{"id":58720,"date":"2026-09-07T15:21:20","date_gmt":"2026-09-07T07:21:20","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/igzo-vs-ito-sputter-target-wesentliche-unterschiede-anwendungsbereiche-und-vergleich\/"},"modified":"2026-09-10T14:34:14","modified_gmt":"2026-09-10T06:34:14","slug":"igzo-vs-ito-sputter-target-wesentliche-unterschiede-anwendungsbereiche-und-vergleich","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/igzo-vs-ito-sputter-target-wesentliche-unterschiede-anwendungsbereiche-und-vergleich\/","title":{"rendered":"IGZO- vs. ITO-Sputtertarget: Wesentliche Unterschiede, Anwendungsbereiche und Vergleich"},"content":{"rendered":"\t\t
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IGZO<\/a> <\/span>vs ITO<\/a> <\/span>ist ein wichtiger Vergleich bei der Auswahl von Oxidmaterialien f\u00fcr die D\u00fcnnschichtabscheidung. Obwohl beide Materialien durch Sputtern abgeschieden werden k\u00f6nnen und optische Transparenz bieten, erf\u00fcllen sie in elektronischen und optoelektronischen Bauelementen unterschiedliche Funktionen. IGZO (Indium-Gallium-Zink-Oxid) wird in erster Linie als Oxid-Halbleiter Halbleiter<\/a><\/span>verwendet, w\u00e4hrend ITO (Indium-Zinn-Oxid) haupts\u00e4chlich als transparentes leitf\u00e4higes Oxid zum Einsatz kommt.<\/p>

Dieser Unterschied beeinflusst die Auswahl der jeweiligen Targets f\u00fcr Anwendungen wie D\u00fcnnschichttransistoren, Display-Backplanes, transparente Elektroden, Halbleiterforschung und optoelektronische Bauelemente. F\u00fcr Eink\u00e4ufer und Ingenieure, die IGZO- und ITO-Targets vergleichen, sind Faktoren wie Zusammensetzung, elektrische Eigenschaften, optische<\/a> <\/span>Eigenschaften, Anwendungsbereiche, Sputteranforderungen, Reinheit und Targetspezifikationen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"Vergleich\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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IGZO- vs. ITO-Sputtertarget: Was ist der Hauptunterschied?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Der Hauptunterschied zwischen IGZO und ITO liegt in<\/strong> ihrer elektrischen Funktion innerhalb der aufgebrachten D\u00fcnnschicht<\/strong>. IGZO ist auf ein kontrolliertes Halbleiterverhalten ausgelegt, w\u00e4hrend ITO dazu dient, elektrische Leitf\u00e4higkeit zu gew\u00e4hrleisten und gleichzeitig die optische Transparenz zu erhalten.<\/p>
Merkmal<\/strong><\/td>IGZO<\/strong><\/td>ITO\u00a0<\/strong><\/td><\/tr>
Vollst\u00e4ndiger Name<\/td>Indium-Gallium-Zink-Oxid<\/td>Indium-Zinn-Oxid<\/td><\/tr>
Hauptbestandteile<\/td>In\u2082O\u2083, Ga\u2082O\u2083, ZnO<\/td>In\u2082O\u2083, SnO\u2082<\/td><\/tr>
Materialklasse<\/td>Oxidhalbleiter<\/td>Transparentes leitf\u00e4higes Oxid<\/td><\/tr>
Hauptfunktion<\/td>Halbleiter-D\u00fcnnschicht<\/td>Transparente leitf\u00e4hige Schicht<\/td><\/tr>
Typische TFT-Funktion<\/td>Aktive Halbleiterschicht<\/td>Elektrode \/ leitf\u00e4hige Schicht<\/td><\/tr>
Elektrische Priorit\u00e4t<\/td>Gesteuerter Ladungstr\u00e4gertransport<\/td>Geringer elektrischer spezifischer Widerstand<\/td><\/tr>
Optische Eigenschaft<\/td>Hohe Transparenz m\u00f6glich<\/td>Hohe Transparenz<\/td><\/tr>
Typische Anwendungen<\/td>TFTs, Display-Backplanes, Oxidhalbleiterbauelemente<\/td>Transparente Elektroden, Displays, Photovoltaik, Optoelektronik<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>

Vereinfacht ausgedr\u00fcckt wird IGZO im Allgemeinen f\u00fcr Halbleiterfunktionen gew\u00e4hlt, w\u00e4hrend ITO f\u00fcr die transparente elektrische Leitung zum Einsatz kommt.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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IGZO- und ITO-Sputter-Targets: Zusammensetzung, elektrische Eigenschaften und Anwendungsbereiche<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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IGZO und ITO sind beides Oxidmaterialien, die beim Sputtern verwendet werden, erf\u00fcllen jedoch aufgrund ihrer Zusammensetzung unterschiedliche elektrische Funktionen.<\/p>

IGZO (Indium-Gallium-Zink-Oxid) setzt sich aus In\u2082O\u2083, Ga\u2082O\u2083 und ZnO zusammen. Eine h\u00e4ufig verwendete Zusammensetzung ist das Molverh\u00e4ltnis In\u2082O\u2083:Ga\u2082O\u2083:ZnO = 1:1:1. Es wird in erster Linie als Oxidhalbleiter f\u00fcr TFTs, Display-Backplanes und andere elektronische Bauelemente eingesetzt. Das relative In\/Ga\/Zn-Verh\u00e4ltnis kann die elektrischen und strukturellen Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht beeinflussen.<\/p>

ITO (Indium-Zinn-Oxid) besteht haupts\u00e4chlich aus In\u2082O\u2083 und SnO\u2082. SnO\u2082 wird hinzugef\u00fcgt, um die Ladungstr\u00e4gerkonzentration und die elektrische Leitf\u00e4higkeit zu erh\u00f6hen. ITO wird daher h\u00e4ufig als transparentes leitf\u00e4higes Oxid (TCO) f\u00fcr transparente Elektroden, Displays, photovoltaische Bauelemente und optoelektronische Komponenten verwendet.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tEigenschaft<\/span><\/th>\n\t\t\t \t\t\t\t \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tIGZO<\/span><\/th>\n\t\t\t \t\t\t\t \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tITO<\/span><\/th>\n\t\t\t \t\t\t\t <\/tr>\n\t\t\t <\/thead>\n\t\t\t \t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tHauptzusammensetzung\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tIn\u2082O\u2083 + Ga\u2082O\u2083 + ZnO\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tIn\u2082O\u2083 + SnO\u2082\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t \t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tHauptfunktion\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tOxidhalbleiter\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tTransparenter Leiter\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t \t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tTypische T\u00e4tigkeit im Bereich Elektrotechnik\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tGesteuerter Transport von Tr\u00e4gern\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tGeringer elektrischer Widerstand\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t \t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tTypische Anwendungsbereiche\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tTFTs, Display-Backplanes, Halbleiterbauelemente\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tTransparente Elektroden, Displays, Photovoltaik\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t \t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tWichtigster Auswahlfaktor\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tLeistung von Halbleitern\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tLeitf\u00e4higkeit und Transparenz\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t \t\t\t <\/tbody>\n\t\t\t<\/table>\n\t\t<\/div>\n\t \t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Bei IGZO-Targets sollten bei der Qualit\u00e4tsbewertung nicht nur die nominelle Reinheit, sondern auch Reinheit, Zusammensetzung, Verunreinigungskontrolle, Dichte und Targetabmessungen ber\u00fccksichtigt werden. Ausf\u00fchrliche Informationen zur Targetqualit\u00e4t und zu den Pr\u00fcfkriterien finden Sie unter \u201eQualit\u00e4t von IGZO-Sputtertargets: Wie Reinheit, Zusammensetzung und Dichte die Leistung von D\u00fcnnschichten beeinflussen\u201c.<\/a><\/span><\/p>

In herk\u00f6mmlichen Anwendungen ist ITO im Allgemeinen leitf\u00e4higer als IGZO. Die Wahl des geeigneten Materials h\u00e4ngt jedoch von der geforderten Funktion ab: ITO wird typischerweise f\u00fcr eine niederohmige transparente Leitung gew\u00e4hlt, w\u00e4hrend IGZO f\u00fcr ein kontrolliertes Halbleiterverhalten in TFTs und verwandten Bauelementen zum Einsatz kommt.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"Funktionsvergleich\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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IGZO- und ITO-Sputter-Targets \u2013 Sputterverfahren<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Obwohl sowohl IGZO als auch ITO durch Sputtern abgeschieden werden k\u00f6nnen, sind ihre Prozessbedingungen nicht austauschbar. Parameter wie Sputterleistung, Arbeitsdruck, Substrattemperatur und insbesondere der Sauerstoffpartialdruck beeinflussen die Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht. Bei IGZO k\u00f6nnen die Sauerstoffbedingungen die Sauerstoff-Leerstellen-Konzentration, die Ladungstr\u00e4gerdichte und das Halbleiterverhalten beeinflussen, w\u00e4hrend sie bei ITO das Gleichgewicht zwischen elektrischer Leitf\u00e4higkeit und optischer Transparenz stark beeinflussen. Daher erfordert der Wechsel von einem Target zum anderen in der Regel eine Prozessoptimierung und nicht einfach die Anwendung desselben Sputterrezepts. Das Targetmaterial und die Abscheidungsbedingungen m\u00fcssen gemeinsam ber\u00fccksichtigt werden, um die erforderliche Schichtleistung zu erzielen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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Welches Sputtertarget sollten Sie w\u00e4hlen?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Die Entscheidung zwischen IGZO und ITO sollte von der gew\u00fcnschten Funktion der abgeschiedenen Schicht<\/strong> ausgehen. W\u00e4hlen Sie IGZO<\/strong>, wenn die Anwendung einen Oxidhalbleiter erfordert, wie beispielsweise ein TFT<\/a><\/span> , eine Display-Backplane oder die Forschung im Bereich der Oxidhalbleiter. Entscheiden Sie sich f\u00fcr ITO<\/strong>, wenn der Film eine transparente elektrische Leitf\u00e4higkeit gew\u00e4hrleisten muss, insbesondere bei transparenten Elektroden und niederohmigen leitf\u00e4higen Schichten.<\/p>

Beim Kauf eines Targets sollte die Auswahl \u00fcber die nominelle Reinheit hinausgehen. K\u00e4ufer sollten Zusammensetzung, Reinheit, Verunreinigungsgehalte, Dichte, Targetabmessungen, Geometrie, Anforderungen an die Befestigung sowie die Kompatibilit\u00e4t mit dem Sputter-System<\/strong> vergleichen. Bei IGZO sollten das angegebene In\u2082O\u2083:Ga\u2082O\u2083:ZnO-Verh\u00e4ltnis<\/strong> und die Halbleiteranforderungen \u00fcberpr\u00fcft werden. Bei ITO sollten die In\u2082O\u2083\/SnO\u2082-Zusammensetzung<\/strong>, die Anforderungen an die Leitf\u00e4higkeit, die optischen Anforderungen und die Targetkonfiguration \u00fcberpr\u00fcft werden. Ein technisches Datenblatt (TDS) und ein chargenspezifisches Pr\u00fcfzeugnis (COA) k\u00f6nnen dabei helfen, diese Spezifikationen vor dem Kauf zu verifizieren.<\/p>
Anforderung<\/strong><\/td>Empfohlenes Material<\/strong><\/td><\/tr>
Aktive Halbleiterschicht des TFT<\/td>IGZO<\/td><\/tr>
Halbleiterschicht der Display-Backplane<\/td>IGZO<\/td><\/tr>
Gesteuerter Halbleitertr\u00e4gertransport<\/td>IGZO<\/td><\/tr>
Forschung und Entwicklung im Bereich Oxidhalbleiter<\/td>IGZO<\/td><\/tr>
Transparente leitf\u00e4hige Elektrode<\/td>ITO<\/td><\/tr>
Transparente Schicht mit geringem Widerstand<\/td>ITO<\/td><\/tr>
Leitf\u00e4hige transparente Beschichtung<\/td>ITO<\/td><\/tr>
Transparente optoelektronische Elektrode<\/td>ITO<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>

Die Faustregel ist einfach: W\u00e4hlen Sie IGZO f\u00fcr Halbleiterfunktionen und ITO f\u00fcr transparente elektrische Leitf\u00e4higkeit.<\/strong> Die endg\u00fcltige Auswahl sollte unter Ber\u00fccksichtigung der Ger\u00e4tearchitektur, der erforderlichen Schichteigenschaften, der Zielspezifikationen und des Abscheidungssystems getroffen werden.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"Leitfaden\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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H\u00e4ufig gestellte Fragen<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>1. Ist ein IGZO-Target dasselbe wie ein ITO-Target?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

Nein. IGZO (Indium-Gallium-Zink-Oxid)<\/strong> wird haupts\u00e4chlich als Oxidhalbleiter verwendet, w\u00e4hrend ITO (Indium-Zinn-Oxid)<\/strong> vor allem als transparentes leitf\u00e4higes Oxid (TCO) zum Einsatz kommt. Aufgrund ihrer unterschiedlichen Zusammensetzungen und elektrischen Eigenschaften eignen sie sich f\u00fcr unterschiedliche Anwendungsbereiche.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>2. Worin besteht der Hauptunterschied zwischen einem IGZO-Target und einem ITO-Target?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

Der Hauptunterschied liegt in ihrer elektrischen Funktion<\/strong>. IGZO wird in erster Linie f\u00fcr Halbleiter-D\u00fcnnschichten verwendet, insbesondere in TFTs, w\u00e4hrend ITO vor allem f\u00fcr transparente leitf\u00e4hige Schichten und Elektroden zum Einsatz kommt.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>3. Ist das ITO-Target leitf\u00e4higer als das IGZO-Target?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

Im Allgemeinen ja. ITO ist darauf ausgelegt, eine hohe elektrische Leitf\u00e4higkeit und optische Transparenz zu bieten, w\u00e4hrend IGZO f\u00fcr ein kontrolliertes Halbleiterverhalten eingesetzt wird. Die tats\u00e4chliche Leitf\u00e4higkeit der jeweiligen Schicht h\u00e4ngt von der Zusammensetzung und den Abscheidungsbedingungen ab.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>4. Kann ein IGZO-Target ein ITO-Target ersetzen?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

IGZO ist kein universeller Ersatz f\u00fcr ITO, da beide Materialien in der Regel unterschiedliche Funktionen erf\u00fcllen. IGZO wird in erster Linie f\u00fcr Halbleiterschichten verwendet, w\u00e4hrend ITO vor allem f\u00fcr transparente leitf\u00e4hige Schichten zum Einsatz kommt. In einigen Bauelementstrukturen k\u00f6nnen sie gemeinsam verwendet werden, anstatt sich gegenseitig zu ersetzen.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>5. Was eignet sich besser f\u00fcr transparente Elektroden?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

ITO ist in der Regel die g\u00e4ngige Wahl f\u00fcr transparente Elektroden<\/strong>, da es eine Kombination aus elektrischer Leitf\u00e4higkeit und optischer Transparenz bietet. Die endg\u00fcltige Entscheidung sollte von der erforderlichen Fl\u00e4chenwiderstandsf\u00e4higkeit, der optischen Durchl\u00e4ssigkeit, der Bauweise des Bauelements und dem Abscheidungsverfahren abh\u00e4ngen.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>6. Weist das IGZO-Target eine bessere Transparenz auf als das ITO-Target?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

Es gibt keine allgemeing\u00fcltige Antwort. Die optische Durchl\u00e4ssigkeit von IGZO- und ITO-Schichten h\u00e4ngt von Faktoren wie Zusammensetzung, Dicke, Abscheidungsbedingungen, Mikrostruktur und Nachbehandlung<\/strong> ab. Die Durchl\u00e4ssigkeit sollte daher anhand schichtspezifischer Messdaten verglichen werden und nicht allein anhand der Materialbezeichnungen.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>

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<\/path><\/svg><\/span><\/path><\/svg><\/span>7. Worauf sollte ich beim Kauf eines IGZO-Sputtertargets achten?<\/span><\/path><\/svg><\/div>

\u00dcberpr\u00fcfen Sie das Zusammensetzungsverh\u00e4ltnis von In\u2082O\u2083 und 2O\u2083, die Reinheit, die Grenzwerte f\u00fcr Verunreinigungen, die Dichte, die Abmessungen des Targets, die Geometrie, die Anforderungen an die Bindung, das TDS sowie das chargenspezifische COA<\/strong>. Die Spezifikationen des Targets sollten zudem mit dem vorgesehenen Sputtersystem und den Anforderungen an die Schicht kompatibel sein.<\/p>\n<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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Fazit<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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IGZO und ITO sind beides wichtige Oxid-Sputtermaterialien, werden jedoch in der Regel f\u00fcr unterschiedliche Funktionen ausgew\u00e4hlt. IGZO wird vor allem f\u00fcr Oxidhalbleiteranwendungen wie TFT-Aktivschichten und Display-Backplanes verwendet, w\u00e4hrend ITO haupts\u00e4chlich f\u00fcr transparente leitf\u00e4hige Elektroden und transparente Schichten mit geringem Widerstand zum Einsatz kommt.Die richtige Wahl sollte sich daher nach der erforderlichen Folienfunktion, der Bauart des Bauteils, den Targetspezifikationen und dem Abscheidungsverfahren richten und nicht allein nach der Leitf\u00e4higkeit oder Transparenz.<\/p>

Ausf\u00fchrliche Informationen zur Qualit\u00e4t von IGZO-Targets und zu Pr\u00fcfdaten finden Sie unter \u201eIGZO-Sputter-Target-Qualit\u00e4t: Wie Reinheit, Zusammensetzung und Dichte die Leistung von D\u00fcnnschichten beeinflussen\u201c.<\/a><\/span><\/p>

Verf\u00fcgbare Spezifikationen und technische Unterlagen finden Sie auf der Produktseite zu IGZO-Sputtertargets.<\/a><\/span><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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Literaturverzeichnis<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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    \n\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t1. Nomura, K. et al. Herstellung transparenter, flexibler TFTs bei Raumtemperatur. Nature.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t2. Kamiya, T., Nomura, K., Hosono, H. Amorphe In\u2013Ga\u2013Zn\u2013O-TFTs. Science and Technology of Advanced Materials.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t3. Fortunato, E. et al. Transparente leitf\u00e4hige Oxide f\u00fcr die Photovoltaik. MRS Bulletin.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    Vergleich von IGZO- und ITO-Sputtertargets: IGZO wird als Oxidhalbleiter f\u00fcr TFT-Aktivschichten und Display-Backplanes eingesetzt, w\u00e4hrend ITO als transparentes leitf\u00e4higes Oxid f\u00fcr niederohmige transparente Elektroden dient. Erfahren Sie mehr \u00fcber die Unterschiede hinsichtlich Zusammensetzung, elektrischer Leistung und Sputterprozess sowie praktische Hinweise zur Auswahl f\u00fcr die D\u00fcnnschichtabscheidung.<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":58721,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"_xspeed_no_cache":false,"_xspeed_expiry_hours":0,"footnotes":""},"categories":[1219],"tags":[],"class_list":["post-58720","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blogs-de"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/58720","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=58720"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/58720\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":58728,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/58720\/revisions\/58728"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/58721"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=58720"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=58720"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=58720"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}