Lithium-Lanthan-Zirkoniumoxid
-Sputter-Targets sind Keramik-Targets, die für die Dünnschichtabscheidung von LLZO-Festelektrolytschichten entwickelt wurden. LLZO-Targets sind bekannt für ihre hohe Lithiumionenleitfähigkeit und ihre ausgezeichnete thermische und chemische Stabilität und werden häufig in der Forschung und Entwicklung von Festkörper-Lithiumbatterien, Dünnschichten für Mikrobatterien und fortschrittlichen elektrochemischen Materialien eingesetzt.
Lithium-Lanthan-Zirkoniumoxid-Sputter-Targets werden mit kontrollierter Stöchiometrie und dichter Keramikstruktur hergestellt, um gleichmäßige Sputterraten, reproduzierbare Dünnschichtzusammensetzungen und stabile Ionenleitfähigkeit zu gewährleisten. Sie eignen sich für RF- und Magnetron-Sputter-Systeme, die in der Forschung zu Dünnschicht-Festelektrolyten eingesetzt werden.
Hohe Lithium-Ionen-Leitfähigkeit in abgeschiedenen Dünnschichten
Dichte Keramikstruktur für gleichmäßiges und stabiles Sputtern
Kontrollierte Stöchiometrie für reproduzierbare Filmeigenschaften
Kompatibel mit HF- und Magnetron-Sputteranlagen
Geeignet für die Forschung an Festkörper-Mikrobatterien
Gute Haftung und Kompatibilität mit gängigen Substraten
Dünnschicht-Festelektrolyte
: Lithium-Lanthan-Zirkoniumoxid-Targets werden zur Abscheidung von Festelektrolytschichten in Festkörper-Lithium-Mikrobatterien verwendet
. Mikrobatterie- und Energiespeicherforschung:
Dünne Schichten aus LLZO-Targets werden in Studien zur Ionenleitfähigkeit, Grenzflächentechnik und elektrochemischen Stabilität eingesetzt.
Elektrochemische Materialforschung:
Lithium-Lanthan-Zirkoniumoxid-Targets unterstützen die Spitzenforschung im Bereich Festkörperelektrolyte, Verbundelektroden und funktionale Dünnschichtmaterialien.
Funktionale Beschichtungen für Mikrobatterien:
Verwendung bei der Entwicklung von Dünnschicht-Festelektrolytbeschichtungen für Energiespeicher- und Mikroelektronikanwendungen.
F1: Welche Sputterverfahren eignen sich für LLZO-Targets?
A1: LLZO-Targets werden aufgrund ihrer keramischen und isolierenden Eigenschaften häufig in HF- und Magnetron-Sputteranlagen eingesetzt.
F2: Können LLZO-Dünnschichten während des Sputterns ihren Lithiumgehalt beibehalten?
A2: Durch eine geeignete Target-Konstruktion und optimierte Sputterparameter wird der Lithiumverlust minimiert und eine gleichmäßige Dünnschichtzusammensetzung gewährleistet.
F3: Sind LLZO-Targets mit Trägerplatten kompatibel?
A3: Ja, je nach Targetabmessungen und Anforderungen des Sputtersystems können verschiedene Befestigungsoptionen angeboten werden.
F4: Welche Substrate sind mit LLZO-Dünnschichten kompatibel?
A4: Zu den gängigen Substraten gehören Siliziumwafer, Glas, Saphir und andere Materialien, die in der Forschung zu Dünnschicht-Festkörperbatterien verwendet werden.
Jede Charge wird mit
folgenden Unterlagen
geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich
Lithium-Lanthan-Zirkoniumoxid-Sputtertargets werden häufig für die Entwicklung von Dünnschicht-Festelektrolyten, Festkörperbatterien und die Forschung im Bereich Mikrobatterien gesucht. Ihre dichte Keramikstruktur, kontrollierte Stöchiometrie und Kompatibilität mit RF-/Magnetron-Sputteranlagen sorgen für eine hohe Sichtbarkeit in Suchmaschinen und technische Relevanz.
Molekulare Formel: LiLaZrO₃
Molekulargewicht: 275,08 g/mol
Erscheinungsbild: Weißer oder hellgrauer, dichter Festkörper
Dichte: Ungefähr 5,6 g/cm³
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
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