{"id":42989,"date":"2026-01-23T13:27:58","date_gmt":"2026-01-23T05:27:58","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/product\/siliciuro-de-titanio\/"},"modified":"2026-01-23T13:27:58","modified_gmt":"2026-01-23T05:27:58","slug":"siliciuro-de-titanio","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/producto\/siliciuro-de-titanio\/","title":{"rendered":"Siliciuro de titanio"},"content":{"rendered":"

Descripci\u00f3n general de los blancos de pulverizaci\u00f3n de siliciuro de titanio<\/span><\/h2>\n

Los blancos de pulverizaci\u00f3n
\nde siliciuro de titanio<\/a><\/span>
\nson blancos cer\u00e1micos de siliciuro met\u00e1lico de alto rendimiento que se utilizan principalmente para depositar pel\u00edculas de siliciuro de titanio de baja resistencia y alta estabilidad t\u00e9rmica. Este producto se aplica ampliamente en la fabricaci\u00f3n de v\u00edas de contacto, interconexiones y puertas para circuitos integrados semiconductores<\/a><\/span>
\n, y es un material clave indispensable en la fabricaci\u00f3n avanzada de chips.<\/p>\n

Ofrecemos blancos de pulverizaci\u00f3n de TiSi\u2082 en m\u00faltiples especificaciones con alta pureza y densidad. Disponemos de servicios profesionales de uni\u00f3n<\/a><\/span>
\na diversos materiales de sustrato (por ejemplo, cobre, aluminio, molibdeno) en funci\u00f3n de los requisitos de su equipo.<\/p>\n

Caracter\u00edsticas destacadas del producto<\/span><\/h2>\n

Alta pureza
\nDensidad excepcionalmente alta
\nRelaci\u00f3n estequiom\u00e9trica precisa de Si\/Ti
\nMicroestructura uniforme con rendimiento de pulverizaci\u00f3n estable
\nCaracter\u00edsticas de pel\u00edcula de baja resistividad<\/p>\n

Aplicaciones de los blancos de pulverizaci\u00f3n de siliciuro de titanio<\/span><\/h2>\n

Contactos e interconexiones de semiconductores<\/a><\/span>:<\/strong>
\ndeposita pel\u00edculas de siliciuro de titanio de baja resistencia (TiSi\u2082 en fase C54) sobre obleas de silicio para formar contactos \u00f3hmicos para los terminales de fuente\/drenaje y puerta de los transistores, as\u00ed como interconexiones locales, lo que reduce significativamente el retraso del circuito.
\nCapas de barrera<\/a> <\/span>y adhesi\u00f3n:<\/strong>
\nen estructuras de interconexi\u00f3n multicapa, las pel\u00edculas de TiSi\u2082 act\u00faan como capas de barrera y adhesi\u00f3n eficaces, evitando la interdifusi\u00f3n entre las interconexiones met\u00e1licas y el sustrato de silicio para mejorar la fiabilidad del dispositivo.
\nC\u00e9lulas solares<\/a><\/span> basadas en silicio:<\/strong>
\nSe utilizan para fabricar electrodos traseros y capas de contacto en c\u00e9lulas solares de silicio cristalino de alta eficiencia, mejorando la eficiencia de la recolecci\u00f3n de portadores.
\nRecubrimientos funcionales especializados:<\/strong>
\nDebido a su alta dureza y excelente inercia qu\u00edmica, se puede utilizar para recubrimientos resistentes al desgaste y a la corrosi\u00f3n en superficies de herramientas y moldes.<\/p>\n

Preguntas frecuentes<\/span><\/a><\/span><\/h2>\n

P1: \u00bfC\u00f3mo garantiza el objetivo de siliciuro de titanio la composici\u00f3n de fase y la baja resistividad en la pulverizaci\u00f3n?
\nR1: Logramos una composici\u00f3n de fase casi ideal controlando con precisi\u00f3n la composici\u00f3n qu\u00edmica del objetivo y garantizando una microestructura densa y uniforme. El posterior recocido t\u00e9rmico r\u00e1pido (RTA) facilita la transformaci\u00f3n de fase de C49 de alta resistencia a C54 de baja resistencia, lo que proporciona las propiedades deseadas.<\/p>\n

P2: \u00bfCu\u00e1l es la principal diferencia entre las pel\u00edculas de TiSi\u2082 de fase C49 y de fase C54?
\nR2: La fase C49 presenta una mayor resistividad y es la fase inicial tras la deposici\u00f3n de la pel\u00edcula. Tras un tratamiento de recocido adecuado, se transforma en la fase C54 con una resistividad extremadamente baja, que es la fase funcional que se utiliza realmente en los dispositivos.<\/p>\n

P3: \u00bfPor qu\u00e9 es tan importante la densidad del objetivo?
\nR3: Una alta densidad evita eficazmente las salpicaduras de part\u00edculas y las descargas anormales durante la pulverizaci\u00f3n, lo que garantiza la estabilidad de la deposici\u00f3n. Esto da como resultado pel\u00edculas uniformes y densas con menos defectos, al tiempo que se prolonga la vida \u00fatil del objetivo.<\/p>\n

P4: \u00bfPara qu\u00e9 equipos de pulverizaci\u00f3n es adecuado el material de blanco de siliciuro de titanio?
\nA4: Es adecuado para equipos de pulverizaci\u00f3n por magnetr\u00f3n de CC y de RF. Ofrecemos tama\u00f1os circulares y rectangulares est\u00e1ndar, con dimensiones personalizadas disponibles para adaptarse a varios modelos de c\u00e1todos de pulverizaci\u00f3n.<\/p>\n

Informe<\/span><\/h2>\n

Cada lote se suministra con:
\nCertificado de an\u00e1lisis (COA)<\/u><\/a><\/span><\/p>\n

Ficha t\u00e9cnica (TDS)<\/u><\/a><\/span><\/p>\n

Ficha de datos de seguridad (MSDS)<\/u><\/a><\/span>
\nInforme de inspecci\u00f3n de tama\u00f1o
\nInformes de pruebas de terceros disponibles bajo petici\u00f3n<\/p>\n

. \u00bfPor qu\u00e9 elegirnos?<\/span><\/h2>\n

Como proveedor especializado en materiales electr\u00f3nicos avanzados, comprendemos profundamente el papel fundamental que desempe\u00f1an los blancos de TiSi\u2082 en la micro\/nanofabricaci\u00f3n. No solo proporcionamos blancos de alta calidad que cumplen con las normas SEMI, sino que tambi\u00e9n damos prioridad a la consistencia de los lotes y a una amplia ventana de proceso.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Descripci\u00f3n general de los blancos de pulverizaci\u00f3n de siliciuro de titanio Los blancos de pulverizaci\u00f3n de siliciuro de titanio son blancos cer\u00e1micos de siliciuro met\u00e1lico de alto rendimiento que se utilizan principalmente para depositar pel\u00edculas de siliciuro de titanio de baja resistencia y alta estabilidad t\u00e9rmica. Este producto se aplica ampliamente en la fabricaci\u00f3n de […]<\/p>\n","protected":false},"featured_media":42990,"template":"","meta":{"_acf_changed":false},"product_brand":[132],"product_cat":[457],"product_tag":[5533],"class_list":["post-42989","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_brand-ulpmat","product_cat-blanco-ceramico-para-sputtering","product_tag-catodos-para-sputtering-de-siliciuro-de-titanio","first","instock","featured","shipping-taxable","product-type-variable"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/product\/42989","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media\/42990"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=42989"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=42989"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=42989"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=42989"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}