Le principal avantage de la conception cylindrique unique de la cible rotative est l’utilisation uniforme de la surface de la cible par rotation physique. Cette conception permet non seulement d’optimiser la consommation de matériau pendant la pulvérisation, mais aussi d’assurer une distribution uniforme du matériau déposé grâce à une rotation continue. Le mécanisme de rotation du cylindre permet au faisceau de pulvérisation de former une trajectoire d’érosion plus uniforme sur la surface de la cible, ce qui améliore considérablement l’utilisation de la cible et garantit une efficacité et une cohérence élevées dans le processus de dépôt de couches minces.
Notre gamme de cibles rotatives
Nous proposons une gamme complète de cibles rotatives pour répondre à une grande variété de besoins industriels.
| Cibles rotatives en métal | Cibles rotatives en alliage | Cibles rotatives en céramique |
| Aluminium (Al) | Nickel Chrome (NiCr) | Oxyde de Niobium (Nb2O5) |
| Titane (Ti) | Tungstène Titane (WTi) | Carbure de silicium (SiC) |
| Cuivre (Cu) | Zinc-étain (ZnSn) | Oxyde d’étain et d’indium (ITO) |
| Molybdène (Mo) | Nickel fer (NiFe) | Oxyde de zinc dopé à l’aluminium (AZO) |
| Tungstène (W) | Silicium aluminium (SiAl) | Oxyde de zinc dopé au gallium (GZO) |
| Silicium (Si) | Silicium aluminium zirconium (SiAlZr) | Oxyde d’étain et d’indium (ITO) |
En outre, nous proposons des cibles rotatives composées et spécialisées, des matériaux conçus pour les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et de l’optique.
Cibles rotatives et cibles planaires
Utilisation de la cible : Les cibles rotatives, grâce à leur mécanisme de rotation unique, peuvent augmenter de manière significative l’utilisation des cibles à plus de 70%-80%. Les cibles planaires n’atteignent généralement que 40 à 50 % d’ utilisation du matériau.
Efficacité du dépôt de film : Les cibles planaires donnent de bons résultats dans le dépôt de petites surfaces ou de formes spécifiques de films pour répondre à des exigences de performance particulières. Les cibles rotatives présentent des avantages significatifs pour le dépôt uniforme de films sur de grandes surfaces. Cela permet non seulement d’améliorer l’efficacité du dépôt, mais aussi d’assurer l’uniformité et la cohérence du film, ce qui est essentiel pour améliorer la qualité du produit.
Rentabilité : Le coût initial plus faible des cibles planaires les rend idéales pour les applications à budget limité ou lorsque l’uniformité du film n’est pas essentielle. Les cibles rotatives, malgré un investissement initial et des coûts de maintenance plus élevés, permettent aux utilisateurs d’économiser davantage sur les coûts des matériaux et d’améliorer la productivité à long terme grâce à l’utilisation élevée des matériaux et à l’efficacité du dépôt.
Quelle est l’application de Rotary Target ?
Grâce à une métallurgie avancée, un contrôle qualité rigoureux et une ingénierie sur mesure, nos cibles rotatives optimisent l’efficacité de votre processus de pulvérisation et la qualité de vos films, vous permettant ainsi de réaliser la prochaine génération de revêtements et d’applications en couches minces.
