Oxyde de Niobium

Présentation des cibles rotatives en oxyde de niobium

Les cibles rotatives
en oxyde de niobium
sont des cibles de pulvérisation tournantes à base de céramiques d’oxyde de niobium. Elles possèdent une grande stabilité, d’excellentes propriétés optiques et une stœchiométrie hautement contrôlable. Elles sont couramment utilisées dans le dépôt de films minces transparents, de films électriquement fonctionnels et de revêtements hautement résistants à la corrosion. Elles sont principalement utilisées pour préparer des films conducteurs transparents, des films d’interférence optique, des couches barrières et des films protecteurs fonctionnels.

Nous pouvons produire des cibles rotatives en oxyde de niobium avec différentes formulations (NbO, NbO₂, Nb₂O₅, etc.), permettant la personnalisation de divers diamètres, longueurs et épaisseurs de paroi. Ces cibles présentent une grande uniformité, une densité élevée et une excellente résistance mécanique. Les cibles peuvent être associées à des fonds de panier à haute conductivité thermique et utilisent des procédés de soudage par diffusion ou de soudage sous vide poussé, ce qui les rend adaptées aux systèmes de pulvérisation par rotation à durée de vie moyenne à longue. Contactez-nous
pour connaître les formulations chimiques des cibles rotatives NbOx.

Points forts du produit

Stœchiométrie stable de l’oxyde
Haute densité et excellente résistance mécanique
Compatible avec les équipements de pulvérisation par magnétron rotatif courants
Prise en charge de la personnalisation de plusieurs phases NbOx
Longue durée de vie et performances de gravure uniformes
Haute résistance de la plaque arrière et excellente dissipation thermique
Service de soudage des cibles
Faible taux de particules, adapté aux films minces à exigences élevées

Applications des cibles rotatives en oxyde de niobium

Films minces optiques transparents : utilisés pour préparer des couches d’interférence optique stables et à indice de réfraction élevé.
Films barrières pour dispositifs électroniques : utilisés comme matériaux anti-diffusion ou de modulation électrique dans les structures des composants.
Revêtements décoratifs et protecteurs : utilisés pour former des films résistants à l’usure, à la corrosion et hautement adhésifs. Films minces pour l’industrie
solaire
et photovoltaïque : utilisés pour la modulation optique, les films filtrants ou la fabrication de structures à couches fonctionnelles.

FAQ

Q1 : Quelle méthode d’emballage est généralement utilisée pour les cibles tubulaires NbOx ?
R1 : Chaque cible tubulaire est emballée dans un emballage multicouche antichoc, scellée dans un sac propre et placée dans une boîte renforcée dédiée afin de garantir que la structure ne se déforme pas et que la surface ne soit pas contaminée pendant le transport.

Q2 : Quelles sont les technologies de traitement disponibles pour les cibles rotatives en oxyde de niobium ?
R2 : Nous proposons des processus de rectification de précision, d’usinage des faces d’extrémité, de soudage des plaques arrière, de polissage de surface et de frittage personnalisés pour les cibles dans différents états d’oxydation.

Q3 : Comment les cibles doivent-elles être stockées correctement ?
R3 : Il est recommandé de les stocker dans un environnement sec, à température ambiante, à l’abri de la lumière et de l’humidité, afin de maintenir un état d’oxydation stable et la propreté de la surface.

Q4 : Quel niveau de pureté les cibles NbOx peuvent-elles atteindre ?
A4 : Nous pouvons fournir des matières premières d’oxyde de niobium d’une pureté ≥ 99,9 % et fournir, sur demande, des rapports de contrôle stœchiométrique pour différentes proportions de NbO, NbO₂ et Nb₂O₅.

Rapports

Chaque lot est accompagné des documents suivants :
Certificat d’analyse (COA)

Fiche technique (TDS)

Fiche de données de sécurité (MSDS)
Des rapports d’essais effectués par des tiers sont disponibles sur demande.

Pourquoi nous choisir ?

Spécialisés dans les cibles de pulvérisation et les cibles tubulaires en oxyde métallique réfractaire
Prise en charge d’un service complet, de la R&D à la production en série
Formulations contrôlables et structures stables, adaptées à la préparation de films minces à haute cohérence
Personnalisation flexible disponible pour différentes tailles, phases et structures de fond de panier
Un ensemble complet d’équipements de test garantit une qualité transparente et traçable des cibles
Vaste expérience en matière d’expédition internationale, avec un emballage sûr et fiable
Une équipe technique professionnelle fournit des conseils sur les paramètres de pulvérisation et la sélection des matériaux