Les cibles de pulvérisation au bore sont fabriquées à partir de bore de haute pureté, généralement gris foncé à noir, avec un éclat métallique et une structure cristalline atomique. D’une grande dureté, d’un point de fusion élevé et d’une excellente stabilité chimique, les cibles en bore permettent de déposer des couches minces denses, uniformes et bien adhérentes.
Elles sont largement utilisées dans les applications de semi-conducteurs, d’optoélectronique, de revêtement optique et de revêtement dur, notamment pour la préparation de films minces de bore, de films minces de borure (tels que B₄C, TiB₂, MoB₂) et de films de semi-conducteurs dopés au bore. Les cibles de bore peuvent être fabriquées dans des formes circulaires, rectangulaires ou d’autres formes personnalisées pour répondre aux différentes exigences des processus.
Haute pureté : Standard ≥99,5 %, ultra-haute pureté jusqu’à ≥99,9 %.
Excellentes propriétés physiques : Point de fusion élevé (~2076 °C), dureté élevée (Mohs ~9,3)
Forte stabilité chimique : Résistant aux acides et aux alcalis à température ambiante
Qualité supérieure du film : Produit des films denses et uniformes avec une forte adhérence.
Spécifications personnalisables : Taille, forme et pureté disponibles sur demande
Industrie des semi-conducteurs : les cibles de pulvérisation du bore sont utilisées pour les films de silicium dopés au bore, la fabrication de semi-conducteurs de type P.
Revêtements optiques : Films résistants à l’usure, à haute température et antireflets
Revêtements durs : Production de revêtements tels que le carbure de bore (B₄C) et le diborure de titane (TiB₂).
Industrie nucléaire : les cibles de pulvérisation du bore sont utilisées pour les films minces à forte capacité d’absorption des neutrons.
Utilisez des gants propres ou des couvre-doigts lors de la manipulation afin d’éviter toute contamination.
Conserver dans un emballage scellé, à l’abri de l’humidité, dans un environnement frais, sec et propre. Tenir à l’écart des agents oxydants forts, des halogènes et des sources de chocs mécaniques.
Aspect : Solide gris foncé à noir
Structure cristalline : Cristal atomique, dureté Mohs 9,3
Densité : ~2,34 g/cm³ (peut varier en fonction de la méthode de frittage)
Point de fusion : 2076 °C
Stabilité chimique : Ne réagit pas avec l’oxygène ou les acides dilués à température ambiante ; réagit vigoureusement avec les halogènes et les agents oxydants puissants.
Emballage intérieur : Scellé sous vide dans des sacs en polyéthylène antistatiques
Emballage extérieur : Carton antichoc ou caisse en bois avec doublure en mousse
Livraison standard : 1 pièce/boîte ou selon les besoins du client
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