Les cibles de pulvérisation
en siliciure de zirconium
sont des cibles en siliciure métallique qui se caractérisent par une densité élevée, une résistance aux températures élevées et une composition de film stable. Elles sont couramment utilisées dans la fabrication de films minces fonctionnels, de revêtements résistants à l’usure et de dispositifs microélectroniques.
Nous proposons une gamme variée de cibles de pulvérisation ZrSi2 de différentes tailles, puretés et formes, notamment des cibles circulaires, rectangulaires, des cibles de revêtement de grande taille et des cibles sur mesure répondant à des spécifications particulières. Les cibles peuvent être adaptées aux chambres de pulvérisation en fonction des modèles d’équipement et prennent en charge le collage
de plaques arrière, le meulage de surface et l’usinage de trous. N’hésitez pas à nous contacter
si nécessaire.
Haute densité et excellente uniformité du film
Performances de pulvérisation stables
Forte cohérence de composition
Prend en charge l’usinage de précision et le collage de plaques arrière
Convient pour un revêtement continu à long terme
Matériaux de haute pureté disponibles
Compatible avec plusieurs modèles d’équipement
Revêtements résistants à l’usure : utilisés pour déposer des films minces sur les surfaces résistantes à l’usure des outils d’usinage, des moules, etc.
Films minces électroniques : convient à la fabrication de couches conductrices, barrières ou protectrices dans les dispositifs microélectroniques.
Revêtements structurels : revêtements protecteurs pour les composants structurels à haute température, améliorant la résistance à l’oxydation.
Matériaux membranaires fonctionnels : utilisés pour le développement de membranes fonctionnelles spéciales, de membranes réactives et de structures membranaires composites.
Q1 : Quelle est la méthode d’emballage des cibles de pulvérisation ZrSi₂ ?
A1 : Les cibles sont emballées dans un film antistatique, protégées par une boîte en mousse antichoc et un sac scellé, puis renforcées par une boîte en carton rigide afin de garantir que la surface ne soit pas endommagée ou oxydée pendant le transport.
Q2 : Quels sont les services de traitement pris en charge ?
A2 : Nous proposons des services de traitement tels que le collage de plaques arrière, le réglage dimensionnel, le polissage de surface, le perçage de trous, le chanfreinage des bords et les tests ultrasoniques afin de répondre aux exigences d’installation des différents équipements de revêtement.
Q3 : Comment les cibles doivent-elles être stockées correctement ?
A3 : Elles doivent être stockées dans un environnement sec et propre, à l’abri de l’humidité, de la poussière et de la contamination par l’huile. Pour un stockage à long terme, il est recommandé de les sceller ou de les placer dans un environnement de gaz inerte afin de préserver les performances de la surface de la cible.
Q4 : Quelle est la pureté et quels sont les avantages des cibles de pulvérisation ZrSi2 ?
A4 : La pureté des cibles est disponible en plusieurs grades, avec une faible teneur en impuretés, une structure compacte et une composition uniforme, garantissant une composition stable du film, une couche de film dense et un taux de pulvérisation stable.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans la production et la personnalisation de cibles de pulvérisation en siliciure métallique, et disposons d’un processus de fabrication complet et d’un système de qualité rigoureux. Nous pouvons fournir de manière fiable des cibles ZrSi2 à haute densité et à la composition très homogène. De multiples tests garantissent des performances de pulvérisation stables et une qualité de film fiable. Nous offrons des services complets, notamment une livraison rapide, un traitement personnalisé et des conseils techniques. Que ce soit pour la recherche scientifique ou la production industrielle, nous fournissons un soutien matériel stable à long terme, ce qui fait de nous un fournisseur fiable de cibles de pulvérisation.
Formule moléculaire : ZrSi₂
Poids moléculaire : 122,28 g/mol
Aspect : Cible dense gris argenté à gris clair avec une surface lisse.
Densité : Environ 6,3 g/cm³
Point de fusion : Environ 1 540 °C
Structure cristalline : Orthorhombique
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter
