Silizium-Chrom
-Sputtertargets sind Targets aus einer Silizium-Chrom-Legierung, die sich für die Herstellung von funktionalen Dünnschichten mit guter Haftung und thermischer Stabilität eignen. Sie werden häufig in der Mikroelektronik, für Barriereschichten, korrosionsbeständige Beschichtungen und ähnliche funktionale Dünnschichtanwendungen verwendet.
Wir bieten prozesskompatible Silizium-Chrom-Sputtertargets und unterstützen Sie bei
der technischen
Integration von Zusammensetzungsdesign und Abscheidungsparametern.
Kontrollierbare Filmzusammensetzung
Gute thermische Stabilität
Hervorragende Haftung
Geeignet für verschiedene Sputterprozesse
Gute Prozesskonsistenz
Mikroelektronik und integrierte Schaltkreise:
Silizium-Chrom-Filme werden häufig in mikroelektronischen Geräten als Funktionsschichten oder zusätzliche Strukturschichten verwendet.
Barriereschichten und Grenzflächentechnik:
In Mehrschichtstrukturen können SiCr-Filme zur Verbesserung der Grenzflächenstabilität und Materialkompatibilität eingesetzt werden.
Korrosionsbeständige und funktionelle Beschichtungen:
Geeignet für funktionelle Beschichtungssysteme, die Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität erfordern.
Forschung und Prozessentwicklung:
Wird für die Prozessverifizierung und Parameteroptimierung neuartiger Dünnschichtstrukturen verwendet.
F1: Für welche Dünnschichtanwendungen eignen sich Silizium-Chrom-Sputter-Targets?
A1: Sie werden hauptsächlich in der Mikroelektronik, für Barriereschichten, funktionelle Dünnschichten und korrosionsbeständige Beschichtungen verwendet.
F2: Was sind die Hauptvorteile von SiCr-Dünnschichten?
A2: Zu den Vorteilen gehören gute thermische Stabilität, Haftung und Filmstrukturstabilität.
F3: Für welche Sputterverfahren kann dieses Target verwendet werden?
A3: Geeignet für gängige Dünnschichtabscheidungsverfahren wie Magnetron-Sputtern.
F4: Beeinflusst die Legierungszusammensetzung die Filmleistung?
A4: Eine geeignete Zusammensetzung trägt zur Optimierung der Grenzflächeneigenschaften und der Gesamtleistung des Films bei.
Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Testberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich
Wir haben Erfahrung in der Entwicklung und Lieferung von Legierungs-Sputter-Targets und können stabile und rückverfolgbare Silizium-Chrom-Sputter-Targets liefern, um Kunden bei der Prozessverifizierung und der Optimierung der Dünnschichtleistung vor der Forschung und Entwicklung sowie der Massenproduktion zu unterstützen.
Molekulare Formel: SiCr
Erscheinungsbild: Silbergraues, dichtes Target
Dichte: 6,2-6,5 g/cm³ (je nach Si:Cr-Verhältnis)
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte