Aleación de aluminio y silicio

Descripción general del objetivo giratorio de aleación de silicio y aluminio

El objetivo giratorio
de aleación de silicio y aluminio
es un objetivo giratorio de aleación para procesos de pulverización continua, que combina las propiedades de las aleaciones de silicio y aluminio con las ventajas de una estructura de objetivo giratorio. Se utiliza principalmente en paneles de visualización, capas metálicas de semiconductores
, circuitos de película delgada y deposición de recubrimientos funcionales de gran superficie.

Podemos proporcionar blancos giratorios de aleación de silicio y aluminio de diferentes tamaños y tipos de interfaz según la estructura del cátodo del equipo. Ofrecemos asistencia para la integración de procesos y la comunicación técnica. Póngase en contacto con nosotros
directamente para obtener soluciones.

Características destacadas del producto

Pulverización giratoria, alta utilización del blanco
Buena estabilidad de pulverización de la aleación
Excelente uniformidad de la película
Adecuado para un funcionamiento continuo a largo plazo
Facilita la disipación del calor y la refrigeración
Estructura y tamaño personalizados

Aplicaciones del objetivo giratorio de aleación de silicio y aluminio

Películas metálicas para paneles de visualización:
adecuadas para la deposición de capas metálicas conductoras o funcionales en paneles de visualización, que cumplen los requisitos para la deposición uniforme de películas en grandes superficies.
Deposición de capas metálicas semiconductoras:
en la fabricación de dispositivos semiconductores, la estructura de objetivo giratorio ayuda a mejorar la estabilidad de la pulverización y la uniformidad de la película.
Circuitos de película delgada y recubrimientos funcionales:
adecuado para la preparación de circuitos de película delgada y recubrimientos funcionales relacionados, lo que permite un funcionamiento estable en condiciones de proceso continuo.
Investigación y optimización de procesos:
ampliamente utilizado en la investigación de parámetros de proceso y el desarrollo de películas delgadas de aleaciones novedosas en sistemas de pulverización giratoria.

Preguntas frecuentes

P1: ¿Cuáles son las ventajas de un objetivo giratorio de aleación de silicio y aluminio en comparación con un objetivo de aleación plano?
R1: Un objetivo giratorio, mediante la participación continua en la pulverización, puede mejorar la utilización del objetivo y aumentar la uniformidad de las películas finas de gran superficie.

P2: ¿Cuáles son los requisitos del sistema de refrigeración cuando se utiliza un objetivo giratorio de aleación de silicio y aluminio?
R2: Los objetivos giratorios se utilizan normalmente junto con estructuras de refrigeración internas para ayudar a mantener la estabilidad del proceso de pulverización.

P3: ¿Qué métodos de pulverización son adecuados para los blancos rotativos de aleación de silicio y aluminio?
R3: Se pueden utilizar en procesos comunes de pulverización de blancos metálicos, como la pulverización con corriente continua, dependiendo de la configuración del equipo.

P4: ¿Cómo mantener una composición estable de la película durante la pulverización?
R4: El control adecuado de los parámetros de potencia, atmósfera y rotación ayuda a obtener un rendimiento estable y consistente de la película.

Informe

Cada lote se suministra con:
Certificado de análisis (COA)

Ficha técnica (TDS)

Ficha de datos de seguridad (MSDS)
Informe de inspección de tamaño
Informes de pruebas de terceros disponibles bajo petición

¿Por qué elegirnos?

Nos especializamos en el suministro orientado a la aplicación de blancos de pulverización de aleación, haciendo hincapié en el diseño estructural del blanco y la compatibilidad del equipo. Podemos proporcionar a los clientes soluciones de productos estables y fiables, así como un soporte técnico eficiente.