Les cibles de pulvérisation
en oxyde de lithium, de lanthane et de titane
sont des cibles céramiques conçues pour le dépôt en couche mince de couches d’électrolyte solide LLTO. En raison de leur conductivité élevée des ions lithium, de leur stabilité thermique et de leur compatibilité avec le lithium métallique, les cibles LLTO sont largement utilisées dans la recherche et le développement de microbatteries au lithium à l’état solide, de dispositifs de stockage d’énergie à couche mince et de matériaux électrochimiques avancés.
Les cibles de pulvérisation en oxyde de lithium, de lanthane et de titane sont fabriquées avec une stœchiométrie contrôlée et une structure céramique dense afin de garantir des taux de pulvérisation constants, une épaisseur de film uniforme et une conductivité ionique reproductible dans les films minces déposés. Elles sont adaptées aux systèmes de pulvérisation RF et magnétron.
Haute conductivité des ions lithium dans les films minces déposés
Structure céramique dense pour une pulvérisation stable et uniforme
Stœchiométrie contrôlée garantissant une composition de film reproductible
Compatibilité avec les systèmes de pulvérisation RF et magnétron
Adaptées à la recherche sur les microbatteries et les batteries à semi-conducteurs à couche mince
Bonne adhérence et compatibilité avec les substrats
Électrolytes solides à couche mince :
les cibles de pulvérisation
en oxyde de lithium, de lanthane et de titane
sont utilisées pour déposer des couches d’électrolyte solide dans les microbatteries au lithium à semi-conducteurs.
Recherche sur le stockage d’énergie et les batteries :
les films minces produits à partir de cibles LLTO sont utilisés dans les études sur la conductivité ionique, la stabilité électrochimique et l’ingénierie des interfaces.
Recherche sur les matériaux électrochimiques :
les cibles
en oxyde de lithium, de lanthane et de titane
conviennent à la recherche avancée sur les électrolytes à l’état solide, les électrodes composites et les matériaux fonctionnels en couches minces.
Revêtements fonctionnels pour microbatteries :
utilisés dans le développement de revêtements fonctionnels en couches minces pour le stockage d’énergie et les applications microélectroniques.
Q1 : Quelles méthodes de pulvérisation conviennent aux cibles LLTO ?
A1 : Les cibles LLTO sont couramment utilisées dans les systèmes de pulvérisation RF et magnétron en raison de leur nature céramique.
Q2 : Les films minces LLTO peuvent-ils conserver leur teneur en lithium pendant la pulvérisation ?
A2 : Une conception appropriée des cibles et des paramètres de pulvérisation optimisés minimisent la perte de lithium et garantissent une composition uniforme du film mince.
Q3 : Les cibles LLTO sont-elles compatibles avec les plaques de support ?
A3 : Oui, des options de liaison peuvent être fournies en fonction de la taille de la cible et des exigences du système de pulvérisation.
Q4 : Quels substrats sont compatibles avec les films minces LLTO ?
A4 : Les substrats courants comprennent les plaquettes de silicium, le verre, le saphir et d’autres substrats utilisés dans la recherche sur les batteries à semi-conducteurs à film mince.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Les cibles de pulvérisation en oxyde de lithium-lanthane-titane sont fréquemment recherchées pour les électrolytes solides à couche mince, la recherche sur les microbatteries et les applications de batteries entièrement solides. Leur structure céramique dense, leur stœchiométrie contrôlée et leur compatibilité avec les systèmes de pulvérisation RF/magnétrone leur confèrent une forte visibilité technique et une grande pertinence dans les recherches Google.
Formule moléculaire : LiLaTiO₃
Poids moléculaire : 219,73 g/mol
Aspect : Matériau cible solide dense de couleur claire ou blanc grisâtre.
Emballage intérieur : Sacs scellés sous vide et emballage pour éviter la contamination et l’humidité.
Emballage extérieur : Cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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