Zirkoniumkarbid

Übersicht über Zirkoniumkarbid-Sputter-Targets

Zirkoniumkarbid
-Sputter-Targets sind hochentwickelte keramisch-metallische Werkstoffe, die für die Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung entwickelt wurden. Mit ihrer ausgezeichneten thermischen Stabilität, hohen Härte und guten elektrischen Leitfähigkeit sorgen ZrC-Targets sowohl in Forschungs- als auch in industriellen PVD-Systemen für gleichmäßige, dichte und haftende Beschichtungen.

Unsere ZrC-Targets werden im Heißpressverfahren oder durch Funkenplasmasintern (SPS) hergestellt, um eine hohe Dichte, geringe Porosität und starke mechanische Integrität zu erzielen. Es sind verschiedene Formen – planare, rotierende, gebondete und kundenspezifische Geometrien – erhältlich, um den unterschiedlichen Anforderungen von Vakuumbeschichtungsanlagen gerecht zu werden.

Produkt-Highlights

Hohe Reinheit
Geringer Verunreinigungsgehalt
Hohe Dichte
Geringe Porosität
Gute elektrische Leitfähigkeit
Kompatibel mit DC- und RF-Magnetron-Sputterprozessen.
Anpassbare Formen und Abmessungen
Planare, rotierende, stufenförmige oder gebondete Targets mit maßgeschneiderten Befestigungsoptionen erhältlich.

Anwendungen von ZrC-Sputter-Targets

Hartbeschichtungen: Verwendung für verschleißfeste, erosionsbeständige und hochtemperaturbeständige Oberflächen.
Funktionale Keramikfilme: Ideal für leitfähige, feuerfeste und hochharte Beschichtungen.
Mikroelektronik und Sensoren: Geeignet für Diffusionsbarrieren, leitfähige Schichten und hochtemperaturbeständige elektronische Bauteile.
Optische
und Infrarotbeschichtungen: Ermöglicht langlebige und leistungsstarke Filme für Anwendungen im IR- und sichtbaren Spektrum.

Häufig gestellte Fragen

F1: In welchen Formen und Formaten sind ZrC-Targets erhältlich?
A1: Wir bieten planare Scheiben, Platten, Stufentargets, Drehrohre und gebondete Targets mit Cu- oder Al-Trägerplatten an. Es können auch kundenspezifische Geometrien entworfen werden.

F2: Können ZrC-Targets unter Hochleistungs-Sputtern betrieben werden?
A2: Ja. Ihre ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, Härte und mechanische Integrität ermöglichen eine stabile Abscheidung unter Hochleistungsbedingungen.

F3: Wie sollten ZrC-Targets gelagert werden?
A3: Bewahren Sie sie in einer trockenen, versiegelten Umgebung auf. Vermeiden Sie Feuchtigkeit und korrosive Gase, um eine Oberflächenoxidation zu verhindern.

F4: Sind die Legierungszusammensetzung oder die Dichte einstellbar?
A4: ZrC ist in der Regel eine stöchiometrische Keramik, aber Dichte, Dicke und Verbindungsmethoden können an Ihr Sputtersystem angepasst werden.

Berichte

Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)

Technisches Datenblatt (TDS)

Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Testberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich

. Warum sollten Sie sich für unsere ZrC-Sputter-Targets entscheiden?

Gleichbleibende Filmqualität: Geringe Partikelbildung und gleichmäßige Erosion für glatte, dichte Beschichtungen.
Maßgeschneiderte Fertigung: Individuelle Formen, Dicken und Verbindungen, die zu Ihrer Abscheidungsanlage passen.
Technischer Support:
Beratung zu Sputterparametern, Target-Installation und Dünnschichtoptimierung.
Qualitätssicherung: Jedes Target wird auf Reinheit, Dichte, Mikrostruktur und elektrische Eigenschaften geprüft.
Zuverlässige Lieferung: Eine stabile Produktion und Lagerhaltung gewährleisten eine schnelle Lieferung für Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionszwecke.