Sputtertargets aus
Titan-Tantal-Zirkonium-Hafnium-Aluminium
-Legierung sind hochleistungsfähige Mehrkomponenten-Legierungstargets, die speziell für die Abscheidung fortschrittlicher Schichten mit außergewöhnlichen umfassenden Eigenschaften entwickelt wurden. Dieses Material vereint die herausragenden Eigenschaften mehrerer Metalle mit hohem Schmelzpunkt und eignet sich daher für technologische Spitzenbereiche, in denen extrem hohe Temperaturfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität gefordert sind.
Wir bieten hochreine fünfwertige Legierungs-Sputter-Targets in verschiedenen Zusammensetzungsverhältnissen an und unterstützen die individuelle Anpassung der Zusammensetzung, der Abmessungen und der Lösungen für die Verbindung mit
Trägerplatten, um spezifischen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden.
Extrem hohe Temperaturstabilität
Hervorragende Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit
Hervorragende Festigkeit und Zähigkeit bei hohen Temperaturen
Präzise Zusammensetzungskontrolle
Gleichmäßige und dichte Sputterbeschichtung
Schutz von Hochtemperaturkomponenten in der Luft- und Raumfahrt:
Verwendung für Schutzbeschichtungen auf kritischen Heißkomponenten wie Flugzeugtriebwerksschaufeln und Brennkammern, wodurch die Beständigkeit gegen Hochtemperaturoxidation und thermische Korrosion erheblich verbessert wird.
Spezielle Anwendungen in der Nuklearindustrie:
Bietet hervorragende Beständigkeit gegen Strahlenschäden und Korrosion in extremen Umgebungen, z. B. bei Materialien für Kernreaktormäntel und Kernbrennstoffanordnungen.
Ultrahochtemperaturprozesse in Halbleitern:
Geeignet für Ultrahochtemperatur-Elektroden oder Barriereschichten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen der dritten Generation (z. B. SiC, GaN), um die Zuverlässigkeit der Bauelemente bei erhöhten Temperaturen zu gewährleisten.
Verschleißfeste Beschichtungen für High-End-Werkzeuge:
Wird zur Oberflächenverfestigung von Hochgeschwindigkeits-Schneidwerkzeugen und Präzisionsformen verwendet und verlängert die Lebensdauer der Werkzeuge unter Hochtemperatur- und Hochgeschwindigkeitsbedingungen erheblich.
F1: Was sind die Hauptvorteile dieses fünfkomponentigen Legierungs-Targetmaterials?
A1: Durch die synergistischen Effekte mehrerer hochschmelzender Metalle erreicht es außergewöhnliche umfassende Eigenschaften, die mit einzelnen Metallen nicht erreichbar sind, und zeichnet sich insbesondere durch hohe Temperaturfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität aus.
F2: Wie wird die Gleichmäßigkeit der Zusammensetzung in Mehrkomponentenlegierungen sichergestellt?
A2: Wir verwenden Vakuumbogenschmelzen in Kombination mit mehreren Umschmelzzyklen und einer homogenisierenden Wärmebehandlung, um eine hohe makro- und mikrostrukturelle Gleichmäßigkeit zu gewährleisten.
F3: Was sind die Herausforderungen bei der Herstellung dieses Targetmaterials?
A3: Die Schwierigkeiten liegen in der Schmelz- und Zusammensetzungskontrolle mehrerer hochschmelzender, hochreaktiver Metalle sowie in der Herstellung von hochdichten, fehlerfreien Targetblöcken. Wir verfügen über spezielle Schmelzanlagen und Verfahrenstechnologien, um diese Herausforderungen zu meistern.
F4: Welche Standardspezifikationen sind verfügbar?
A4: Wir bieten runde und rechteckige Targets in verschiedenen Abmessungen an und können nicht standardmäßige Größen je nach Geräteanforderungen anpassen.
Jede Charge wird mit folgenden Unterlagen geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.
Wir verfügen über fundiertes technisches Know-how im Bereich von Targets aus Mehrkomponenten-Legierungen mit hohem Schmelzpunkt und über unabhängige Produktionskapazitäten entlang der gesamten Wertschöpfungskette, die von der Rohstoffreinigung über das Vakuumschmelzen und die thermische Verarbeitung bis hin zur Präzisionsbearbeitung reichen. Über die Lieferung hochwertiger Target-Materialien hinaus bieten wir Empfehlungen zur Zusammensetzung und Lösungen zur Prozessoptimierung auf der Grundlage von Materialgenetik. Mit uns gewinnen Sie einen professionellen Partner, der sich der Lösung von Materialproblemen unter extremen Betriebsbedingungen verschrieben hat.
Molekulare Formel: TiTaZrHfAl
Erscheinungsbild: Silbergraues bis metallisch glänzendes Zielmaterial
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte