Calciumtitanat (Calciumtitanoxid)

Übersicht über Calciumtitanat-Sputter-Targets

Calciumtitanat
-Sputter-Targets sind funktionelle Keramikmaterialien mit einer standardmäßigen Perowskit-Kristallstruktur, die speziell für physikalische Gasphasenabscheidungsprozesse (PVD) entwickelt wurden. Durch Sputtern bilden sie hochwertige, gleichmäßige Calciumtitanat-Schichten auf Substraten. Diese Schichten spielen aufgrund ihrer außergewöhnlichen dielektrischen, ferroelektrischen und optischen
Eigenschaften eine entscheidende Rolle in modernen elektronischen Bauteilen und optischen Beschichtungsanwendungen.

Wir produzieren und liefern professionell hochwertige Calciumtitanat-Keramik-Sputter-Targets in verschiedenen Reinheitsgraden, Abmessungen und Kristallorientierungen. Wir bieten maßgeschneiderte Bonding
-Services für Trägerplatten, die auf Ihre Geräteanforderungen zugeschnitten sind. Kontaktieren Sie uns
für individuelle Lösungen.

Produkt-Highlights

Hohe Phasenreinheit
Außergewöhnliche Dichte
Wählbare Ausrichtung
Hohe chemische Stabilität
Hervorragende Filmqualität

Anwendungen von Calciumtitanat-Sputter-Targets

Hochleistungskondensatoren und Speicherbausteine:
Verwendung zur Abscheidung von Filmen mit hoher Dielektrizitätskonstante (High-k) als dielektrische Kernschichten in DRAM- oder eingebetteten Kondensatoren der nächsten Generation, die als Schlüsselmaterial für die Miniaturisierung und hohe Leistung von Bauelementen dienen.

Optische Beschichtungen und photonische Bauelemente:
Dank seines hohen Brechungsindex und seiner Transparenz im ultravioletten bis infraroten Spektrum ermöglicht es die Herstellung komplexer optischer Interferenzfilter, Antireflexbeschichtungen und Wellenleiterschichten in integrierten photonischen Schaltungen.

Optoelektronik und Sensoren:
Als typische ferroelektrische und multiferroische Materialien dienen ihre Schichten als Funktionsschichten in nichtflüchtigen Speichern, piezoelektrischen Sensoren, Fotodetektoren und neuartigen Solarzellen und bieten eine schnelle Reaktion und hohe Empfindlichkeit.

Grundlagenforschung zu Supraleitern und Quantenmaterialien:
Als wichtige Substratmaterialien für das epitaktische Wachstum von Hochtemperatur-Supraleiterfilmen oder anderen komplexen Oxid-Quantenmaterialien bilden sie eine wesentliche Grundlage für die Spitzenforschung in der Festkörperphysik und Materialwissenschaft.

Häufig gestellte Fragen

F1: Welche besonderen Vorsichtsmaßnahmen sind bei der Lagerung und Verwendung von Calciumtitanat-Targets zu beachten?
A1: Obwohl Keramik-Targets stabiler sind als Pulver, wird dennoch empfohlen, sie in einer trockenen Umgebung versiegelt zu lagern. Vor der Verwendung ist es im Allgemeinen ratsam, eine Vorreinigung der Target-Oberfläche durchzuführen, um mögliche Oberflächenoxide oder Verunreinigungen zu entfernen und eine optimale Filmleistung zu erzielen.

F2: Sollte für das Sputtern mit diesem Target der RF- oder DC-Modus verwendet werden?
A2: Calciumtitanat ist ein typisches dielektrisches Material, das den RF-Sputtermodus erfordert. Der DC-Modus kann keine stabile Glimmentladung aufrechterhalten und ist für das Sputtern solcher isolierenden Targets ungeeignet.

F3: Wie kann die Kristallqualität des abgeschiedenen Films kontrolliert werden?
A3: Die Kristallqualität des Films wird in erster Linie durch die Substrattemperatur, den Sputterdruck und die Leistung beeinflusst. In der Regel erleichtert eine angemessene Substratheizung die Bildung gut kristallisierter Filme. Die Auswahl eines Targets mit einer bestimmten Kristallorientierung fördert ebenfalls das orientierte Wachstum der Schicht.

F4: Wie hoch ist die ungefähre Dielektrizitätskonstante von Calciumtitanat-Schichten? Wie wird sie gemessen?
A4: Die Dielektrizitätskonstante dieser Schichten variiert erheblich je nach Prozessbedingungen und liegt typischerweise zwischen 150 und 300. Sie kann gemessen und berechnet werden, indem der Film auf einen Siliziumwafer aufgebracht, eine Metall-Isolator-Metall-Kondensatorstruktur hergestellt und ein Impedanzanalysator verwendet wird.

Bericht

Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)

Technisches Datenblatt (TDS)

Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich

. Warum sollten Sie sich für uns entscheiden?

Wir sind auf die Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von hochleistungsfähigen Keramik-Sputter-Targets spezialisiert und verfügen über fundierte Fachkenntnisse hinsichtlich des Zusammenhangs zwischen der präzisen Herstellung von Perowskitoxid-Materialien und Dünnschichtprozessen. Von der Auswahl hochreiner Rohstoffe und fortschrittlicher Formungs-/Sintertechniken bis hin zur abschließenden Präzisionsbearbeitung und zerstörungsfreien Prüfung führen wir in jeder Phase strenge Kontrollen durch, um sicherzustellen, dass die Targets eine außergewöhnliche Mikrostruktur und gleichbleibende Leistung aufweisen.