Les cibles de pulvérisation
en sélénium métallique
sont des disques solides ou des plaques rectangulaires fabriqués à partir de matières premières en sélénium de haute pureté grâce à des processus de précision tels que la métallurgie des poudres ou la coulée par fusion. Elles sont utilisées dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Dans des conditions de vide contrôlées, les atomes de surface sont pulvérisés par bombardement ionique, déposant des films de sélénium uniformes et denses ou des précurseurs de films de séléniure sur des substrats.
Nous proposons des cibles de pulvérisation en sélénium métallique de haute pureté dans différentes spécifications (diamètre, épaisseur) et fournissons des services de collage adaptés aux exigences des équipements de nos clients. Pour toute demande personnalisée ou demande de test de revêtement, veuillez nous contacter
par téléphone.
Ultra-haute pureté
Haute densité et faible porosité
Excellente uniformité microstructurale
Contrôle précis des dimensions et des tolérances
Services de collage de plaques de support disponibles
Cellules solaires à couche mince en cuivre, indium, gallium et sélénium (CIGS) : sert de source de sélénium, co-pulvérisé avec du cuivre, de l’indium et du gallium ou post-sélénié pour former des couches absorbantes photovoltaïques à haut rendement.
Photodétecteurs et capteurs : utilisé pour déposer des films de sélénium ou de séléniure afin de fabriquer des dispositifs optoélectroniques sensibles à la lumière visible et infrarouge.
Matériaux de stockage à changement de phase : sert de cible source pour les films de matériaux à changement de phase à base de sélénium dans la fabrication de mémoires non volatiles.
Revêtements décoratifs et fonctionnels : dépose des films à base de sélénium avec des couleurs ou des fonctionnalités spécialisées sur des substrats spécifiques.
Q1 : Comment choisir la pureté de la cible de sélénium ? Une pureté plus élevée est-elle toujours préférable ?
R1 : Le choix de la pureté dépend des exigences de performance du film. Pour la recherche et les dispositifs optoélectroniques haut de gamme (par exemple, les cellules CIGS), une pureté de 99,999 % (5N) ou plus est généralement requise afin de minimiser les effets des impuretés sur les propriétés électriques. Pour certains revêtements fonctionnels moins exigeants, une pureté de 99,99 % (4N) peut suffire. Nos conseillers techniques peuvent vous fournir des recommandations de sélection rentables.
Q2 : Pourquoi les cibles nécessitent-elles des plaques de support ? Fournissez-vous des services de collage ?
R2 : Le collage garantit une dissipation thermique efficace et un montage sûr. Le sélénium est fragile et présente une conductivité thermique modérée. Le coller à des plaques de refroidissement en cuivre ou en aluminium à l’aide d’une soudure métallique garantit la stabilité thermique et l’intégrité mécanique pendant la pulvérisation. Nous fournissons des services de collage
professionnels et pouvons livrer des assemblages de cibles collées prêts à installer, adaptés à la conception de votre chambre de pulvérisation.
Q3 : Quelles sont les considérations particulières à prendre en compte lors de la pulvérisation avec des cibles en sélénium ?
R3 : Deux points clés : premièrement, le contrôle de la puissance. Le sélénium a un point de fusion bas (~221 °C), ce qui nécessite une pulvérisation à puissance moyenne à faible (CC ou RF) pour éviter la surchauffe et la fusion de la cible. Deuxièmement, l’atmosphère du processus. Généralement réalisée dans de l’argon gazeux ; pour la pulvérisation réactive afin de produire des séléniures, introduisez des quantités appropriées de gaz de réaction tels que le sulfure d’hydrogène.
Q4 : Comment évaluez-vous et garantissez-vous la qualité des cibles de pulvérisation au sélénium ?
A4 : Nous garantissons rigoureusement la qualité grâce à plusieurs mesures : 1. Analyse de la composition chimique (les rapports GDMS garantissent la pureté) ; 2. Test de densité (≥95 % de la densité théorique) ; 3. Inspection métallographique (observation de la taille et de l’uniformité des grains). Des données de test critiques accompagnent chaque lot de cibles.
Chaque lot est accompagné des documents suivants :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Grâce à notre expertise technique dans le domaine des cibles métalliques spécialisées, nous fournissons des solutions complètes, des matériaux de haute pureté et l’usinage de précision au collage et aux essais, ce qui fait de nous votre partenaire de confiance pour le développement de technologies et de dispositifs avancés à couche mince.
Formule moléculaire : Se
Poids moléculaire : 78.96
Aspect : Cible solide grise avec un éclat métallique
Densité : 4,81 g/cm³ : 4,81 g/cm³
Point de fusion : 220,5 °C
Point d’ébullition : 685 °C
Structure cristalline : Hexagonale (le sélénium gris est la forme la plus stable)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter