Sputtertargets
aus Titanoxid
sind Targets aus Titanoxid mit niedriger Valenz, die sich für die Herstellung von funktionellen Oxid-Dünnschichten in physikalischen Aufdampfverfahren (PVD) eignen. Diese Targets werden häufig in Forschungsbereichen im Zusammenhang mit elektronischen Materialien, funktionellen Dünnschichten und Übergangsmetalloxiden eingesetzt.
Wir bieten Ti2O3-Sputtertargets mit stabiler Zusammensetzung und gleichmäßiger Struktur für die Forschung und die industrielle Dünnschichtabscheidung an. Bitte kontaktieren Sie uns
für technische Informationen.
Titanoxid-Targets mit niedriger Valenz
Stabile Zusammensetzung und Kristallphase
Gute Steuerbarkeit des Sputterprozesses
Hohe Konsistenz der Filmzusammensetzung
Geeignet für verschiedene PVD-Systeme
Zuverlässige Chargenstabilität
Funktionelle Oxid-Dünnschichten:
Werden häufig zur Abscheidung von Oxid-Dünnschichten mit spezifischen elektrischen oder strukturellen Eigenschaften verwendet und eignen sich für die Forschung im Bereich funktioneller Materialien und Bauelemente.
Forschung im Bereich Elektronik- und Halbleitermaterialien:
Dieses Target eignet sich für die Herstellung von Übergangsmetalloxid-Dünnschichten, die zur Untersuchung des elektrischen Transportverhaltens, der Bandstruktur und der Grenzflächeneigenschaften verwendet werden.
Forschung und Labor Dünnschichtherstellung:
Aufgrund ihrer genau definierten chemischen Zusammensetzung werden Ti2O3-Dünnschichten häufig in Dünnschichtabscheidungsversuchen an Universitäten und Forschungseinrichtungen verwendet.
Entwicklung neuartiger Funktionsmaterialien:
In neuartigen Oxidmaterialsystemen werden Ti2O3-Dünnschichten häufig als Basisschichten oder Funktionsschichten verwendet, um Materialeigenschaften zu untersuchen.
F1: Für welche Arten von Dünnschichten werden Titanoxid-Sputtertargets hauptsächlich verwendet?
A1: Hauptsächlich für die Abscheidung von niedrigvalentem Titanoxid oder verwandten funktionalen Oxid-Dünnschichten, wie sie häufig in der Elektronik- und Funktionsmaterialforschung zu finden sind.
F2: Ist bei der Verwendung von Titanoxid-Sputtertargets eine Atmosphärenkontrolle erforderlich?
A2: Ja, der Sauerstoffpartialdruck oder die Arbeitsatmosphäre muss während des Sputterns in der Regel kontrolliert werden, um die Stabilität des Valenzzustands und der Zusammensetzung des Titans in der Dünnschicht zu gewährleisten.
F3: Welche Sputterverfahren eignen sich für Titanoxid-Sputtertargets?
A3: Im Allgemeinen sind sie für RF-Magnetron-Sputteranlagen geeignet und können je nach Ausstattungsbedingungen auch für andere PVD-Verfahren eingesetzt werden.
F4: Welchen Forschungswert haben Dünnschichten, die mit Titanoxid-Sputtertargets hergestellt wurden?
A4: Diese Art von Dünnschichten hat einen bedeutenden Forschungswert für die Untersuchung der elektrischen Eigenschaften, des Phasenübergangsverhaltens und der Mechanismen von Übergangsmetalloxiden.
Jede Charge wird mit folgenden Dokumenten geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich
Wir sind auf die stabile Herstellung und Qualitätskontrolle von funktionalen Oxid-Sputter-Targets spezialisiert und bieten eine zuverlässige Materialgrundlage für die Ti₂O₃-Dünnschichtabscheidung.
Molekulare Formel: Ti₂O₃
Molekulargewicht: 143,88 g/mol
Äußeres Erscheinungsbild: Rötlich-braunes Zielmaterial
Dichte: 4,97 g/cm³
Schmelzpunkt: 1870 °C
Siedepunkt: Ungefähr 2500 °C
Kristallstruktur: Hexagonal (Korundtyp)
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
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