Les cibles de pulvérisation
en oxyde de bore
sont des cibles céramiques fonctionnelles dont le composant principal est l’oxyde de bore, adaptées à la préparation de films minces d’oxyde non métallique. Ces cibles sont couramment utilisées dans la recherche sur le dépôt de films minces liés à l’électronique, à l’optique et aux revêtements fonctionnels.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en oxyde de bore adaptées à votre type d’équipement et à vos conditions de traitement, en prenant en charge des spécifications personnalisées. Veuillez nous contacter
directement pour confirmer les solutions et les prix.
Structure céramique stable
Répartition uniforme de la composition
Processus de pulvérisation contrôlable
Convient à la pulvérisation RF
Prend en charge le collage de fond de panier
Facilite la recherche et le développement
Dépôt de films minces fonctionnels en oxyde : peut être utilisé pour préparer des films minces contenant de l’oxyde de bore, adaptés aux applications ayant des exigences en matière de composition et de structure du film.
Recherche sur les films minces électroniques et isolants : dans le domaine des matériaux électroniques, cette cible peut être utilisée pour le dépôt et l’évaluation des performances de films minces isolants ou fonctionnels. Exploration des revêtements
optiques
et protecteurs : les films minces d’oxyde de bore ont une valeur de recherche dans le domaine de l’optique et de la protection des surfaces, et la cible est adaptée aux expériences de revêtement connexes.
Processus de pulvérisation et validation des paramètres : cette cible est couramment utilisée pour tester les conditions de pulvérisation RF, telles que la puissance, l’atmosphère et l’optimisation du taux de dépôt.
Q1 : Est-elle adaptée à la pulvérisation RF ?
A1 : Oui, l’oxyde de bore est un matériau céramique et est généralement pulvérisé à l’aide d’un procédé de pulvérisation RF.
Q2 : La cible peut-elle être collée à une plaque arrière ?
R2 : Oui, le collage avec des plaques arrière métalliques courantes est pris en charge pour améliorer la stabilité.
Q3 : Les dimensions non standard personnalisées sont-elles prises en charge ?
R3 : Oui, elles peuvent être traitées en fonction de la taille de l’équipement de pulvérisation et des exigences d’utilisation.
Q4 : L’achat de petits lots ou d’échantillons est-il possible ?
R4 : Oui, cela convient aux étapes de recherche et de développement de processus.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous avons une grande expérience dans le traitement et la fourniture de cibles de pulvérisation en céramique oxydée, ce qui nous permet de comprendre rapidement les exigences de nos clients en matière de processus et de fournir un soutien efficace en termes de confirmation des spécifications, de délais de livraison et de stabilité des matériaux, vous aidant ainsi à raccourcir votre cycle de R&D et à réduire les coûts liés aux essais et erreurs.
Formule moléculaire : B₂O₃
Poids moléculaire : 69,62 g/mol
Aspect : Bloc cible blanc et dense
Densité : 2,46-2,50 g/cm³
Point de fusion : 450 °C
Point d’ébullition : 1860 °C
Structure cristalline : Monoclinique (forme cristalline) ; cible amorphe avec un réseau irrégulier
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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