Les cibles de pulvérisation
en oxyde de lithium, lanthane et zirconium
sont des cibles céramiques conçues pour le dépôt en couche mince de couches d’électrolyte solide LLZO. Réputées pour leur conductivité élevée des ions lithium et leur excellente stabilité thermique et chimique, les cibles LLZO sont largement utilisées dans la recherche et le développement de batteries lithium à l’état solide, de microbatteries à couche mince et de matériaux électrochimiques avancés.
Les cibles de pulvérisation en oxyde de lithium, de lanthane et de zirconium sont fabriquées avec une stœchiométrie contrôlée et une structure céramique dense afin de garantir des taux de pulvérisation uniformes, une composition de film mince reproductible et une conductivité ionique stable. Elles conviennent aux systèmes de pulvérisation RF et magnétron utilisés dans la recherche sur les électrolytes solides à couche mince.
Haute conductivité des ions lithium dans les films minces déposés
Structure céramique dense pour une pulvérisation uniforme et stable
Stœchiométrie contrôlée pour des propriétés de film reproductibles
Compatibilité avec les systèmes de pulvérisation RF et magnétron
Adaptées à la recherche sur les microbatteries tout solide
Bonne adhérence et compatibilité avec les substrats courants
Électrolytes solides à couche mince
: les cibles en oxyde de lithium-lanthane-zirconium sont utilisées pour déposer des couches d’électrolyte solide dans les microbatteries au lithium tout solide.
Recherche sur les microbatteries et le stockage d’énergie :
les films minces provenant des cibles LLZO sont utilisés dans les études sur la conductivité ionique, l’ingénierie des interfaces et la stabilité électrochimique.
Recherche sur les matériaux électrochimiques :
les cibles en oxyde de lithium, de lanthane et de zirconium soutiennent la recherche avancée sur les électrolytes à l’état solide, les électrodes composites et les matériaux fonctionnels en couches minces.
Revêtements fonctionnels pour microbatteries :
utilisés dans le développement de revêtements électrolytiques solides en couches minces pour les applications de stockage d’énergie et de microélectronique.
Q1 : Quelles méthodes de pulvérisation sont adaptées aux cibles LLZO ?
A1 : Les cibles LLZO sont couramment utilisées dans les systèmes de pulvérisation RF et magnétron en raison de leur nature céramique et isolante.
Q2 : Les films minces LLZO peuvent-ils conserver leur teneur en lithium pendant le pulvérisation ?
R2 : Une conception appropriée des cibles et des paramètres de pulvérisation optimisés minimisent la perte de lithium et garantissent une composition uniforme du film mince.
Q3 : Les cibles LLZO sont-elles compatibles avec les plaques de support ?
R3 : Oui, des options de collage peuvent être fournies en fonction des dimensions des cibles et des exigences du système de pulvérisation.
Q4 : Quels substrats sont compatibles avec les films minces LLZO ?
A4 : Les substrats courants comprennent les plaquettes de silicium, le verre, le saphir et d’autres matériaux utilisés dans la recherche sur les batteries à semi-conducteurs à film mince.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Les cibles de pulvérisation en oxyde de lithium-lanthane-zirconium sont fréquemment recherchées pour les électrolytes solides à couche mince, le développement de batteries à semi-conducteurs et la recherche sur les microbatteries. Leur structure céramique dense, leur stœchiométrie contrôlée et leur compatibilité avec les systèmes de pulvérisation RF/magnétron leur confèrent une forte visibilité dans les recherches et une grande pertinence technique.
Formule moléculaire : LiLaZrO₃
Poids moléculaire : 275,08 g/mol
Aspect : Cible solide dense blanche ou gris clair
Densité : Environ 5,6 g/cm³
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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