Mit Bor-Oxid dotiertes Zink-Oxid

Bor-oxid-dotierte Zinkoxid-Sputter-Targets Übersicht

Bor-oxid-dotierte Zinkoxid
-Sputter-Targets sind multifunktionale Keramik-Targets, die durch die Kombination von Zinkoxid (ZnO) mit großer Bandlücke und glasbildendem Boroxid (B₂O₃) in einem bestimmten Verhältnis hergestellt werden. Durch diese Verbundstruktur soll das Material die hervorragenden piezoelektrischen und optoelektronischen Eigenschaften von ZnO mit dem niedrigen Schmelzpunkt, der hohen thermischen Stabilität und den Flussmitteleigenschaften von B₂O₃ kombinieren. Es kann zur Abscheidung von Verbundoxidschichten mit besonderen optoelektronischen Eigenschaften, hoher Dichte und hervorragenden Grenzflächeneigenschaften verwendet werden. Es findet breite Anwendung in der Elektronikverpackung, der transparenten Elektronik und speziellen Funktionsbeschichtungen.

Wir können Verbundkeramik-Sputtertargets mit unterschiedlichen ZnO:B₂O₃-Verhältnissen (nach Gewicht oder Mol) und hoher Reinheit (≥99,9 %) an Ihre Prozessanforderungen anpassen und bieten Standardgrößen oder kundenspezifische Lösungen an. Kontaktieren Sie uns.

Produkt-Highlights

Flexible Anpassung der Zusammensetzungsverhältnisse
Hohe Reinheit und hohe Dichte
Kombiniert die überlegenen Eigenschaften beider Oxide
Hervorragendes Potenzial für Filmgleichmäßigkeit
Professionelle Verbindungs-
und technische Dienstleistungen

Anwendungen von mit Boroxid dotierten Zinkoxid-Sputter-Targets

Elektronische Verpackung und Isolierung: Deponiert hochisolierende, dichte Verkapselungs-Passivierungs- oder dielektrische Schichten zum Schutz von
Halbleiterbauelementen.
Transparente leitfähige Schichten: Wird durch Dotierung und andere Verfahren als transparente leitfähige Oxidschichten für Touchscreens und Displays abgeschieden.
Piezoelektrische und akustische Bauelemente: Wird zur Herstellung von Schichten mit hervorragenden piezoelektrischen Eigenschaften für Sensoren, Oberflächenwellenbauelemente und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) verwendet.
Spezialisierte Funktionsbeschichtungen: Dienen als verschleißfeste, korrosionsbeständige oder optisch angepasste Schutz- und Antireflexbeschichtungen.

Häufig gestellte Fragen

F1: Warum Verbund-B₂O₃? Was ist seine Funktion?
A1: B₂O₃ ist eine glasbildende Komponente, die in erster Linie dazu dient, den Schmelzpunkt des Materials zu senken, die Sinteraktivität zu erhöhen, die Filmdichte zu verbessern und spezifische Boratglasphasen mit ZnO zu bilden.

F2: Was sind die Hauptvorteile dieses Verbundziels?
A2: Der Hauptvorteil liegt in der synergistischen Regulierung der elektrischen, optischen und mechanischen Eigenschaften des Films – wie z. B. die gleichzeitige Erzielung einer hohen Isolierung, einer ausgezeichneten Haftung und spezifischer optischer Eigenschaften.

F3: Wie wird das Verhältnis der Zielmaterialien bestimmt?
A3: Das hängt von den gewünschten Filmeigenschaften ab. Eine Erhöhung des B₂O₃-Anteils verbessert die Isolierung und Dichte, während die Priorisierung von Piezoelektrizität oder Leitfähigkeit eine ZnO-dominante Zusammensetzung erfordert. In der Regel ist eine experimentelle Optimierung erforderlich.

F4: Wie sollten die Target-Materialien gelagert und gepflegt werden?
A4: In versiegelten, feuchtigkeitsgeschützten Behältern in einer trockenen Umgebung lagern. Bei der Entnahme und Platzierung vorsichtig vorgehen, um Risse in spröden Keramik-Targets durch Stöße zu vermeiden. Halten Sie die Target-Oberfläche nach dem Gebrauch sauber.

Bericht

Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)

Technisches Datenblatt (TDS)

Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Testberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich

Warum uns wählen?

Wir sind auf die kundenspezifische Entwicklung von funktionellen Oxidmaterialien spezialisiert. Mit professionellen technischen Lösungen und zuverlässigen Herstellungsprozessen erfüllen wir Ihre spezifischen Anforderungen an Verbund-Dünnschichtmaterialien.