Sputtertargets
aus Boroxid
sind funktionelle Keramik-Targets mit Boroxid als Hauptbestandteil, die sich für die Herstellung von nichtmetallischen Oxid-Dünnschichten eignen. Diese Targets werden häufig in der Dünnschichtbeschichtungsforschung in den Bereichen Elektronik, Optik und funktionelle Beschichtungen eingesetzt.
Wir können Ihnen passende Sputtertargets aus Boroxid entsprechend Ihrem Gerätetyp und Ihren Prozessbedingungen anbieten und unterstützen kundenspezifische Spezifikationen. Bitte kontaktieren Sie uns
direkt, um Lösungen und Preise zu bestätigen.
Stabile Keramikstruktur
Gleichmäßige Zusammensetzung
Kontrollierbarer Sputterprozess
Geeignet für RF-Sputtern
Unterstützt Backplane-Bonding
Forschungs- und entwicklungsfreundlich
Abscheidung von funktionalen Oxid-Dünnschichten: Kann zur Herstellung von boroxidhaltigen Dünnschichten verwendet werden, die für Anwendungen mit Anforderungen an die Zusammensetzung und Struktur der Schicht geeignet sind.
Forschung zu elektronischen und isolierenden Dünnschichten: Im Bereich der elektronischen Materialien kann dieses Target für die Abscheidung und Leistungsbewertung von isolierenden oder funktionalen Dünnschichten verwendet werden. Erforschung von
Optik
und Schutzbeschichtungen: Boroxid-Dünnschichten haben Forschungswert in der Optik und Oberflächenschutz, und das Target eignet sich für entsprechende Beschichtungsexperimente.
Sputterprozess und Parametervalidierung: Dieses Target wird häufig für Prozessfenstertests unter RF-Sputterbedingungen verwendet, z. B. zur Optimierung von Leistung, Atmosphäre und Abscheidungsrate.
F1: Ist es für RF-Sputtern geeignet?
A1: Ja, Boroxid ist ein keramisches Material und wird in der Regel mittels RF-Sputtern gesputtert.
F2: Kann das Target mit einer Rückplatte verbunden werden?
A2: Ja, die Verbindung mit gängigen Metallrückplatten wird unterstützt, um die Stabilität zu verbessern.
F3: Werden kundenspezifische Nicht-Standardgrößen unterstützt?
A3: Ja, es kann entsprechend der Größe der Sputteranlage und den Nutzungsanforderungen verarbeitet werden.
F4: Ist eine Beschaffung in kleinen Chargen oder als Muster möglich?
A4: Ja, geeignet für Forschungs- und Prozessentwicklungsphasen.
Jede Charge wird mit folgenden Unterlagen geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.
Wir verfügen über umfangreiche Erfahrung in der Verarbeitung und Lieferung von Sputtertargets aus Oxidkeramik, sodass wir die Prozessanforderungen unserer Kunden schnell verstehen und Sie in Bezug auf Spezifikationsbestätigung, Lieferzeit und Materialstabilität effizient unterstützen können. So können Sie Ihren F&E-Zyklus verkürzen und die Kosten für Trial-and-Error-Verfahren reduzieren.
Molekulare Formel: B₂O₃
Molekulargewicht: 69,62 g/mol
Erscheinungsbild: Weißer, dichter Target-Block
Dichte: 2,46-2,50 g/cm³
Schmelzpunkt: 450 °C
Siedepunkt: 1860 °C
Kristallstruktur: Monoklin (kristalline Form); amorphes Target mit unregelmäßigem Gitter
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
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