Les cibles de pulvérisation en nitrure d’aluminium sont des matériaux céramiques de haute performance qui se caractérisent par une excellente conductivité thermique, une isolation électrique élevée et une grande stabilité chimique. Ces propriétés en font un choix idéal pour le dépôt de couches minces dans les applications de semi-conducteurs, d’optoélectronique et de couches diélectriques.
Nos cibles de pulvérisation de nitrure d’aluminium sont fabriquées avec une pureté élevée et une microstructure raffinée afin de garantir une excellente uniformité du film, une forte adhérence et des taux de dépôt stables. Que ce soit pour la R&D ou la production industrielle à grande échelle, nous offrons une qualité fiable et une assistance technique professionnelle pour vous aider à répondre à vos exigences de performance spécifiques.
Cibles de pulvérisation de nitrure d’aluminium de haute pureté : ≥99,9%
Faible teneur en oxygène et en impuretés pour une qualité de film supérieure
Disponibles en différentes formes (disque, rectangulaire) et dimensions
Structure granulaire serrée et composition homogène pour une pulvérisation uniforme
Dispositifs semi-conducteurs : Couches isolantes, couches tampons et films de passivation
Composants optoélectroniques : Couches minces pour DEL, diodes laser et photodétecteurs
Revêtements de gestion thermique : Films minces sur des substrats nécessitant une dissipation efficace de la chaleur
Dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW) : Couches diélectriques à haute performance
Revêtements de protection : Dans des environnements chimiques ou thermiques difficiles nécessitant des films céramiques stables
Chaque lot de cibles de pulvérisation d’AlN est livré avec un certificat d’analyse (COA) et une fiche de données de sécurité (MSDS). L’analyse standard comprend la pureté chimique, la densité, la composition des phases (XRD) et l’inspection de la microstructure (SEM). Des tests supplémentaires effectués par des tiers et des rapports de conformité RoHS/REACH sont disponibles sur demande.
Qualité constante : Contrôle étroit du processus pour une taille de grain et une densité uniformes
Personnalisation : Taille cible, forme et service de collage adaptés à votre système
Expertise technique : Assistance pour les paramètres de pulvérisation, les propriétés des films et le dépannage
Livraison mondiale : Expédition internationale sûre et conforme avec une documentation complète
Formule chimique : AlN
Aspect : Blanc à gris clair
Densité : ~3.255 g/cm³
Point de fusion : ~2 500 °C
Conductivité thermique : ≥170 W/m-K (théorique)
Résistivité électrique : >10¹³ Ω-cm
Solubilité : s’hydrolyse lentement dans l’eau et les acides.
Structure cristalline : Hexagonale (Wurtzite)
Stabilité : Sensible à l’humidité ; stable dans des atmosphères inertes.
Non classé comme dangereux
Emballage intérieur : Sachet scellé sous vide pour protéger de la contamination et de l’humidité.
Emballage extérieur : Carton ou caisse en bois, en fonction de la taille et du poids.
Cibles fragiles : Un emballage de protection spécial est utilisé pour assurer un transport sûr.
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