Les cibles de pulvérisation en alliage
silicium-germanium
sont des cibles en alliage adaptées à la préparation de films minces fonctionnels hautement stables, possédant à la fois une excellente stabilité thermique et des caractéristiques de dépôt uniformes. Elles sont largement utilisées dans la préparation de dispositifs électroniques, de revêtements fonctionnels et de films minces thermoélectriques.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en alliage silicium-germanium compatibles avec les processus et prendre en charge
l’intégration technique
de la structure de la cible et des paramètres de dépôt. Contactez-nous
dès maintenant !
Composition stable du film
Grande stabilité thermique
Performances de dépôt uniformes
Forte compatibilité avec les processus
Convient à divers processus de pulvérisation
Préparation de films minces fonctionnels :
les cibles en alliage SiGe conviennent à la préparation de films minces fonctionnels thermoélectriques et électroniques, améliorant la stabilité des performances des films.
Dépôt de films minces pour dispositifs électroniques :
convient au dépôt de dispositifs semi-conducteurs et de couches fonctionnelles, améliorant la fiabilité et la cohérence des performances des dispositifs.
R&D sur les dispositifs thermoélectriques :
utilisé pour préparer des films minces thermoélectriques haute performance, soutenant la recherche et l’optimisation des processus.
Recherche et validation des processus :
soutient la validation et l’optimisation des paramètres des nouveaux matériaux et des processus de films minces.
Q1 : Dans quels domaines les cibles de pulvérisation en alliage SiGe sont-elles principalement utilisées ?
R1 : Elles sont principalement utilisées dans la recherche et le développement de films minces, de revêtements fonctionnels et de films minces thermoélectriques pour les dispositifs électroniques.
Q2 : Comment cette cible se comporte-t-elle dans le cadre d’un dépôt à haute température ?
R2 : La cible en alliage conserve sa stabilité structurelle et compositionnelle dans des conditions de température élevée, garantissant un dépôt uniforme du film mince.
Q3 : Quels procédés de pulvérisation conviennent aux cibles en alliage SiGe ?
R3 : Elles conviennent au pulvérisation magnétron et à d’autres procédés conventionnels de dépôt de films minces.
Q4 : La structure de la cible a-t-elle une incidence sur les performances du film ?
R4 : Une structure de cible en alliage bien conçue contribue à améliorer l’uniformité du film et la stabilité du dépôt.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous disposons d’une expérience technique et d’un approvisionnement éprouvés dans le domaine des cibles de pulvérisation en alliage, et pouvons fournir des cibles de pulvérisation en alliage silicium-germanium stables et traçables afin d’aider nos clients à obtenir une cohérence et une fiabilité élevées dans le dépôt de couches minces lors des phases de R&D et de production en série.
Formule moléculaire : SiGe
Aspect : Cible dense gris argenté
Densité : 3,0-3,2 g/cm³ (selon le rapport Si:Ge)
Structure cristalline : Système cubique diamant
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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