Les cibles de pulvérisation en alliage
nickel-niobium-titane
sont des cibles en alliage ternaire nickel-niobium-titane de haute pureté adaptées au dépôt de films minces fonctionnels et à la fabrication de dispositifs microélectroniques de haute précision.
Nous proposons des cibles de pulvérisation NiNbTi de composition uniforme et de structure dense. Des tailles et des proportions personnalisées peuvent être fournies pour répondre à des exigences de processus spécifiques. Veuillez nous contacter
pour obtenir des informations techniques.
Alliage ternaire de haute pureté
Composition uniforme et stable
Bonne répétabilité du film
Densité élevée de la cible
Convient aux processus de pulvérisation magnétron
Prend en charge la personnalisation des liaisons
et des fonds de panier
Prend en charge la personnalisation multi-spécifications
Films minces fonctionnels haute performance : convient à la préparation de films minces fonctionnels en nickel-niobium-titane présentant d’excellentes propriétés mécaniques, électriques et magnétiques, garantissant des couches de film uniformes et stables.
Fabrication de dispositifs microélectroniques : utilisé pour former des couches de film mince en alliage stable dans les dispositifs microélectroniques et MEMS, répondant aux exigences de précision du processus.
Films anticorrosion et protecteurs : peuvent être utilisés pour préparer des films minces anticorrosion, protecteurs ou fonctionnels, améliorant la stabilité des dispositifs dans des environnements complexes.
Recherche et développement de processus : convient à une utilisation expérimentale dans les instituts de recherche pour le contrôle de la structure des films minces, l’optimisation du rapport d’alliage ternaire et la recherche sur les paramètres de processus.
Q1 : Avec quels équipements de pulvérisation les cibles de pulvérisation NiNbTi peuvent-elles être utilisées ?
R1 : Convient aux équipements de pulvérisation magnétron conventionnels ; les exigences spécifiques dépendent des spécifications de l’équipement.
Q2 : Le rapport ternaire de la cible peut-il être personnalisé ?
R2 : Oui, des solutions personnalisées avec différents rapports de nickel, niobium et titane peuvent être fournies en fonction des exigences de performance du film mince.
Q3 : La composition du film mince est-elle stable pendant la pulvérisation ?
R3 : Dans des conditions de processus standard, la composition du film mince reste très similaire à celle de la cible.
Q4 : Fournissez-vous des cibles de petite taille ou adaptées à la recherche ?
R4 : Oui, nous proposons différentes spécifications adaptées aux phases de R&D et d’expérimentation.
Chaque lot est accompagné des documents suivants :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous avons une grande expérience dans la préparation et le traitement de cibles en alliage ternaire nickel-niobium-titane, en mettant l’accent sur l’uniformité de la composition, la compacité de la structure et l’adaptabilité du processus, fournissant ainsi un support matériel fiable pour les films minces fonctionnels et les dispositifs microélectroniques haute performance.
Formule moléculaire : NiNbTi
Aspect : Matériau cible métallique blanc argenté avec une surface lisse
Structure cristalline : Structure cristalline cubique centrée
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter
