Sputtertargets
aus Titanoxid
sind Keramiktargets aus Subtitanoxid mit physikalischen und elektrischen Eigenschaften, die zwischen denen von metallischem Titan und hochvalentem Titanoxid liegen. Sie eignen sich für die Herstellung von funktionalen Dünnschichten mit spezifischen Anforderungen an Leitfähigkeit, optischer Absorption und Strukturkontrolle. Dieses Material wird häufig in Dünnschichtbeschichtungsverfahren verwendet, die eine präzise Steuerung des Oxidationszustands von Titan erfordern, und eignet sich besonders für PVD-Magnetron-Sputteranwendungen.
Wir können Titanoxid-Sputtertargets mit unterschiedlichen Spezifikationen und Strukturen entsprechend den Anforderungen des Sputtersystems und des Prozesses des Kunden liefern und bieten maßgeschneiderte Verarbeitungsdienstleistungen an. Bitte kontaktieren Sie uns
, um spezifische Geräteparameter oder Anwendungsszenarien zu bestätigen.
Sub-Titanoxid-Zusammensetzung, kontrollierbarer Oxidationszustand
Geeignet für PVD-Prozesse wie Magnetron-Sputtern
Gleichmäßige Zusammensetzung, stabiler Sputterprozess
Erleichtert die präzise Steuerung der Dünnschichtleistung
Erfüllt die Anforderungen der wissenschaftlichen Forschung und industrieller Anwendungen
Herstellung funktionaler Dünnschichten:
Kann zur Herstellung von Titanoxid-Dünnschichten mit spezifischer Leitfähigkeit und optischen Eigenschaften verwendet werden, die für Funktionsschichten oder Übergangsschichten geeignet sind.
Elektronische und mikroelektronische Geräte:
In elektronischen Geräten können TiO₂-Dünnschichten für Forschungen im Zusammenhang mit der Strukturkontrolle oder Leistungsoptimierung verwendet werden.
Optoelektronische und optische Forschung:
Titanoxid-Dünnschichten haben Forschungswert in Bezug auf Lichtabsorption und Dünnschichtstrukturanpassung und eignen sich für explorative Anwendungen in optoelektronischen Materialien.
F1: Was sind die Hauptunterschiede zwischen Titanoxid-Sputter-Targets und TiO₂-Targets?
A1: TiO₂ gehört zu den Untertitanoxiden und hat einen niedrigeren Oxidationszustand als TiO₂, was zu erheblichen Unterschieden in den elektrischen und optischen Eigenschaften führt. Es eignet sich besser für Anwendungen, die eine Feinabstimmung der Dünnschichtleistung erfordern.
F2: Sind Titanoxid-Sputtertargets für Gleichstrom- oder Hochfrequenz-Sputtern geeignet?
A2: Sie können in HF-Magnetron-Sputteranlagen verwendet werden. Das spezifische Verfahren muss auf der Grundlage der Anlagenkonfiguration und der Prozessparameter umfassend festgelegt werden.
F3: Neigt die Zusammensetzung der Dünnschicht bei der Verwendung von TiO₂-Targets zu Veränderungen?
A3: Unter stabilen Sputterleistungs- und Atmosphärenbedingungen können Targets mit hoher Dichte eine gute Zusammensetzungskonstanz aufrechterhalten, was zu Dünnschichtergebnissen mit guter Reproduzierbarkeit beiträgt.
F4: Welche Vorsichtsmaßnahmen sollten bei der Lagerung und dem Transport von Titanoxid-Sputter-Targets getroffen werden?
A4: Es wird empfohlen, sie in einer trockenen, sauberen Umgebung in einem versiegelten Behälter zu lagern und Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, um sicherzustellen, dass das Target vor der Verwendung in einem stabilen physikalischen Zustand bleibt.
Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Dritten sind auf Anfrage erhältlich.
Wir sind auf die Lieferung von funktionalen Keramik- und Metall-Sputter-Targets spezialisiert, verfügen über fundierte Erfahrung in der Materialkontrolle und -verarbeitung und können Forschungs- und Industriekunden stabile und rückverfolgbare Lösungen für Titanoxid-Sputter-Targets anbieten.
Molekulare Formel: TiO₂
Erscheinungsbild: Schwarzes Zielmaterial
Dichte: Ca. 4,0 g/cm³
Schmelzpunkt: Ca. 1830 °C
Kristallstruktur: Kubisch
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte