Sputtertargets
aus Eisen-Titan-Oxid
sind wichtige Keramik-Targets, die in physikalischen Gasphasenabscheidungsprozessen (PVD) verwendet werden. Durch fortschrittliche Technologien wie Magnetron-Sputtern können sie dünne Verbundoxidschichten mit stabiler und gleichmäßiger Zusammensetzung auf Substraten abscheiden. Diese Schichten spielen eine wichtige funktionelle Rolle in Hightech-Bereichen wie Halbleitern
, optischen
Beschichtungen, Sensoren und Oberflächentechnik.
Wir bieten eine Reihe von hochreinen, hochdichten Eisen-Titanoxid-Sputter-Targets an, die in verschiedenen Spezifikationen, einschließlich planarer und rotierender Targets
, individuell angepasst werden können, um Ihren spezifischen Anforderungen in verschiedenen Anwendungsszenarien und Beschichtungsanlagen gerecht zu werden. Bitte kontaktieren Sie uns, wenn Sie ein detailliertes Produktdatenblatt benötigen.
Streng kontrollierte Stöchiometrie
Ultrahohe Reinheit, extrem geringer Verunreinigungsgehalt
Hohe Dichte und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Mikrostruktur
Stabile Sputterleistung und Filmbildungsrate
Unterstützt reaktive Sputter- und Mittelfrequenz-Sputterprozesse
Bietet eine durchgängige Qualitätskontrolle vom Rohmaterial bis zum fertigen Produkt
Fortschrittliche optische Beschichtung:
Targets werden verwendet, um hochleistungsfähige optische Dünnschichten auf Substraten wie Glas aufzubringen, darunter Antireflexionsschichten, Low-E-Schichten (Low Emissivity) und Sonnenschutzschichten. Diese regulieren effektiv die Lichtdurchlässigkeit und Reflexion und verbessern so die Leistung von Architekturglas und optischen Komponenten.
Halbleiter und Funktionsbauelemente:
Aufgebrachte Eisen-Titan-Oxid-Dünnschichten können zur Herstellung spezifischer Funktionsschichten verwendet werden, z. B. dielektrische oder empfindliche Schichten in Halbleiterbauelementen, die in der Mikroelektronik und Sensorik eingesetzt werden.
Oberflächenschutz- und Modifikationsbeschichtungen:
Durch Sputterprozesse kann eine dichte, harte Oxidschutzschicht auf der Oberfläche von Werkzeugen, Formen oder kritischen Bauteilen gebildet werden, wodurch deren Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Lebensdauer erheblich verbessert werden.
Spitzenforschung und Entwicklung neuer Materialien:
Als wichtige Versuchsmaterialien dienen sie der Erforschung und Entwicklung neuartiger funktioneller Dünnschichten, katalytischer Materialien und Energiematerialien (z. B. für die Photoelektrokatalyse) und bilden damit eine materielle Grundlage für technologische Innovationen.
F1: Wie hoch ist der typische Reinheitsgrad von Eisen-Titan-Oxid-Targets?
A1: Die Reinheit unserer Produkte kann je nach Anwendungsanforderungen angepasst werden und erreicht bis zu 99,9 %. Der Gehalt an wichtigen Verunreinigungselementen wird auf einem extrem niedrigen Niveau gehalten, um den strengen Anforderungen von Halbleiter- oder optischen Beschichtungsprozessen gerecht zu werden.
F2: Wie wähle ich die geeignete Targetgröße und -form für meine Beschichtungsanlage aus?
A2: Wir bieten eine Vielzahl standardisierter Formen an, darunter planare und rotierende Targets, und akzeptieren auch Sondergrößen. Geben Sie einfach das Gerätemodell oder spezifische Zeichnungen und technische Anforderungen an, und unser technisches Team wird Ihnen die für Sie am besten geeignete Produktlösung empfehlen oder entwerfen.
F3: Wie lang ist der Produktionszyklus für die Bestellung eines Targets mit nicht standardmäßiger Zusammensetzung oder speziellen Spezifikationen?
A3: Der Anpassungszyklus hängt von der Komplexität der Formulierung und der Schwierigkeit der Verarbeitung ab. Für Anpassungen auf der Grundlage ausgereifter Prozesse dauert es in der Regel mehrere Wochen; für völlig neue Entwicklungen müssen wir eine Prozessbewertung durchführen. Nach Erhalt Ihrer spezifischen Anforderungen werden wir Ihnen so schnell wie möglich einen detaillierten Zeitplan und ein Angebot unterbreiten.
F4: Welche besonderen Vorsichtsmaßnahmen sollten bei der Verwendung von Keramik-Sputter-Targets getroffen werden, um die Prozessstabilität zu gewährleisten?
A4: Achten Sie bei der Verwendung von Keramik-Sputter-Targets auf die richtige Installation und vermeiden Sie ein zu festes Anziehen, um Risse zu vermeiden. Es wird außerdem empfohlen, vor dem Sputtern eine gründliche Reinigung der Target-Oberfläche durchzuführen. Bei reaktiven Sputterprozessen sind eine präzise Steuerung des Sauerstoffpartialdrucks und die Verwendung einer Mittelfrequenz-Stromversorgung entscheidend für die Aufrechterhaltung der Sputterstabilität und die Verhinderung von Targetvergiftung und Lichtbogenbildung.
Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)
Technisches Datenblatt (TDS)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.
Wir sind nicht nur Hersteller von Sputtertargets, sondern auch Ihr Lösungspartner für technische Herausforderungen. Basierend auf einem tiefgreifenden Verständnis der Eigenschaften von Oxidmaterialien und einer strengen, präzisen Kontrolle während des gesamten Prozesses stellen wir sicher, dass jedes Target eine hervorragende und gleichbleibende Leistung aufweist. Wir sind bestrebt, Ihr vertrauenswürdiger Langzeitpartner mit professionellen und zuverlässigen Produkten sowie effizienten und flexiblen Dienstleistungen zu werden.
Molekulare Formel: FeTiO₃
Molekulargewicht: 151,71 g/mol
Erscheinungsbild: Schwarze Scheibe
Dichte: 4,7 g/cm³
Schmelzpunkt: >1300 °C
Kristallstruktur: Hexagonal (Ilmenit-Typ)
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte