Les cibles de pulvérisation
en oxyde de zinc dopé à l’oxyde de bore
sont des cibles céramiques multifonctionnelles formées en combinant de l’oxyde de zinc (ZnO), un semi-conducteur à large bande interdite, avec de l’oxyde de bore (B₂O₃), un verreformeur, dans un rapport spécifique. Grâce à cette structure composite, le matériau vise à combiner les excellentes propriétés piézoélectriques et optoélectroniques du ZnO avec le point de fusion bas, la stabilité thermique élevée et les caractéristiques de fluxage du B₂O₃. Il peut être utilisé pour déposer des films d’oxyde composite présentant des propriétés optoélectroniques spéciales, une densité élevée et d’excellentes caractéristiques d’interface. Il est largement utilisé dans les emballages électroniques, l’électronique transparente et les revêtements fonctionnels spéciaux.
Nous pouvons personnaliser des cibles de pulvérisation céramiques composites avec différents rapports ZnO:B₂O₃ (en poids ou en moles) et une pureté élevée (≥99,9 %) afin de répondre à vos exigences de processus, en proposant des tailles standard ou des solutions personnalisées. Contactez-nous.
Personnalisation flexible des rapports de composition
Haute pureté et haute densité
Combine les propriétés supérieures des deux oxydes
Excellent potentiel d’uniformité du film
Services professionnels de collage
et d’assistance technique
Emballage et isolation électroniques : dépose des couches de passivation ou diélectriques encapsulées, denses et hautement isolantes pour protéger les dispositifs à semi-conducteurs
.
Films conducteurs transparents : déposés sous forme de films d’oxyde conducteur transparent pour les écrans tactiles et les affichages grâce à un dopage et d’autres processus.
Dispositifs piézoélectriques et acoustiques : utilisés pour préparer des films aux propriétés piézoélectriques exceptionnelles pour les capteurs, les dispositifs à ondes acoustiques de surface et les systèmes microélectromécaniques (MEMS).
Revêtements fonctionnels spécialisés : servent de revêtements protecteurs et antireflets résistants à l’usure, à la corrosion ou adaptés sur le plan optique.
Q1 : Pourquoi un composite B₂O₃ ? Quelle est sa fonction ?
A1 : Le B₂O₃ est un composant vitrifiant qui sert principalement à abaisser le point de fusion du matériau, à améliorer l’activité de frittage, à améliorer la densité du film et à former des phases de verre boraté spécifiques avec le ZnO.
Q2 : Quels sont les principaux avantages de cette cible composite ?
R2 : Le principal avantage réside dans la régulation synergique des propriétés électriques, optiques et mécaniques du film, telles que l’obtention simultanée d’une isolation élevée, d’une excellente adhérence et de caractéristiques optiques spécifiques.
Q3 : Comment le rapport des matériaux cibles est-il déterminé ?
R3 : Cela dépend des propriétés souhaitées pour le film. L’augmentation de la proportion de B₂O₃ améliore l’isolation et la densité, tandis que la priorité donnée à la piézoélectricité ou à la conductivité nécessite une composition à dominante ZnO. Une optimisation expérimentale est généralement nécessaire.
Q4 : Comment les matériaux cibles doivent-ils être stockés et entretenus ?
R4 : Stockez-les dans des conteneurs hermétiques et étanches à l’humidité, dans un environnement sec. Manipulez-les avec précaution lors de leur retrait et de leur mise en place afin d’éviter que les cibles céramiques fragiles ne se fissurent sous l’effet d’un choc. Gardez la surface de la cible propre après utilisation.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans le développement personnalisé de matériaux oxydés fonctionnels. Grâce à des solutions techniques professionnelles et des processus de fabrication fiables, nous répondons à vos exigences spécifiques en matière de matériaux composites à couche mince.
Formule moléculaire : ZnO-B2O3
Aspect : Cible céramique blanche et dense avec une surface brillante et uniforme.
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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