{"id":55352,"date":"2026-05-14T17:07:24","date_gmt":"2026-05-14T09:07:24","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/rotationstarget-mit-niedrigem-sauerstoffgehalt-fuer-stabile-hochleistungs-sputtersysteme\/"},"modified":"2026-05-14T17:21:06","modified_gmt":"2026-05-14T09:21:06","slug":"rotationstarget-mit-niedrigem-sauerstoffgehalt-fuer-stabile-hochleistungs-sputtersysteme","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/rotationstarget-mit-niedrigem-sauerstoffgehalt-fuer-stabile-hochleistungs-sputtersysteme\/","title":{"rendered":"Rotationstarget mit niedrigem Sauerstoffgehalt f\u00fcr stabile Hochleistungs-Sputtersysteme"},"content":{"rendered":"\t\t<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"55352\" class=\"elementor elementor-55352 elementor-55258\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6b2f35c e-flex e-con-boxed e-con e-parent\" data-id=\"6b2f35c\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0aea1b9 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"0aea1b9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Warum niedriger Sauerstoffgehalt bei Chrom-Rotationszielen wichtig ist\n<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0214d46 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"0214d46\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p data-start=\"54\" data-end=\"302\">Beim modernen Magnetron-Sputtern wirkt sich die Stabilit\u00e4t des Targets direkt auf die Beschichtungsqualit\u00e4t und die Produktionseffizienz aus. \u00dcbersch\u00fcssiger Sauerstoff im Inneren von Chrom-Rotationstargets kann beim Hochleistungs-Sputtern zu Oxideinschl\u00fcssen, instabilem Plasma und abnormaler Lichtbogenbildung f\u00fchren.<\/p><p data-start=\"304\" data-end=\"609\"><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/produkt\/chrom-metall-6\/\">Rotationstargets aus<\/a><\/span> sauerstoffarmem <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/produkt\/chrom-metall-6\/\">Chrom<\/a><\/span> wurden entwickelt, um diese Probleme durch eine Verbesserung der Targetreinheit und der strukturellen Stabilit\u00e4t zu verringern. Im Vergleich zu herk\u00f6mmlichen Chrom-Rotationstargets bieten sie ein stabileres Entladungsverhalten, weniger Partikel und eine bessere Beschichtungskonsistenz in gro\u00dffl\u00e4chigen Vakuumbeschichtungsanlagen.<\/p><p data-start=\"611\" data-end=\"923\" data-is-last-node=\"\" data-is-only-node=\"\">Chrom wird aufgrund seiner H\u00e4rte, Korrosionsbest\u00e4ndigkeit und zuverl\u00e4ssigen Haftf\u00e4higkeit h\u00e4ufig in der Beschichtung von Architekturglas, im dekorativen PVD und bei <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/anwendung\/materialien-fuer-die-optik\/\">optischen<\/a> <\/span>Folien eingesetzt. Mit einem Schmelzpunkt von etwa 1907 \u00b0C und einer Dichte von fast 7,15 g\/cm\u00b3 eignet sich Chrom gut f\u00fcr anspruchsvolle industrielle Sputteranwendungen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2c53809 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"2c53809\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/elementor\/thumbs\/cr_rotary_target_surface_detail-rnft0x12j88awwx1ihai9b7gglb08im54kf5azi8w8.jpg\" title=\"cr_rotary_target_surface_detail\" alt=\"Rotationstarget aus sauerstoffarmem Chrom f\u00fcr industrielle Magnetron-Sputteranlagen\" loading=\"lazy\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-708daf7 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"708daf7\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Warum ist die Sauerstoffkontrolle bei Chrom-Drehtargets wichtig?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-c1e53d7 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"c1e53d7\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p data-start=\"1548\" data-end=\"1626\">\u00a0Bei der Herstellung von Chromtargets kann eine Sauerstoffverunreinigung folgende Ursachen haben:<\/p><ul data-start=\"1627\" data-end=\"1749\"><li data-section-id=\"dsqm65\" data-start=\"1627\" data-end=\"1648\">Rohes Chrompulver<\/li><li data-section-id=\"e5t5hx\" data-start=\"1649\" data-end=\"1670\">Exposition gegen\u00fcber der Umgebungsluft<\/li><li data-section-id=\"xnr9t4\" data-start=\"1671\" data-end=\"1691\">Thermische Verarbeitung<\/li><li data-section-id=\"1miz29r\" data-start=\"1692\" data-end=\"1721\">Ungeeignete Lagerbedingungen<\/li><li data-section-id=\"14w9rfc\" data-start=\"1722\" data-end=\"1749\">Unvollst\u00e4ndige Vakuumkontrolle<\/li><\/ul><p data-start=\"1751\" data-end=\"1928\">Wenn Sauerstoff mit Chrom reagiert, k\u00f6nnen sich Chromoxidphasen im Targetmaterial bilden. Diese Oxideinschl\u00fcsse k\u00f6nnen die Sputterleistung auf verschiedene Weise beeintr\u00e4chtigen.<\/p><p data-start=\"1930\" data-end=\"1998\">In der praktischen Beschichtungspraxis kann ein \u00fcberm\u00e4\u00dfiger Sauerstoffgehalt Folgendes verursachen:<\/p><ul data-start=\"1999\" data-end=\"2167\"><li data-section-id=\"1qpaph8\" data-start=\"1999\" data-end=\"2027\">Erh\u00f6hte Lichtbogenh\u00e4ufigkeit<\/li><li data-section-id=\"1ndb1qg\" data-start=\"2028\" data-end=\"2048\">Plasmainstabilit\u00e4t<\/li><li data-section-id=\"1xhynve\" data-start=\"2049\" data-end=\"2070\">Partikelbildung<\/li><li data-section-id=\"fp00rx\" data-start=\"2071\" data-end=\"2092\">Ungleichm\u00e4\u00dfige Erosion<\/li><li data-section-id=\"18yhcwj\" data-start=\"2093\" data-end=\"2112\">Lokale \u00dcberhitzung<\/li><li data-section-id=\"1i6kp34\" data-start=\"2113\" data-end=\"2127\">Schichtfehler<\/li><li data-section-id=\"16t2bmo\" data-start=\"2128\" data-end=\"2167\">Verringerte Ausnutzungseffizienz des Targets<\/li><\/ul><p data-start=\"2169\" data-end=\"2328\">Bei gro\u00dffl\u00e4chigen Beschichtungssystemen, die \u00fcber lange Produktionszyklen hinweg kontinuierlich betrieben werden, k\u00f6nnen diese Probleme die Prozessstabilit\u00e4t und die Beschichtungsausbeute erheblich beeintr\u00e4chtigen.<\/p><p data-start=\"2330\" data-end=\"2520\">Rotationstargets aus sauerstoffarmem Chrom werden daher im industriellen Sputtering mit hohem Durchsatz bevorzugt, da sie dazu beitragen, stabile Entladungsbedingungen im Betrieb mit hoher Leistungsdichte aufrechtzuerhalten.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8f61771 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"8f61771\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Dichte Struktur verbessert die Leistung von Drehscheiben<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2f2d49b elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"2f2d49b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"2577\" data-end=\"2675\">Neben dem Sauerstoffgehalt ist die Dichte ein weiterer entscheidender Faktor, der das Sputterverhalten von Chrom beeinflusst.<\/p><p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"2677\" data-end=\"2727\">Ein dichtes Chrom-Rotationstarget bietet typischerweise:<\/p><ul style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"2728\" data-end=\"2871\"><li data-section-id=\"hbn8ym\" data-start=\"2728\" data-end=\"2744\">Geringere Porosit\u00e4t<\/li><li data-section-id=\"1jup3b6\" data-start=\"2745\" data-end=\"2776\">Verbesserte W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit<\/li><li data-section-id=\"ayeic4\" data-start=\"2777\" data-end=\"2806\">Bessere mechanische Festigkeit<\/li><li data-section-id=\"pyj5k1\" data-start=\"2807\" data-end=\"2838\">Gleichm\u00e4\u00dfigere Erosionsmuster<\/li><li data-section-id=\"k7g1o1\" data-start=\"2839\" data-end=\"2871\">Geringeres Risiko der Rissausbreitung<\/li><\/ul><p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"2873\" data-end=\"3091\">Porosit\u00e4t im Inneren des Targets kann Restgase einschlie\u00dfen und w\u00e4hrend des Sputterns lokale thermische Spannungen erzeugen. Unter Hochleistungsbedingungen k\u00f6nnen diese schwachen Bereiche zur Lichtbogenbildung oder zu instabilen Erosionsspuren beitragen.<\/p><p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"3093\" data-end=\"3556\">Rotierende Targets bieten bereits eine deutlich h\u00f6here Materialausnutzung im Vergleich zu herk\u00f6mmlichen planaren Targets. Technische Quellen aus der Industrie weisen darauf hin, dass rotierende Sputtertargets Ausnutzungsraten von fast 80 % erreichen k\u00f6nnen, w\u00e4hrend planare Targets je nach Prozessbedingungen oft bei einer Ausnutzung von 30\u201340 % bleiben.\u00a0<\/p><p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"3558\" data-end=\"3621\">F\u00fcr industrielle Beschichtungshersteller bedeutet eine h\u00f6here Ausnutzung:<\/p><ul style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"3622\" data-end=\"3746\"><li data-section-id=\"5wxt9o\" data-start=\"3622\" data-end=\"3638\">Geringere Ausfallzeiten<\/li><li data-section-id=\"143sepz\" data-start=\"3639\" data-end=\"3677\">Geringere H\u00e4ufigkeit des Targetwechsels<\/li><li data-section-id=\"1v7vrqk\" data-start=\"3678\" data-end=\"3708\">Bessere Produktionseffizienz<\/li><li data-section-id=\"1nkti44\" data-start=\"3709\" data-end=\"3746\">Geringere Beschichtungskosten pro Quadratmeter<\/li><\/ul><p style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"3748\" data-end=\"3829\">Diese Vorteile sind ein Grund daf\u00fcr, dass Chrom-Rotationstargets zunehmend eingesetzt werden in:<\/p><ul style=\"color: #000000; font-size: medium;\" data-start=\"3830\" data-end=\"3977\"><li data-section-id=\"1p8ca9y\" data-start=\"3830\" data-end=\"3859\">Beschichtung von Architekturglas<\/li><li data-section-id=\"1k6tnsj\" data-start=\"3860\" data-end=\"3889\">Roll-to-Roll-Vakuumbeschichtung<\/li><li data-section-id=\"z65bt8\" data-start=\"3890\" data-end=\"3914\">Dekorativen PVD-Systemen<\/li><li data-section-id=\"1ujqzw2\" data-start=\"3915\" data-end=\"3940\">Optische Folienbeschichtung<\/li><li data-section-id=\"1ky8xnw\" data-start=\"3941\" data-end=\"3977\">Herstellung flexibler Elektronik<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-765a6aa elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"765a6aa\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Herstellung von Chrom-Drehscheiben<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-c6558cd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"c6558cd\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Der Herstellungsprozess hat direkten Einfluss auf den Sauerstoffgehalt, die Dichte, die Kornstruktur und die Sputterbest\u00e4ndigkeit. Derzeit kommen bei Chrom-Rotationstargets \u00fcblicherweise zwei Hauptproduktionstechnologien zum Einsatz.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6239932 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"6239932\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">1. Pulvermetallurgische Chrom-Drehscheiben<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-1d40394 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"1d40394\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Die Pulvermetallurgie (PM) ist eines der g\u00e4ngigsten Herstellungsverfahren f\u00fcr Chromrohr-Targets. <br \/>Typischer PM-Herstellungsprozess:<\/p><ol><li>Aufbereitung des Chrompulvers<\/li><li>Pulverreinigung<\/li><li>Kaltisostatisches Pressen (CIP)<\/li><li>Vakuumsintern oder hei\u00dfisostatisches Pressen (HIP)<\/li><li>Pr\u00e4zisionsbearbeitung<\/li><li>Rotationsrohrschwei\u00dfen<\/li><\/ol><p data-section-id=\"1ufxt4w\" data-start=\"4618\" data-end=\"4663\"><span style=\"font-size: 12pt;\"><strong>Vorteile der pulvermetallurgischen Verarbeitung<\/strong><\/span><\/p><p data-start=\"4665\" data-end=\"4721\">Die Pulvermetallurgie bietet mehrere Vorteile bei der Fertigung:<\/p><ul data-start=\"4722\" data-end=\"4849\"><li data-section-id=\"1yn3yq7\" data-start=\"4722\" data-end=\"4750\">Flexible Zielabmessungen<\/li><li data-section-id=\"quetcp\" data-start=\"4751\" data-end=\"4779\">Gute Kontrolle der Zusammensetzung<\/li><li data-section-id=\"qgj6iy\" data-start=\"4780\" data-end=\"4802\">Feine Kornstruktur<\/li><li data-section-id=\"14kq7a3\" data-start=\"4803\" data-end=\"4849\">Skalierbare Produktion f\u00fcr gro\u00dfe Rotationstargets<\/li><\/ul><p data-start=\"4851\" data-end=\"4980\">Die HIP-Behandlung kann die Dichte von Chrom-Targets verbessern und innere Hohlr\u00e4ume reduzieren, was zu einer stabileren Sputterleistung beitr\u00e4gt.<\/p><p data-start=\"4982\" data-end=\"5157\">Bei gro\u00dffl\u00e4chigen Inline-Beschichtungssystemen wird h\u00e4ufig die PM-Technologie bevorzugt, da sie die Herstellung langer Chrom-Rotationstargets mit kontrollierter Ma\u00dfgenauigkeit erm\u00f6glicht.<\/p><p data-start=\"4982\" data-end=\"5157\"><strong><span style=\"font-size: 12pt;\">Sauerstoffprobleme bei PM-Chrom-Targets<\/span><\/strong><\/p><p data-start=\"5204\" data-end=\"5288\">Trotz ihrer Vorteile bringt die Pulvermetallurgie auch Herausforderungen bei der Sauerstoffkontrolle mit sich.<\/p><p data-start=\"5290\" data-end=\"5372\">Chrompulver weist eine relativ hohe Oberfl\u00e4chenaktivit\u00e4t auf und kann w\u00e4hrend folgender Prozesse Sauerstoff aufnehmen:<\/p><ul data-start=\"5373\" data-end=\"5437\"><li data-section-id=\"1lkoz7x\" data-start=\"5373\" data-end=\"5396\">Pulvertransport<\/li><li data-section-id=\"1p4gu1d\" data-start=\"5397\" data-end=\"5406\">Lagerung<\/li><li data-section-id=\"1tqgn5g\" data-start=\"5407\" data-end=\"5415\">Mischen<\/li><li data-section-id=\"1yi3r4y\" data-start=\"5416\" data-end=\"5437\">Sinterprozessen<\/li><\/ul><p data-start=\"5439\" data-end=\"5628\">Wenn der Sauerstoffgehalt nicht sorgf\u00e4ltig kontrolliert wird, k\u00f6nnen Oxideinschl\u00fcsse im fertigen Targetk\u00f6rper eingeschlossen bleiben. Diese Einschl\u00fcsse k\u00f6nnen beim Magnetron-Sputtern zu Entladungsausgangspunkten werden.<\/p><p data-start=\"5630\" data-end=\"5726\">Zur Herstellung eines echten sauerstoffarmen Chrom-Rotationstargets erfordert die moderne Pulvermetallurgie in der Regel:<\/p><ul data-start=\"5727\" data-end=\"5882\"><li data-section-id=\"3vkzps\" data-start=\"5727\" data-end=\"5759\">Hochreines Chrom-Ausgangsmaterial<\/li><li data-section-id=\"mioiho\" data-start=\"5760\" data-end=\"5792\">Vakuumverarbeitungsumgebungen<\/li><li data-section-id=\"azf3m7\" data-start=\"5793\" data-end=\"5827\">Atmosph\u00e4renkontrolle mit niedrigem Taupunkt<\/li><li data-section-id=\"1npgufe\" data-start=\"5828\" data-end=\"5855\">Kontrollierte thermische Zyklen<\/li><li data-section-id=\"vtf2ji\" data-start=\"5856\" data-end=\"5882\">Optimierte HIP-Parameter<\/li><\/ul><p data-start=\"5884\" data-end=\"6006\">Die Qualit\u00e4t der Sauerstoffkontrolle entscheidet oft dar\u00fcber, ob das Target in Hochleistungs-Sputteranwendungen zuverl\u00e4ssig funktioniert.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8535d1c elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"8535d1c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"302\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full-1024x387.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-55353\" alt=\"Rotationstarget aus Chrom mit dichter Struktur f\u00fcr stabiles Hochleistungssputtern (Nahaufnahme)\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full-1024x387.png 1024w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full-300x113.png 300w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full-768x290.png 768w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full-600x227.png 600w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/cr_rotary_target_full.png 1227w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6822aad elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"6822aad\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">2. Vakuumgeschmolzene und geschmiedete Chrom-Rotations-Targets<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3166ee2 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"3166ee2\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p data-start=\"6068\" data-end=\"6178\">Ein weiteres Herstellungsverfahren nutzt das Vakuumschmelzen, gefolgt von Umformprozessen wie Schmieden oder Walzen.<\/p><p data-start=\"6180\" data-end=\"6201\">Typischer Prozessablauf:<\/p><ol data-start=\"6202\" data-end=\"6373\"><li data-section-id=\"fggeh3\" data-start=\"6202\" data-end=\"6260\">Vakuum-Induktionsschmelzen (VIM) oder Elektronenstrahlschmelzen<\/li><li data-section-id=\"1i9dci5\" data-start=\"6261\" data-end=\"6286\">Gie\u00dfen von Chrombl\u00f6cken<\/li><li data-section-id=\"16juwro\" data-start=\"6287\" data-end=\"6308\">Schmieden oder Walzen<\/li><li data-section-id=\"capfb7\" data-start=\"6309\" data-end=\"6326\">W\u00e4rmebehandlung<\/li><li data-section-id=\"1aedqb0\" data-start=\"6327\" data-end=\"6353\">Bearbeitung des Rotationstargets<\/li><li data-section-id=\"1mgib9g\" data-start=\"6354\" data-end=\"6373\">Klebebindung<\/li><\/ol><p data-section-id=\"mpxvuc\" data-start=\"6375\" data-end=\"6422\"><strong><span style=\"font-size: 12pt;\">Vorteile von vakuumgeschmolzenen Chrom-Targets<\/span><\/strong><\/p><p data-start=\"6424\" data-end=\"6500\">Im Vergleich zur Pulvermetallurgie bieten vakuumgeschmolzene Chrom-Targets folgende Vorteile:<\/p><ul data-start=\"6501\" data-end=\"6649\"><li data-section-id=\"550nkc\" data-start=\"6501\" data-end=\"6522\">Geringere Sauerstoffgehalte<\/li><li data-section-id=\"epbp7t\" data-start=\"6523\" data-end=\"6557\">Bessere metallurgische Reinheit<\/li><li data-section-id=\"n9h7t2\" data-start=\"6558\" data-end=\"6584\">Weniger Oxideinschl\u00fcsse<\/li><li data-section-id=\"1yseqav\" data-start=\"6585\" data-end=\"6619\">Verbesserte elektrische Leitf\u00e4higkeit<\/li><li data-section-id=\"n9tyml\" data-start=\"6620\" data-end=\"6649\">Verbesserte thermische Kontinuit\u00e4t<\/li><\/ul><p data-start=\"6651\" data-end=\"6808\">Da der Prozess mit geschmolzenem Chrom statt mit Pulverpartikeln beginnt, l\u00e4sst sich die Sauerstoffaufnahme unter ordnungsgem\u00e4\u00df kontrollierten Vakuumbedingungen oft reduzieren.<\/p><p data-start=\"6810\" data-end=\"6854\">Geschmiedete Chromstrukturen k\u00f6nnen zudem Folgendes bieten:<\/p><ul data-start=\"6855\" data-end=\"6978\"><li data-section-id=\"1b0bzf\" data-start=\"6855\" data-end=\"6880\">Bessere Kornkontinuit\u00e4t<\/li><li data-section-id=\"65q5w8\" data-start=\"6881\" data-end=\"6911\">Verbesserte mechanische Festigkeit<\/li><li data-section-id=\"w4srg9\" data-start=\"6912\" data-end=\"6939\">Geringere Rissanf\u00e4lligkeit<\/li><li data-section-id=\"12zdxge\" data-start=\"6940\" data-end=\"6978\">Bessere Best\u00e4ndigkeit gegen Temperaturwechselbeanspruchung<\/li><\/ul><p data-start=\"6980\" data-end=\"7114\">Diese Eigenschaften sind besonders vorteilhaft in Hochleistungs-Sputteranlagen, die \u00fcber lange Produktionszyklen hinweg kontinuierlich betrieben werden.<\/p><p data-section-id=\"dv5dph\" data-start=\"7116\" data-end=\"7170\"><strong><span style=\"font-size: 12pt;\">Fertigungsherausforderungen bei geschmolzenen Chrom-Targets<\/span><\/strong><\/p><p data-start=\"7172\" data-end=\"7223\">Chrom selbst ist aufgrund folgender Eigenschaften schwer zu verarbeiten:<\/p><ul data-start=\"7224\" data-end=\"7329\"><li data-section-id=\"1e6k1x6\" data-start=\"7224\" data-end=\"7250\">Hohe Schmelztemperatur<\/li><li data-section-id=\"85puuq\" data-start=\"7251\" data-end=\"7289\">Spr\u00f6des Verhalten bei Raumtemperatur<\/li><li data-section-id=\"cwzexy\" data-start=\"7290\" data-end=\"7329\">Schwierige Verformungseigenschaften<\/li><\/ul><p data-start=\"7331\" data-end=\"7468\">Gro\u00dfformatige geschmiedete Chromrohre sind daher technisch anspruchsvoll und in der Herstellung teurer als Standard-PM-Targets.<\/p><p data-start=\"7470\" data-end=\"7544\">Aus diesem Grund werden vakuumgeschmolzene Chrom-Rotationstargets h\u00e4ufig f\u00fcr folgende Anwendungen gew\u00e4hlt:<\/p><ul data-start=\"7545\" data-end=\"7708\"><li data-section-id=\"1y1il5u\" data-start=\"7545\" data-end=\"7572\">Hochwertige optische Beschichtungen<\/li><li data-section-id=\"1gjw7sp\" data-start=\"7573\" data-end=\"7608\">Hochwertige Architekturglaslinien<\/li><li data-section-id=\"xigscf\" data-start=\"7609\" data-end=\"7650\">Anspruchsvolle industrielle Sputteranlagen<\/li><li data-section-id=\"17wuiqx\" data-start=\"7651\" data-end=\"7708\">Anwendungen, die ein extrem stabiles Plasmaverhalten erfordern<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0817177 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"0817177\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Anwendungen von sauerstoffarmen Chrom-Rotations-Targets<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9b4d6fe elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"9b4d6fe\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><strong>Beschichtung von Architekturglas:<\/strong> Wird bei der Herstellung von Low-E-Glas f\u00fcr Haftschichten, funktionale Zwischenschichten und Schutzbeschichtungen verwendet. Tr\u00e4gt zur Reduzierung von Lichtbogenfehlern und zur Verbesserung der Beschichtungsstabilit\u00e4t bei. <br \/><strong>Dekorative PVD-Beschichtung:<\/strong> Geeignet f\u00fcr Folien mit Metalloptik, verschlei\u00dffeste Beschichtungen und Anwendungen im Automobilbereich mit stabiler Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t. <br \/><strong><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/anwendung\/materialien-fuer-die-optik\/\">Optische<\/a> <\/span>Folienabscheidung:<\/strong> Bietet stabile Abscheidungsraten, geringe Partikelbildung und eine gleichm\u00e4\u00dfige D\u00fcnnschichtdicke f\u00fcr optische Beschichtungen. <br \/><strong>Industrielle Vakuumbeschichtung:<\/strong> Weit verbreitet in gro\u00dffl\u00e4chigen Inline-Sputter- und kontinuierlichen Roll-to-Roll-Vakuumbeschichtungssystemen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2f924d0 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"2f924d0\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Wichtige praktische Leistungsindikatoren f\u00fcr Sputtertargets<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3f4d3f1 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"3f4d3f1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>In der industriellen Praxis liegt der Fokus meist weniger auf den Reinheitswerten f\u00fcr Marketingzwecke als vielmehr auf der betrieblichen Stabilit\u00e4t.<\/p><p data-start=\"8797\" data-end=\"8826\">Zu den wichtigsten Parametern geh\u00f6ren h\u00e4ufig:<\/p><ul data-start=\"8827\" data-end=\"9031\"><li data-section-id=\"1npym25\" data-start=\"8827\" data-end=\"8855\">Gleichm\u00e4\u00dfigkeit des Sauerstoffgehalts<\/li><li data-section-id=\"1rvk9n4\" data-start=\"8856\" data-end=\"8876\">Gleichm\u00e4\u00dfigkeit der Dichte<\/li><li data-section-id=\"tk3dot\" data-start=\"8877\" data-end=\"8903\">Verhalten bei der Lichtbogenunterdr\u00fcckung<\/li><li data-section-id=\"pks02n\" data-start=\"8904\" data-end=\"8925\">Zuverl\u00e4ssigkeit der Verbindung<\/li><li data-section-id=\"1pvz7fg\" data-start=\"8926\" data-end=\"8948\">W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit<\/li><li data-section-id=\"qvrtm3\" data-start=\"8949\" data-end=\"8969\">Gleichm\u00e4\u00dfigkeit der Erosion<\/li><li data-section-id=\"1gwyq92\" data-start=\"8970\" data-end=\"8992\">Mechanische Stabilit\u00e4t<\/li><li data-section-id=\"7df145\" data-start=\"8993\" data-end=\"9031\">Sputterleistung bei Langzeitbetrieb<\/li><\/ul><p data-start=\"9033\" data-end=\"9197\">F\u00fcr Beschichtungshersteller mit hohem Durchsatz sind ein stabiler Betrieb und reduzierte Ausfallzeiten oft wertvoller als das blo\u00dfe Erreichen extrem hoher nomineller Reinheitswerte.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-168832b elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"168832b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"1536\" height=\"1024\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/rotary_vs_planar_target_utilization.png\" class=\"attachment-full size-full wp-image-55355\" alt=\"Vergleich der Nutzung von Drehrohr- und Planar-Targets f\u00fcr die Effizienz der Vakuumbeschichtung\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/rotary_vs_planar_target_utilization.png 1536w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/rotary_vs_planar_target_utilization-300x200.png 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data-id=\"d62442e\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Als professioneller Hersteller <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/product-category\/erstklassige-materialien\/rotierende-zielscheiben\/\">von Chrom-Rotationstargets<\/a><\/span> wissen wir, dass Beschaffungsteams Lieferzuverl\u00e4ssigkeit, Kompatibilit\u00e4t mit Sputteranlagen und langfristige Kosteneffizienz gegen\u00fcber rein theoretischen Materialaspekten priorisieren. Unser Fokus liegt auf der Lieferung von Targets, die eine einfache Installation, einen stabilen Betrieb und eine gleichbleibende Lebensdauer in der Massenproduktion gew\u00e4hrleisten.<\/p><p><strong>1. Wichtige Beschaffungsanforderungen, die wir vollst\u00e4ndig erf\u00fcllen<\/strong><\/p><p><strong>Ma\u00dfgenauigkeit:<\/strong> Wir passen L\u00e4nge, Au\u00dfendurchmesser, Wandst\u00e4rke und Flanschanschluss streng an, damit sie perfekt zu Ihrem bestehenden Kathodensystem passen.<\/p><p><strong>Zuverl\u00e4ssige Verbindung:<\/strong> Unsere ausgereifte Verbindungstechnologie gew\u00e4hrleistet eine feste Verbindung zwischen Chromrohr und Tr\u00e4gerrohr, ohne Delaminierung bei langfristiger Rotation und thermischen Zyklen.<\/p><p><strong>Chargenstabilit\u00e4t:<\/strong> Wir halten einheitliche Produktionsstandards ein, um \u00fcber alle Chargen hinweg konsistente Abmessungen und Sputterleistung zu gew\u00e4hrleisten.<\/p><p><strong>Vorhersehbare Lebensdauer:<\/strong> Die kontrollierte Mikrostruktur gew\u00e4hrleistet eine gleichm\u00e4\u00dfige Abnutzung, was die Planung Ihrer Produktion erleichtert.<\/p><p><strong>Hervorragende Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t:<\/strong> Die fertigen Targets sind sauber, fehlerfrei und gut vorbehandelt, was eine reibungslose Z\u00fcndung und einen stabilen Start gew\u00e4hrleistet.<\/p><p><strong>Sichere Verpackung und Versand:<\/strong> Wir verwenden professionelle, verformungs- und verschmutzungssichere Verpackungen, um Verbiegen, Oberfl\u00e4chenbesch\u00e4digungen und Verunreinigungen w\u00e4hrend des Transports zu vermeiden.<\/p><p><strong>2. Risiken in der Lieferkette, die wir f\u00fcr Sie vermeiden<\/strong><\/p><p>Als zuverl\u00e4ssiger Hersteller beseitigen wir g\u00e4ngige Branchenrisiken: lange Vorlaufzeiten, instabile Qualit\u00e4t der Chargenverbindung, Ma\u00dfabweichungen, Oberfl\u00e4chenoxidation und unvollst\u00e4ndige Pr\u00fcfdokumente. Mit stabiler Produktionskapazit\u00e4t und strenger Qualit\u00e4tskontrolle w\u00e4hrend des gesamten Prozesses garantieren wir gleichbleibende Qualit\u00e4t bei Nachbestellungen.<\/p><p><strong>3. Umfassende Qualit\u00e4tssicherung und Dokumentation<\/strong><\/p><p>Wir unterst\u00fctzen die industrielle Wareneingangskontrolle durch die Bereitstellung vollst\u00e4ndiger offizieller Dokumente:<\/p><p>COA-Zertifikat, Ma\u00dfpr\u00fcfbericht, Protokoll zur Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4tspr\u00fcfung, Nachweis der Klebeintegrit\u00e4t und Unterlagen zur Materialr\u00fcckverfolgbarkeit. Standardisierte Unterlagen vereinfachen Ihren Pr\u00fcfprozess und vermeiden Produktionsausf\u00e4lle aufgrund von Qualit\u00e4tsunsicherheiten.<\/p><p><strong>4. Unterst\u00fctzung bei der Kompatibilit\u00e4tspr\u00fcfung vor der Bestellung<\/strong><\/p><p>Unser technisches Team bewertet im Vorfeld Ihr vor Ort verwendetes Sputterkathodenmodell, die Anforderungen an die Targetl\u00e4nge, den Produktionsmodus und die Anforderungen an die Beschichtungsstabilit\u00e4t. Wir passen unsere L\u00f6sungen individuell an, damit unsere Chrom-Rotationstargets ohne nachtr\u00e4gliche Modifikationen direkt mit Ihrer Produktionslinie kompatibel sind.<\/p><p><strong>5. Wirtschaftlichkeit und langfristiger Wert<\/strong><\/p><p>Wir konzentrieren uns auf Ihre Gesamtproduktionskosten und nicht nur auf den einfachen St\u00fcckpreis. Unsere Chrom-Rotationstargets zeichnen sich durch eine hohe Materialausnutzung, geringe Austauschh\u00e4ufigkeit und reduzierte Ausfallzeiten aus. Eine stabile, langfristige Versorgung reduziert ungeplante Wartungsarbeiten effektiv und verbessert die Gesamtproduktivit\u00e4t Ihrer Beschichtungslinie.<\/p><p><strong>6. Herstellerverpflichtung<\/strong><\/p><p>Wir sind der \u00dcberzeugung, dass qualifizierte Chrom-Rotationstargets eine perfekte Anlagenkompatibilit\u00e4t, eine stabile Chargenversorgung, eine vorhersehbare Lebensdauer und ein geringes Betriebsrisiko aufweisen sollten. Als professioneller Hersteller legen wir Wert auf gleichbleibende Qualit\u00e4t und Liefersicherheit, um f\u00fcr Industriekunden einen langfristig stabilen Beschaffungswert zu schaffen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-21580d2 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"21580d2\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Schlussfolgerung<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-bdf098f elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"bdf098f\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/product-category\/erstklassige-materialien\/rotierende-zielscheiben\/\">Rotierende <\/a><\/span>Chrom<span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/product-category\/erstklassige-materialien\/rotierende-zielscheiben\/\">-Target<\/a><\/span> verbessern die Plasmastabilit\u00e4t, reduzieren oxidbedingte Lichtbogenbildung und sorgen f\u00fcr eine langfristig gleichbleibende Sputterleistung in industriellen Vakuumbeschichtungsanlagen. Im Vergleich zu herk\u00f6mmlichen Chrom-Rohr-Targets bieten Strukturen mit geringer Sauerstoffdichte erhebliche Vorteile in Hochleistungs-Abscheidungsumgebungen, in denen eine stabile Beschichtungsqualit\u00e4t und Produktionseffizienz entscheidend sind.<\/p><p>Sowohl pulvermetallurgische als auch vakuumgeschmolzene Schmiedeverfahren sind kommerziell wichtig, doch jedes Verfahren wirkt sich unterschiedlich auf Sauerstoffgehalt, Dichte, Kornstruktur und Sputterverhalten aus. Das Verst\u00e4ndnis dieser Herstellungsunterschiede ist bei der Auswahl von Chrom-Rotationstargets f\u00fcr anspruchsvolle D\u00fcnnschichtabscheidungsanwendungen unerl\u00e4sslich.<\/p><p>Da industrielle Sputteranlagen zunehmend auf gr\u00f6\u00dfere Substrate, l\u00e4ngere Produktionszyklen und h\u00f6here Leistungsdichten ausgerichtet sind, werden sauerstoffarme <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/de\/search\/?type=name&#038;keyword=Cr\">Chrom-Rotationstargets<\/a><\/span> eine wichtige L\u00f6sung f\u00fcr die moderne D\u00fcnnschichtfertigung bleiben.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Warum niedriger Sauerstoffgehalt bei Chrom-Rotationszielen wichtig ist Beim modernen Magnetron-Sputtern wirkt sich die Stabilit\u00e4t des Targets direkt auf die Beschichtungsqualit\u00e4t und die Produktionseffizienz aus. \u00dcbersch\u00fcssiger Sauerstoff im Inneren von Chrom-Rotationstargets kann beim Hochleistungs-Sputtern zu Oxideinschl\u00fcssen, instabilem Plasma und abnormaler Lichtbogenbildung f\u00fchren. Rotationstargets aus sauerstoffarmem Chrom wurden entwickelt, um diese Probleme durch eine Verbesserung der Targetreinheit [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":55355,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[1219],"tags":[],"class_list":["post-55352","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blogs-de"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/55352","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=55352"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/55352\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":55357,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/55352\/revisions\/55357"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/55355"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=55352"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=55352"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=55352"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}