{"id":56104,"date":"2026-06-03T14:55:03","date_gmt":"2026-06-03T06:55:03","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/warum-hexagonales-bornitrid-in-halbleiteranlagen-verwendet-wird\/"},"modified":"2026-06-03T15:07:40","modified_gmt":"2026-06-03T07:07:40","slug":"warum-hexagonales-bornitrid-in-halbleiteranlagen-verwendet-wird","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/warum-hexagonales-bornitrid-in-halbleiteranlagen-verwendet-wird\/","title":{"rendered":"Warum hexagonales Bornitrid in Halbleiteranlagen verwendet wird"},"content":{"rendered":"\t\t<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"56104\" class=\"elementor elementor-56104 elementor-56022\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e4dc682 e-flex e-con-boxed e-con e-parent\" data-id=\"e4dc682\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-83a70ab elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"83a70ab\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Was ist Bornitrid? Wie wird es klassifiziert?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9bc7184 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"9bc7184\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/search\/?type=name&#038;keyword=Boron+nitride\">Bornitrid<\/a><\/span> (BN) ist ein fortschrittliches <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/product-category\/duennschicht-abscheidungsmaterialien\/keramisches-sputtering-target\/\">keramischer Werkstoff<\/a><\/span> das aus Bor- und Stickstoffatomen besteht, die in einer geschichteten <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Crystal_structure\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">kristallstruktur<\/a><\/span>angeordnet sind, \u00e4hnlich wie Graphit. Es wird sehr gesch\u00e4tzt in <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/anwendung\/halbleiter-materialien\/\">halbleiter<\/a> <\/span>in der Halbleiterherstellung aufgrund seiner Kombination aus thermischer Stabilit\u00e4t, elektrischer Isolierung und chemischer Inertheit sehr gesch\u00e4tzt. BN ist in der Regel in Pulverform erh\u00e4ltlich und wird zu hei\u00dfgepressten Keramiken, Beschichtungen und isolierenden Komponenten verarbeitet, die in CVD-, PVD-, Plasma\u00e4tz- und Wafer-Handling-Anlagen verwendet werden.<\/p><p>Bornitrid wird in drei Hauptkristallstrukturen eingeteilt:<\/p><ul><li><strong>Hexagonales BN (h-BN)<\/strong>: Die in der Halbleiterindustrie gebr\u00e4uchlichste Form, die hervorragende thermische und elektrische Eigenschaften und eine gute Bearbeitbarkeit bietet.<\/li><li><strong>Kubisches BN (c-BN)<\/strong>: \u00c4u\u00dferst hart, wird in Schneidwerkzeugen und Schleifanwendungen verwendet, weniger h\u00e4ufig in Halbleiterger\u00e4ten.<\/li><li><strong>Wurtzit-BN (w-BN)<\/strong>: Selten und hochspezialisiert, wird haupts\u00e4chlich in der Hochdruckforschung und f\u00fcr extreme technische Anwendungen verwendet.<\/li><\/ul><p>Innerhalb jedes Typs werden BN-Materialien weiter nach Reinheit, Partikelgr\u00f6\u00dfe, Dichte und Verarbeitungsmethode kategorisiert, die ihre Eignung f\u00fcr bestimmte Hochtemperatur-, plasmabest\u00e4ndige oder ultrareine Halbleiteranwendungen bestimmen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-16196a3 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"16196a3\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"480\" height=\"201\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56038\" alt=\"Kristallstruktur von Bornitridpulver -ulpmat\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure.png 480w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure-300x126.png 300w\" sizes=\"(max-width: 480px) 100vw, 480px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">BN Kristallstruktur<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-34e15f9 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"34e15f9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Warum wird hexagonales Bornitrid in Halbleiteranlagen verwendet?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-815c91a elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"815c91a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/produkt\/bornitrid-2\/\">Hexagonales Bornitrid<\/a><\/span> ist in Halbleiteranwendungen weit verbreitet, da es eine hervorragende thermische Stabilit\u00e4t, elektrische Isolierung und Widerstandsf\u00e4higkeit gegen Plasmaangriffe aufweist. Bei Halbleiterherstellungsprozessen wie CVD, PVD und Plasma\u00e4tzen werden die Materialien extremen Bedingungen ausgesetzt, darunter Temperaturen von 800\u00b0C bis 1800\u00b0C, Hochenergieplasma und Ultrahochvakuum.<\/p><p>h-BN-Keramikmaterialien behalten unter diesen Bedingungen ihre strukturelle Integrit\u00e4t und dielektrische Stabilit\u00e4t bei, was sie zu einer der zuverl\u00e4ssigsten W\u00e4rmed\u00e4mmkeramiken in modernen Halbleiteranlagen macht.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ddb438c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"ddb438c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Hochtemperaturstabilit\u00e4t von h-BN-Keramikmaterialien<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-64888f1 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"64888f1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Hexagonales Bornitrid (h-BN) weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilit\u00e4t auf. In inerten oder Vakuumumgebungen kann seine Betriebstemperatur etwa 1800\u00b0C erreichen. In oxidierenden Atmosph\u00e4ren liegt die tats\u00e4chliche Betriebstemperatur bei etwa 850-900\u00b0C, wodurch sich h-BN f\u00fcr Ofenisolationssysteme, Wafertr\u00e4ger und Hochtemperatur-Strukturbauteile eignet. Sein extrem niedriger W\u00e4rmeausdehnungskoeffizient (ca. 1-2 \u00d7 10-\u2076 \/K) verringert die thermische Belastung und verbessert die langfristige Betriebsstabilit\u00e4t von Halbleiterbauelementen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-30ef99b elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"30ef99b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"624\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56039\" alt=\"REM-Aufnahme von hexagonalem Bornitridpulver mit einheitlicher Partikelmorphologie\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder.png 935w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-300x234.png 300w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-768x599.png 768w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-600x468.png 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">SEM von hexagonalem Bornitrid<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3b5b01c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3b5b01c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Thermische und elektrische Eigenschaften von hexagonalem Bornitrid<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-064eec9 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"064eec9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Die Leistung von hexagonalem Bornitrid in Halbleiteranwendungen wird haupts\u00e4chlich durch seine einzigartige Kombination aus W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit und elektrischer Isolierung bestimmt. Zu den typischen Eigenschaften geh\u00f6ren eine W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit von 15 bis 96 W\/m-K, ein elektrischer Widerstand von 10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm und eine Durchschlagfestigkeit von bis zu 200 kV\/mm, je nach Dichte und Struktur.<br \/>Dank dieser Eigenschaften k\u00f6nnen h-BN-Keramikmaterialien W\u00e4rme effizient ableiten und gleichzeitig eine hervorragende elektrische Isolierung in HF-Plasma-Umgebungen gew\u00e4hrleisten.<\/p><table style=\"border-collapse: collapse; width: 100%; height: 96px;\"><tbody><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\"><strong><b>Eigenschaft<\/b><\/strong><\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\"><strong><b>Typischer Wert<\/b><\/strong><\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Thermische Leitf\u00e4higkeit<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">15-96 W\/m-K<\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Elektrischer Widerstand<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm<\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Durchschlagsfestigkeit<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">50-200 kV\/mm<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fb59253 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"fb59253\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Wie BN-Keramiken in der Halbleiterfertigung dem Plasma widerstehen<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-f9b577d elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"f9b577d\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Bei Plasmaprozessen in der Halbleiterherstellung entstehen hochreaktive Spezies wie Fluor-, Chlor- und Sauerstoffradikale. Hexagonales Bornitrid weist aufgrund seiner stabilen kovalenten Bindungen und seiner chemischen Inertheit eine hohe Resistenz gegen\u00fcber Plasmaangriffen auf.<br \/>Daher werden h-BN-Keramikwerkstoffe in gro\u00dfem Umfang f\u00fcr plasmagesch\u00fctzte Komponenten wie Kammerauskleidungen, isolierende Tr\u00e4ger und Abschirmteile verwendet. Verglichen mit <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/search\/?type=name&#038;keyword=Al2O3\">tonerde (Al2O3<\/a><\/span>) und <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/search\/?type=name&#038;keyword=SiO2\">kieselerde (SiO2)<\/a><\/span>weisen BN-Materialien eine geringere Partikelbildung und eine deutlich verbesserte Oberfl\u00e4chenbest\u00e4ndigkeit auf, was zur Erhaltung der Waferausbeute und der Prozessstabilit\u00e4t beitr\u00e4gt.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-78e5272 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"78e5272\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Elektrische Isolationseigenschaften von hexagonalem Bornitrid<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8876d06 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"8876d06\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>In RF-gesteuerten <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/anwendung\/halbleiter-materialien\/\">halbleiter<\/a> <\/span>systemen ist die dielektrische Stabilit\u00e4t f\u00fcr die Plasmakontrolle von entscheidender Bedeutung. Hexagonales Bornitrid bietet eine stabile Dielektrizit\u00e4tskonstante (~4,0-4,4), einen hohen spezifischen Widerstand und eine gleichbleibende Durchschlagsfestigkeit. Diese Eigenschaften sorgen f\u00fcr eine stabile Plasmaverteilung, geringere elektrische St\u00f6rungen und eine verbesserte Pr\u00e4zision in Halbleiterverarbeitungssystemen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-970fe57 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"970fe57\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Kontaminationsbest\u00e4ndigkeit und Bearbeitbarkeit von Bornitrid<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-92e44df elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"92e44df\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>F\u00fcr fortschrittliche Halbleiterknoten ist die Kontrolle der Kontamination im ppm- und ppb-Bereich entscheidend. Hexagonales Bornitrid wird in Halbleiteranwendungen bevorzugt, da es keine beweglichen Metallionen enth\u00e4lt, im Vakuum extrem wenig ausgast (&lt;10-\u2079 Torr) und in den meisten Prozessgasen chemisch inert bleibt. h-BN-Keramik aus hei\u00dfgepresstem Pulver kann mit herk\u00f6mmlichen Werkzeugen in komplexe Formen gebracht werden, was eine flexible Gestaltung von Waferbefestigungen, Abstandshaltern und Ofenkomponenten erm\u00f6glicht.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fd4933a elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"fd4933a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"711\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder.jpg\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56040\" alt=\"Hochreines hexagonales Bornitridpulver f\u00fcr Halbleiteranwendungen\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder.jpg 957w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-300x267.jpg 300w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-768x683.jpg 768w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-600x534.jpg 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">Hexagonales Bornitrid-Pulver<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3174ba0 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3174ba0\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Anwendungen von h-BN in Halbleiteranlagen<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4993387 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"4993387\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Hexagonales Bornitrid wird je nach Reinheit, Dichte und Anforderungen an die Plasmabestrahlung h\u00e4ufig in der Halbleiterfertigung eingesetzt.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-202a3c8 eael-table-align-center eael-dt-th-align-left elementor-widget elementor-widget-eael-data-table\" data-id=\"202a3c8\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"eael-data-table.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"eael-data-table-wrap\" data-table_id=\"202a3c8\" id=\"eael-data-table-wrapper-202a3c8\" data-custom_responsive=\"false\">\n\t\t\t<table class=\"tablesorter eael-data-table center\" id=\"eael-data-table-202a3c8\">\n\t\t\t    <thead>\n\t\t\t        <tr class=\"table-header\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t            <th class=\"\" id=\"\" colspan=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"data-table-header-text\">Ger\u00e4tetyp<\/span><\/th>\n\t\t\t        \t\t\t\t            <th class=\"\" id=\"\" colspan=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"data-table-header-text\">Anmeldung<\/span><\/th>\n\t\t\t        \t\t\t\t        <\/tr>\n\t\t\t    <\/thead>\n\t\t\t  \t<tbody>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tCVD-Anlagen\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tW\u00e4rmed\u00e4mmung und Komponenten f\u00fcr die hei\u00dfe Zone\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tPVD-Systeme\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tThermische Abschirmung und St\u00fctzen\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tPlasma-\u00c4tzen\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tSchachtauskleidungen und Isolierringe\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tThermische \u00d6fen\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tHochtemperatur-Isolierteile\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tPr\u00e4zisionskeramikkomponenten\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tHandhabung von Wafern\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t    <\/tbody>\n\t\t\t<\/table>\n\t\t<\/div>\n\t  \t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-abdea98 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"abdea98\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Bedeutung von h-BN f\u00fcr moderne Halbleiterknoten<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6962ef1 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"6962ef1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Da die Halbleiterknoten auf 5 nm und darunter schrumpfen, werden die Prozessumgebungen immer empfindlicher gegen\u00fcber Verunreinigungen, thermischer Drift und Plasmainstabilit\u00e4t. Hexagonales Bornitrid in Halbleiteranwendungen bietet eine langfristige thermische Stabilit\u00e4t, eine hohe Plasmabest\u00e4ndigkeit, ein stabiles dielektrisches Verhalten und ein \u00e4u\u00dferst geringes Kontaminationsrisiko.<br \/>Diese Eigenschaften machen h-BN-Keramikmaterialien zu einem entscheidenden Material f\u00fcr die n\u00e4chste Generation von Halbleiterfertigungssystemen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-da48635 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"da48635\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Schlussfolgerung<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fc3f570 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"fc3f570\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Hexagonales Bornitrid ist einer der zuverl\u00e4ssigsten plasmabest\u00e4ndigen keramischen Werkstoffe f\u00fcr Halbleiteranlagen. Seine Kombination aus hoher thermischer Stabilit\u00e4t (bis ~1800\u00b0C), W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit (15-96 W\/m-K), hohem elektrischem Widerstand (10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm), chemischer Inertheit und Bearbeitbarkeit macht es zu einem unverzichtbaren Werkstoff f\u00fcr Hochtemperatur-, plasmareiche und ultrareine Halbleiterumgebungen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Hexagonales Bornitrid (h-BN) ist eine Hochleistungskeramik, die aufgrund ihrer thermischen Stabilit\u00e4t bis zu 1800\u00b0C, ihrer hervorragenden elektrischen Isolierung, ihrer Plasmabest\u00e4ndigkeit und ihrer Bearbeitbarkeit h\u00e4ufig in Halbleiterausr\u00fcstungen eingesetzt wird. Dies macht sie f\u00fcr CVD-, PVD-, Plasma\u00e4tz- und Wafer-Handling-Anwendungen unverzichtbar.<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":56039,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[1219],"tags":[],"class_list":["post-56104","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blogs-de"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56104","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=56104"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56104\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":56106,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56104\/revisions\/56106"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/56039"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=56104"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=56104"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=56104"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}