Lithiumfluorid
-Sputtertargets sind keramische Targets auf Fluoridbasis, die für die Dünnschichtabscheidung von LiF-Funktionsschichten entwickelt wurden. Aufgrund ihrer ausgezeichneten chemischen Stabilität, ihrer hohen optischen Transparenz und ihrer Kompatibilität mit Vakuumumgebungen werden LiF-Sputtertargets häufig in der Optik, Mikroelektronik, bei OLED-Bauelementen und in der modernen Dünnschichtforschung eingesetzt.
Lithiumfluorid-Sputtertargets werden mit kontrollierter Stöchiometrie und dichter Mikrostruktur hergestellt, um ein stabiles Sputterverhalten und eine gleichmäßige Schichtabscheidung zu gewährleisten. Die Targets eignen sich für RF-Sputterprozesse, insbesondere in Anwendungen, in denen eine präzise Dickenkontrolle und Schichtreinheit erforderlich sind.
Stabile LiF-Zusammensetzung für zuverlässige Dünnschichteigenschaften
Dichte Keramikstruktur für gleichmäßige Sputterraten
Ausgezeichnete chemische Inertheit und Korrosionsbeständigkeit
Breite optische
Transparenz vom UV- bis zum IR-Bereich
Geeignet für HF-Sputter- und Vakuumbeschichtungssysteme
Gute Kompatibilität mit gängigen optischen und elektronischen Substraten
Optische Dünnschichten und Beschichtungen:
Lithiumfluorid-Sputtertargets werden zur Abscheidung optischer Beschichtungen für ultraviolette und infrarote optische Komponenten wie Linsen, Fenster und Filter verwendet.
OLED- und optoelektronische Geräte:
Aus Sputtertargets abgeschiedene LiF-Dünnschichten werden häufig als Elektroneninjektions- oder Grenzschichten in OLED- und optoelektronischen Geräten eingesetzt.
Mikroelektronik- und Halbleiterforschung:
Lithiumfluorid-Sputtertargets unterstützen die Dünnschichtfertigung in der Halbleiterverarbeitung, Oberflächenmodifizierung und Grenzflächentechnik.
Funktionelle Fluorid-Dünnschichten:
LiF-Targets werden in der Forschung und Entwicklung von funktionellen Beschichtungen auf Fluoridbasis für fortschrittliche elektronische und optische Anwendungen eingesetzt.
F1: Welche Sputterverfahren eignen sich für Lithiumfluorid-Targets?
A1: Lithiumfluorid-Sputter-Targets werden aufgrund ihrer isolierenden keramischen Eigenschaften in der Regel in HF-Sputter-Systemen verwendet.
F2: Ist Lithiumfluorid während des Sputterprozesses stabil?
A2: Ja, LiF weist unter Vakuum- und Sputterbedingungen eine ausgezeichnete thermische und chemische Stabilität auf.
F3: Können Lithiumfluorid-Sputter-Targets auf Trägerplatten geklebt werden?
A3: Ja, je nach Targetabmessungen und Systemanforderungen können verschiedene Klebeoptionen angeboten werden.
F4: Welche Substrate sind mit LiF-Dünnschichten kompatibel?
A4: Zu den gängigen Substraten gehören Glas, Siliziumwafer, Saphir und andere optische oder elektronische Substrate.
Jede Charge wird mit folgenden
Unterlagen
geliefert:
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Richtlinien zur Handhabung und Verklebung von Targets
Lithiumfluorid-Sputter-Targets werden häufig für optische Beschichtungen, OLED-Schnittstellenschichten und Halbleiter-Dünnschichtanwendungen gesucht. Ihr stabiles Sputterverhalten, ihre optische Transparenz und ihre Kompatibilität mit RF-Sputter-Systemen sorgen für eine starke langfristige Sichtbarkeit und technische Relevanz.
Molekulare Formel: LiF
Molekulargewicht: 25,94 g/mol
Erscheinungsbild: Weißes oder transparentes, dichtes, festes Zielmaterial
Dichte: 2,64 g/cm³
Schmelzpunkt: 848 °C
Siedepunkt: 1676 °C
Kristallstruktur: Kubisch (Natriumchlorid-Typ)
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
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