Sputtertargets
aus Molybdän-Silizium
-Legierung sind intermetallische Verbindungstargets aus Molybdän und Silizium, die sich durch hervorragende thermische Stabilität, elektrische Eigenschaften und Oxidationsbeständigkeit auszeichnen. Die damit abgeschiedenen Schichten weisen eine gute Leitfähigkeit, Wärmebeständigkeit und Haftung auf, sodass sie häufig bei der Herstellung von Halbleiter-Dünnschichten, Widerstandsmaterialien, Barriereschichtbeschichtungen und optoelektronischen Bauteilen zum Einsatz kommen. Sie sind häufig verwendete Hochleistungstargets in fortschrittlichen Dünnschichtprozessen.
Wir bieten MoSi-Sputter-Targets in verschiedenen Zusammensetzungsverhältnissen, Reinheitsgraden und Formen an. Wir können kundenspezifische Größen, Vakuum-Heißpressen, HIP-Verdichtung, Backplane-Bonding und andere Verarbeitungsdienstleistungen entsprechend den Anforderungen der Kundenausrüstung anbieten. Bitte kontaktieren Sie uns
für die aktuellen Preise.
Hohe Dichte, ausgezeichnete Filmgleichmäßigkeit
Extrem geringer Verunreinigungsgehalt, wenige Filmpartikel
Anpassbare
Zusammensetzungsverhältnisse und Abmessungen
Stabile elektrische Eigenschaften, geeignet für Präzisionsdünnschichten
Kompatibel mit verschiedenen Magnetron-Sputteranlagen
Unterstützt Target-Bonding-Dienstleistungen
Oberfläche kann fein auf Hochglanz poliert werden
Verwendet für die Abscheidung von Barriereschichten und leitfähigen Filmen in Halbleiterbauelementen.
Verwendung für die Herstellung von Funktionsbeschichtungen für optische Komponenten und optoelektronische Dünnschichten.
Verwendung als Haupttarget in resistiven Dünnschichten und thermisch stabilen Materialien.
Verwendung in MEMS, Sensoren und mikroelektronischen Verpackungsfolien.
F1: Welche Verpackungsmethode wird für MoSi-Targets verwendet?
A1: Jedes Target wird in einem staubfreien Beutel versiegelt und mit stoßfestem Schaumstoff und einer stabilen Schutzbox verpackt, um Feuchtigkeit oder Abrieb während des Transports zu vermeiden.
F2: Können die Targets in Sondergrößen verarbeitet oder für die Backplane-Bonding verwendet werden?
A2: Ja, wir bieten CNC-Bearbeitung, Oberflächenpolieren, Titan-/Kupfer-Backplate-Bonding und kundenspezifische Nicht-Standard-Formbearbeitung an, um die Kavitätenabmessungen verschiedener Geräte anzupassen.
F3: Wie sollten MoSi-Sputter-Targets richtig gelagert werden?
A3: Es wird empfohlen, sie in einer trockenen, versiegelten Umgebung zu lagern. Vermeiden Sie es, die Target-Oberfläche vor der Verwendung zu berühren. Fügen Sie für eine langfristige Lagerung Trockenmittel hinzu und halten Sie den Bereich staubfrei.
F4: Wie garantieren Sie die Reinheit der Sputtertargets und die Qualität der Dünnschicht?
A4: Alle Sputtertargets verwenden hochreine Rohstoffe und werden strengen Tests unterzogen, darunter ICP-, XRF- und Dichtetests. Ein vollständiger Qualitätsbericht kann der Lieferung beigefügt werden.
Jede Charge wird mit folgenden Dokumenten geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Testberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.
Dank unserer langjährigen Erfahrung in der Herstellung von Sputtertargets aus intermetallischen Verbindungen verfügen wir über fortschrittliche Pulvermetallurgie-Anlagen, Heißisostatische Pressverfahren (HIP) und Präzisionsbearbeitungstechnologien. Dadurch sind wir in der Lage, zuverlässig hochdichte, hochreine MoSi-Sputter-Targets mit geringer Partikelanzahl zu liefern. Wir bieten schnelle Lieferzeiten, strenge Qualitätskontrollen, eine stabile globale Logistikunterstützung und ein professionelles Ingenieurteam, um sicherzustellen, dass unsere Kunden eine zuverlässige Dünnschichtleistung und eine kontinuierliche Versorgung erhalten. Ob für die Forschung oder die Großserienfertigung – wir sind ein vertrauenswürdiger langfristiger Partner.
Chemische Formel: MoSi
Äußeres Erscheinungsbild: Dichtes, silbrig-graues, scheibenförmiges oder rechteckiges Zielmaterial mit glatter Oberfläche
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte