Titansuboxyd

Übersicht über Sputtertargets aus Titansuboxid

Sputtertargets
aus Titansuboxid
sind hochreine Keramik-Sputtertargets aus Titanoxid (TiOx) mit kontrolliertem Sauerstoffgehalt, die speziell für die Abscheidung von nichtstöchiometrischen Titanoxidschichten mit spezifischen optoelektronischen und funktionellen Eigenschaften entwickelt wurden. Sie finden breite Anwendung in Bereichen wie Photokatalyse, intelligente Fenster, Photovoltaikzellen und biomedizinische Beschichtungen und dienen als Schlüsselmaterial für die Realisierung multifunktionaler Oberflächenmodifikationen.

Wir kontrollieren die Sauerstoffleerstellenkonzentration und die Kristallphase des Targetmaterials präzise entsprechend Ihren spezifischen Anforderungen an die Schichteigenschaften und bieten maßgeschneiderte TiOx-Sputter-Targets für Forschung, Entwicklung und Produktion. Wir laden Sie herzlich ein, Möglichkeiten einer Zusammenarbeit zu besprechen.

Produkt-Highlights

Präziser und kontrollierbarer Sauerstoffgehalt
Hohe Reinheit und ausgezeichnete Dichte
Stabile und konsistente Sputterleistung
Hervorragende photokatalytische Aktivität und elektrochrome Eigenschaften
Mehrere kristalline Phasenoptionen verfügbar (z. B. Anatas, Rutil)

Anwendungen von Titanoxid-Sputter-Targets

Photokatalyse und Umweltreinigung:
Wird zur Herstellung hocheffizienter photokatalytischer Schichten verwendet, die auf selbstreinigendes Glas und Oberflächen von Luftreinigungsgeräten aufgebracht werden und organische Schadstoffe effektiv zersetzen und gleichzeitig eine antibakterielle Funktion bieten.
Elektrochrome Smart Windows:
Als wichtiges Schichtmaterial verändern gesputterte TiOx-Filme unter angelegter Spannung reversibel ihre Farbe und Durchlässigkeit und ermöglichen so eine dynamische Beschattung und energiesparende Lichtsteuerung.
Solarzellen und photovoltaische Geräte:
Dient als Elektrodenmaterial für farbstoffsensibilisierte Solarzellen oder als Elektronentransportschicht in Perowskit-Zellen und verbessert die photovoltaische Umwandlungseffizienz und Gerätestabilität.
Biokompatible Beschichtungen:
Das Aufbringen von TiOx-Schichten auf medizinische Implantate (z. B. künstliche Gelenke, Zahnimplantate) verbessert deren Biokompatibilität, Korrosionsbeständigkeit und Osseointegration erheblich.

Häufig gestellte Fragen

F1: Was bedeutet „x” in TiOx-Zielmaterialien? Wie wirkt es sich auf die Eigenschaften der Schicht aus?
A1: „x“ bezeichnet das nichtstöchiometrische Verhältnis von Sauerstoff zu Titan (typischerweise zwischen 1,5 und 2,0). Die präzise Steuerung des „x“-Werts bestimmt direkt die Sauerstoffleerstellenkonzentration im Film und beeinflusst dessen Leitfähigkeit, Lichtabsorptionseigenschaften, katalytische Aktivität und elektrochrome Reaktionsgeschwindigkeit erheblich.

F2: Wie sollte man zwischen TiOx-Targets in Rutil- und Anatasphase wählen?
A2: Anatas weist in der Regel eine höhere photokatalytische Aktivität auf und eignet sich daher für selbstreinigende und reinigende Beschichtungen. Rutil bietet eine größere strukturelle Stabilität und einen höheren Brechungsindex und ist daher für optische Schutzfolien und verschleißfeste Beschichtungen vorzuziehen. Wir können Ihnen die für Ihre Anwendungsziele geeignete Phase empfehlen.

F3: Wie stabil ist dieses Target-Material während des Sputterns?
A3: Unser fortschrittliches Sinterverfahren gewährleistet eine hochgradig gleichmäßige Mikrostruktur, wodurch während des längeren DC-Magnetron-Sputterns oder RF-Sputterns stabile Abscheidungsraten und eine konsistente Filmzusammensetzung aufrechterhalten werden und gleichzeitig abnormale Entladungen verhindert werden.

F4: Unterstützen Sie die kundenspezifische Anpassung kleiner Chargen für Forschungs- und Entwicklungszwecke?
A4: Wir unterstützen Forschungs- und Entwicklungsinnovationen nachdrücklich. Wir bieten kundenspezifische Targets in kleinen Stückzahlen und kleinen Größen mit spezifischem Sauerstoffgehalt und spezifischen Kristallphasen sowie detaillierte Empfehlungen zu den Prozessparametern, um Ihre Entwicklung zu beschleunigen.

Berichte

Jede Charge wird mit folgenden Dokumenten geliefert:
Analysezertifikat (COA)

Technisches Datenblatt (TDS)

Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.

Warum sollten Sie sich für uns entscheiden?

Wir sind auf funktionelle Oxidkeramik-Targets spezialisiert und wissen genau, wie die Sauerstoffstöchiometrie in TiOx-Materialien die endgültige Filmleistung entscheidend beeinflusst. Durch präzise Dotierungs- und Sintertechniken liefern wir maßgeschneiderte TiOx-Targets mit eindeutigen Eigenschaften – keine generischen Lösungen.