Les cibles de pulvérisation
en titanate de calcium
sont des matériaux céramiques fonctionnels présentant une structure cristalline pérovskite standard, spécialement conçus pour les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Grâce à la pulvérisation, elles forment des films de titanate de calcium uniformes et de haute qualité sur les substrats. Ces films jouent un rôle essentiel dans les composants électroniques avancés et les applications de revêtement optique en raison de leurs propriétés diélectriques, ferroélectriques et optiques
exceptionnelles.
Nous fabriquons et fournissons de manière professionnelle des cibles de pulvérisation en céramique de titanate de calcium de haute qualité, disponibles en différentes puretés, dimensions et orientations cristallines. Des services de collage
de plaques de support personnalisés, adaptés aux exigences de votre équipement, sont disponibles. Contactez-nous
pour obtenir des solutions personnalisées.
Haute pureté de phase
Densité exceptionnelle
Orientation sélectionnable
Forte stabilité chimique
Qualité supérieure du film
Condensateurs et dispositifs de mémoire haute performance :
utilisés pour le dépôt de films à constante diélectrique élevée (high-k) comme couches diélectriques centrales dans les DRAM ou les condensateurs intégrés de nouvelle génération, ils constituent un matériau clé pour la miniaturisation et la haute performance des dispositifs.
Revêtements optiques et dispositifs photoniques :
grâce à son indice de réfraction élevé et à sa transparence dans le spectre ultraviolet à infrarouge, il permet la fabrication de filtres d’interférence optique complexes, de revêtements antireflets et de couches de guides d’ondes dans les circuits photoniques intégrés.
Optoélectronique et capteurs :
en tant que matériaux ferroélectriques et multiferroïques typiques, leurs films servent de couches fonctionnelles dans les mémoires non volatiles, les capteurs piézoélectriques, les photodétecteurs et les nouvelles cellules solaires, offrant une réponse rapide et une haute sensibilité.
Recherche fondamentale sur les supraconducteurs et les matériaux quantiques :
en tant que matériaux de substrat essentiels pour la croissance épitaxiale de films supraconducteurs à haute température ou d’autres matériaux quantiques oxydés complexes, ils constituent des plateformes indispensables pour la recherche de pointe en physique de la matière condensée et en science des matériaux.
Q1 : Quelles précautions particulières doivent être prises pour le stockage et l’utilisation des cibles de titanate de calcium ?
R1 : Bien que les cibles en céramique soient plus stables que les poudres, il est tout de même recommandé de les stocker dans un environnement sec et hermétique. Avant utilisation, afin d’obtenir des performances optimales du film, il est généralement conseillé de procéder à un nettoyage préalable de la surface de la cible afin d’éliminer tout oxyde ou contaminant potentiel.
Q2 : Faut-il utiliser le mode RF ou DC pour la pulvérisation avec cette cible ?
R2 : Le titanate de calcium est un matériau diélectrique typique qui nécessite le mode de pulvérisation RF. Le mode DC ne peut pas maintenir une décharge luminescente stable et est inefficace pour la pulvérisation de telles cibles isolantes.
Q3 : Comment contrôler la qualité cristalline du film déposé ?
R3 : La qualité cristalline du film est principalement influencée par la température du substrat, la pression de pulvérisation et la puissance. En général, un chauffage approprié du substrat facilite la formation de films bien cristallisés. Le choix d’une cible avec une orientation cristalline spécifique favorise également la croissance orientée du film.
Q4 : Quelle est la constante diélectrique approximative des films de titanate de calcium ? Comment est-elle mesurée ?
A4 : La constante diélectrique de ces films varie considérablement en fonction des conditions du processus, oscillant généralement entre 150 et 300. Elle peut être mesurée et calculée en déposant le film sur une plaquette de silicium, en fabriquant une structure de condensateur métal-isolant-métal et en utilisant un analyseur d’impédance.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans la R&D et la production de cibles de pulvérisation céramiques haute performance, avec une expertise approfondie dans la relation entre la préparation précise des matériaux à base d’oxyde de pérovskite et les processus de couche mince. De la sélection de matières premières de haute pureté et de techniques avancées de formage/frittage à l’usinage de précision final et aux essais non destructifs, nous mettons en œuvre des contrôles rigoureux à chaque étape afin de garantir que les cibles présentent une microstructure exceptionnelle et des performances constantes.
Formule moléculaire : CaTiO₃
Poids moléculaire : 164,22 g/mol
Aspect : Matériau cible solide blanc
Densité : 4,07 g/cm³ : 4,07 g/cm³
Point de fusion : 1 735 °C
Structure cristalline : Tétragonal
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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