer les performances de dépôt des films minces de vanadium dans différentes conditions de fonctionnement.
Q1 : Quels sont les principaux avantages d’une cible rotative en vanadium métallique par rapport à une cible plane ?
A1 : La cible rotative met continuellement à jour sa surface pendant la pulvérisation, ce qui contribue à améliorer l’utilisation de la cible et l’uniformité du film.
Q2 : Une cible rotative en vanadium est-elle adaptée à un fonctionnement continu à long terme ?
R2 : Oui, ce produit est conçu pour des conditions de pulvérisation continue et peut supporter une utilisation stable pendant de longues périodes.
Q3 : Une cible rotative en vanadium métallique nécessite-t-elle un collage sur un tube arrière ?
R3 : En général, oui. En fonction des exigences de l’équipement, la cible en vanadium sera collée sur un tube arrière métallique afin d’améliorer la dissipation thermique et la stabilité mécanique.
Q4 : À quels types d’équipements de revêtement la cible rotative en vanadium est-elle adaptée ?
A4 : Cette cible est compatible avec divers équipements de revêtement industriels ; les interfaces et les dimensions spécifiques peuvent être personnalisées en fonction des paramètres de l’équipement.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous avons une grande expérience dans le domaine des cibles de pulvérisation rotatives et des matériaux métalliques associés, nous connaissons bien les caractéristiques du processus de pulvérisation continue du vanadium métallique et nous pouvons offrir une fiabilité constante, des capacités de personnalisation
flexibles et une communication technique claire afin d’aider nos clients à obtenir une production de films minces stable et efficace.
Formule moléculaire : V
Poids moléculaire : 50.9415 g/mol
Aspect : Cible rotative métallique gris argenté
Densité : 6.11 g/cm³
Point de fusion : 1910°C
Point d’ébullition : 3377°C
Structure cristalline : Hexagonale à empilement serré (hcp)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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