Lesciblesannulaires entantale (Ta) sont des matériaux de pulvérisation haute performance connus pour leur excellente résistance à la corrosion, leur point de fusion élevé (3017°C) et l’uniformité exceptionnelle de leur film. Ces cibles sont largement utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques et le dépôt de couches minces pour les appareils électroniques et photoniques haut de gamme.
Nous fournissons des cibles annulaires en tantale de haute pureté (99,99 %) avec des dimensions personnalisées et un contrôle précis de la microstructure afin de garantir des performances de pulvérisation homogènes et une longue durée de vie des cibles.
Uniformité exceptionnelle du film : La microstructure à grains fins garantit des taux de pulvérisation homogènes.
Stabilité thermique et chimique élevée : Stable dans des environnements à haute température et sous vide poussé.
Faible teneur en oxygène et en impuretés : Améliore l’adhérence et réduit les défauts du film.
Assistance technique personnalisée : Conception de cibles sur mesure pour les systèmes de pulvérisation magnétron.
Longue durée de vie : La densité et la résistance mécanique optimisées minimisent l’érosion et la fissuration.
Industrie dessemi-conducteurs: Barrières de diffusion, électrodes de condensateur et couches d’interconnexion.
Optoélectronique : Revêtements optiques pour les films à haute réflectivité et anticorrosion.
Aérospatiale et énergie : Revêtements fonctionnels pour les composants structurels à haute performance.
Recherche et développement : Recherche sur les matériaux avancés, synthèse de films nanostructurés.
Chaque lot de cibles annulaires en tantale d’ULPMAT est fourni avec :
Données d’inspection de la taille et de la densité des grains
Résultats des tests de finition de surface et de planéité
En option : Analyse des traces d’impuretés par GDMS et test d’uniformité du film
Formule chimique：Ta
Poids moléculaire ：180.9479 g/mol
Pureté：99.99% (disponible)
Densité:16,65 g/cm³
Point de fusion:3017 °C
Point d’ébullition:5458 °C
Structure cristalline:Cubique centré (BCC)
Emballage intérieur : Sacs scellés sous vide et emballage pour éviter la contamination et l’humidité.
Emballage extérieur : Cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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