| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 4000ST001 | Zr | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 130 mm x 20 mm | Inquire |
| 4000ST002 | Zr | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 152.4 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 4000ST003 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 4000ST004 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 4000ST005 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 75 mm x 3 mm | Inquire |
| 4000ST006 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 125 mm x 3 mm | Inquire |
| 4000ST007 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 125 mm x 6 mm | Inquire |
Zirkonium-Metall
-Sputter-Targets sind hochreine metallische Materialien, die für die präzise Dünnschichtabscheidung in fortschrittlichen Branchen wie Halbleiter, Optik und Schutzbeschichtungen entwickelt wurden. Diese Targets werden aus 99,95 % reinem Zirkonium hergestellt und zeichnen sich durch eine ausgezeichnete Dichte, eine gleichmäßige Mikrostruktur und eine stabile Sputterleistung aus, wodurch hochwertige und äußerst konsistente Dünnschichtergebnisse erzielt werden.
Wir bieten Zirkonium-Sputter-Targets in einer Vielzahl von Abmessungen und Formen an, darunter planare, kreisförmige und kundenspezifisch gefertigte Targets. Um die Kompatibilität mit verschiedenen PVD-Systemen zu gewährleisten, bieten wir Bonding
-Dienstleistungen und spezielle Verpackungen an. Bei technischen Fragen oder Fragen zur Anwendung steht Ihnen unser Team mit umfassender Unterstützung und Beratung zur Seite.
Hohe Reinheit
Target-Körper mit hoher Dichte für stabiles Sputtern
Glatte Oberflächenbeschaffenheit und gleichmäßige Zusammensetzung
Kundenspezifische Größen, Formen und Trägerplattenverklebung
Ideal für Halbleiter-
, Optik-
und Schutzbeschichtungsanwendungen
Halbleiter
und Elektronik: Für Barriereschichten, leitfähige Schichten und Dünnschichtkomponenten in mikroelektronischen Geräten.
Optische
Folien: Zur Herstellung von reflektierenden, schützenden oder korrosionsbeständigen optischen Beschichtungen.
Luft- und Raumfahrt sowie Hochtemperaturkomponenten: Zur Bildung funktionaler Beschichtungen auf Teilen, die Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit erfordern.
Energie und Funktionsmaterialien: Nützlich für wasserstoffbezogene Materialien, katalytische Folien und fortgeschrittene Dünnschichtforschung.
F1: Welche Verpackungsoptionen gibt es für Zirkonium-Sputter-Targets?
A1: Die Produkte werden je nach Größe und Reinheitsanforderungen mit Schaumstoffschutz, Vakuumversiegelung oder Reinraumverpackung verpackt. Auch kundenspezifische Verpackungen sind möglich.
F2: Sind die Targets für Hochleistungs-Sputterbedingungen geeignet?
A2: Ja. Mit ihrer hohen Dichte und stabilen Mikrostruktur arbeiten Zirkonium-Targets sowohl bei Gleichstrom- als auch bei Hochfrequenz-Sputtern zuverlässig, selbst bei hohen Leistungsstufen.
F3: Wie sollten Zirkonium-Sputtertargets gelagert werden?
A3: Lagern Sie sie in einer sauberen, trockenen Umgebung mit geringer Luftfeuchtigkeit, vorzugsweise in einer versiegelten Verpackung. Vermeiden Sie korrosive Umgebungen und halten Sie die Oberfläche frei von Verunreinigungen.
F4: Können die Targetgröße und der Typ der Trägerplatte individuell angepasst werden?
A4: Selbstverständlich. Wir bieten kundenspezifische Bearbeitung, Target-Bonding
(Cu/Mo/SS) und vollständige Anpassung
an die Gerätespezifikationen.
Jede Charge wird mit folgenden
Unterlagen
geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Testberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.
Gleichbleibende Filmqualität: Das hochdichte Material gewährleistet stabile Sputterraten und eine gleichmäßige Filmabscheidung.
Flexible Anpassung: Abmessungen, Formen, Verbindungsarten und Reinheitsgrade können auf Anfrage angepasst werden.
Kompetenter technischer Support: Wir bieten Beratung bei der Materialauswahl, den Sputterparametern und der Folienanwendung.
Qualitätssicherung: Jedes Produkt wird mit COA und MSDS geliefert, eine Überprüfung durch Dritte ist möglich.
Zuverlässige Lieferung & schnelle Lieferung: Fortschrittliche Produktionskapazitäten gewährleisten eine konsistente Verfügbarkeit und pünktliche Lieferung.
Molekulare Formel: Zr
Atommasse: 91,22 g/mol
Erscheinungsbild: Silbergraues, hochreines metallisches Targetmaterial mit glatter Oberfläche und dichter Struktur
Dichte: Ca. 6,52 g/cm³
Schmelzpunkt: Ca. 1.855 °C
Siedepunkt: Ca. 4.377 °C
Kristallstruktur: Hexagonal dicht gepackt (hcp, α-Zr, Raumtemperaturphase)
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
Wenn Sie einen Service benötigen, kontaktieren Sie uns bitte